闪烁器面板以及放射线检测器的制造方法
【专利摘要】在本发明所涉及的闪烁器面板(2A)中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板(11)成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性题。另外，在该闪烁器面板(2A)中以覆盖玻璃基板(11)的表面整体的形式形成有机树脂层(12)。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板(11)的侧面(11c)的杂散光之外，还变得能够通过将有机树脂层(12)形成于表面整体从而抑制由于形成了闪烁器层(13)之后的内部应力引起的玻璃基板(11)的翘曲。
【专利说明】闪烁器面板以及放射线检测器
【技术领域】
[0001]本发明涉及闪烁器面板以及放射线检测器。
【背景技术】
[0002]作为现有的闪烁器面板有例如专利文献I所记载的闪烁器面板。在现有的结构中，作为闪烁器层的支撑体是使用0.05_的玻璃基板。另外，缓和来自框体外部的力的缓冲材料和刚性比闪烁器层更高的高刚性构件被配置于框体与闪烁器层之间。
[0003]另外，在专利文献2所记载的闪烁器面板中，以聚酰亚胺类树脂膜或者聚对二甲苯膜覆盖的石墨基板被作为支撑体来进行使用。再有，在专利文献3所记载的闪烁器面板中，由无定形碳构成的基板的整个面被聚对二甲苯膜等中间膜覆盖。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2006-58124号公报
[0007]专利文献2:国际公开W02009/028275号册子
[0008]专利文献3:日本特开2007-279051号公报
【发明内容】
[0009]发明所要解决的技术问题
[0010]例如关于适用于被称作为薄膜晶体管(TFT)面板的固体检测器的闪烁器面板，要求能够满足相对于固体检测器的形状追随性的可挠性。另外，如果在TFT面板的热膨胀系数与闪烁器面板的基板的热膨胀系数之间存在着差异的话，则闪烁器面板的基板上的细微伤痕、或由在通过蒸镀来形成闪烁器层13的情况下产生的异常生长部分而在与TFT面板之间产生的伤痕会由于工作时的热而相对于受光面发生移动，并且可能会产生所谓校正的工夫变得繁杂的问题。
[0011]为了解决像这样的可挠性的问题或热膨胀系数的问题，例如可以考虑将厚度为150 μ m以下的极薄玻璃作为闪烁器面板的基板来使用。然而，在使用极薄玻璃的情况下，玻璃的端部(边缘部分)相对于冲击而会有发生发脆、缺损或龟裂的问题。
[0012]本发明为了解决上述技术问题而完成，其目的在于提供一种既能够防止玻璃基板发生缺损或龟裂又能够确保可挠性的闪烁器面板以及使用了该闪烁器面板的放射线检测器。
[0013]解决技术问题的手段
[0014]为了解决上述技术问题，本发明所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备:具有放射线透过性的厚度为150 μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的表面整体的形式形成的第I有机树脂层、在形成有第I有机树脂层的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖形成有第I有机树脂层的玻璃基板和闪烁器层的整体的形式形成的耐湿性的保护层。
[0015]在该闪烁器面板中，通过厚度为150 μπι以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的表面整体的形式形成第I有机树脂层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面的杂散光之外，还变得能够通过将第I有机树脂层形成于表面整体从而抑制玻璃基板的翘曲。
[0016]另外，在上述闪烁器面板中，第I有机树脂层可以选自聚对二甲苯以及聚脲。
[0017]另外，树脂薄膜层优选被贴附于形成有第I有机树脂层的玻璃基板的另一面侧与保护层之间。在此情况下，能够由树脂薄膜层来进一步补强玻璃基板。另外，通过树脂薄膜层处于玻璃基板的另一面侧，从而就能够消除闪烁器层的内部应力，并且能够更加有效地抑制玻璃基板的翘曲。
[0018]另外，树脂薄膜层优选被贴附于形成有第I有机树脂层的玻璃基板的一面侧与闪烁器层之间。在此情况下，能够由树脂薄膜层来进一步补强玻璃基板。另外，到达玻璃基板的另一面侧的光的透过性被保持，并且能够维持分辨率。
[0019]另外，在上述闪烁器面板中，树脂薄膜层可以选自PET、PEN、COP以及PI。
[0020]另外，优选以覆盖形成有第I有机树脂层的玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成第2有机树脂层。由此，就能够进一步补强玻璃基板，并且能够更加有效地抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，通过第2有机树脂层被形成于玻璃基板的另一面侧和侧面侧，从而就能够进一步提高杂散光的防止效果以及玻璃基板翘曲的抑制效果。
[0021]另外，优选以覆盖形成有第I有机树脂层的玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成第2有机树脂层。由此，玻璃基板被补强，并且能够更加有效地抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。另外，通过第2有机树脂层被形成于玻璃基板的另一面侧和侧面侧，从而既能够提高杂散光的防止效果又能够保持光到达玻璃基板的另一面侧的透过性，并且能够维持分辨率。
[0022]另外，在上述闪烁器面板中，第2有机树脂层可以选自硅树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂以及氟树脂。
[0023]另外，本发明所涉及的放射线检测器的特征在于，具备:以上所述的闪烁器面板、与形成有保护层的闪烁器层相对配置的受光元件。
[0024]在该放射线检测器中，通过厚度为150μπι以下的玻璃基板成为闪烁器面板的支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该放射线检测器中，以覆盖玻璃基板的表面整体的形式形成第I有机树脂层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面地杂散光之外，通过将第I有机树脂层形成于表面整体从而变得能够抑制玻璃基板发生翘曲。
[0025]发明效果
[0026]根据本发明则既能够防止玻璃基板发生缺损或龟裂又能够确保可挠性。
【专利附图】
【附图说明】
[0027]图1是表示本发明的第I实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。
[0028]图2是表示本发明的第2实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。
[0029]图3是表示本发明的第3实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。
【具体实施方式】
[0030]以下是参照附图并就本发明所涉及的闪烁器面板以及放射线检测器的优选的实施方式进行详细说明。
[0031][第I实施方式]
[0032]图1是表示本发明的第I实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，放射线检测器IA通过将受光元件3固定于闪烁面板2A来构成。受光元件3例如是将光电二极管(PD)和薄膜晶体管(TFT)排列于玻璃基板上而构成的TFT面板。
[0033]受光元件3以受光面3a相对于闪烁器面板2A中的后述的闪烁器层13进行相对的形式被贴附于闪烁面板2A的一面侧。还有，作为受光元件3除了 TFT面板之外还可以使用通过光学纤维面板(Fiber optic plate) (FOP:将数微米的光纤做成束的光学装置，例如可以列举浜松光子学株式会社制的J5734)来连接CCD等图像传感器的光学器件。
[0034]闪烁器面板2A是由以下所述构件来构成的:成为支撑体的玻璃基板11、保护玻璃基板11的有机树脂层(第I有机树脂层)12、将入射的放射线转换成可见光的闪烁器层13、保护闪烁器层13受湿气侵袭的耐湿性的保护层14。
[0035]玻璃基板11是一种例如厚度为150 μ m以下优选为100 μ m以下的极薄的基板。通过玻璃基板11的厚度变得极薄从就能够获得充分的放射线透过性以及可挠性，并且能够确保在对受光元件3的受光面3a实行贴附的时候的对闪烁器面板2A的追随性。
[0036]有机树脂层12例如以通过对聚对二甲苯和聚脲等实施气相沉积(例如蒸镀)从而覆盖玻璃基板11的整个面的形式形成。有机树脂层12的厚度例如成为十?数十ym的程度。
[0037]闪烁器层13例如通过由蒸镀法来使掺杂了 Tl的CsI柱状结晶生长并沉积从而被形成于形成有有机树脂层12的玻璃基板11的一面Ila侧。闪烁器层13的厚度例如成为250 μ mo闪烁器层13吸湿性强，如果就这样露出的话则恐怕会由于空气中的湿气而发生潮解。为此，对闪烁器层13来说耐湿性的保护层14就成为了必要。
[0038]保护层14例如通过使用CVD法等气相沉积法来使聚对二甲苯等生长，从而以覆盖形成有有机树脂层12的玻璃基板11和闪烁器层13的形式形成。保护层14的厚度例如成为ΙΟμ--左右。
[0039]在具有以上所述那样的结构的放射线检测器IA中，从玻璃基板11侧入射的放射线在闪烁器层13被转换成光并被受光元件3检测出。在闪烁器面板2Α上，通过厚度为150 μm以下的玻璃基板11成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性。
[0040]通过玻璃基板11具有充分的可挠性，从而就能够满足在将闪烁器面板2A贴附于受光元件3的受光面3a的时候的对形状的追随性。另外，在作为受光元件3而使用TFT面板并且受光面3a为玻璃制的面板的情况下，能够使受光面3a的热膨胀系数与闪烁器面板2A的玻璃基板11的热膨胀系数相一致。为此，就能够防止玻璃基板11上的细微伤痕、或由在通过蒸镀来形成闪烁器层13的情况下产生的异常生长部分而在与TFT面板之间产生的伤痕由于工作时的热而相对于受光面3a发生移动，并且还能够避免校正的工夫变得繁杂。
[0041]另外，在该闪烁器面板2A中，有机树脂层12是以覆盖玻璃基板11的表面整体的形式被形成的。由此，玻璃基板11被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。这还有助于提高制造时或使用时的操作性。再有，除了能够防止来自玻璃基板11的侧面Ilc的杂散光之外，还能够通过将有机树脂层12形成于表面整体，从而能够抑制由于形成了闪烁器层13之后的内部应力而引起的玻璃基板11的翘曲。玻璃基板11的翘曲的抑制效果在玻璃基板11为1cmX 1cm左右的小型基板的情况下变得特别显著。
[0042]另外，通过以覆盖玻璃基板11的表面整体的形式形成有机树脂层12，从而还变得能够以在形成闪烁器层13的时候成为适宜的表面能量以及表面粗糙度的形式调整玻璃基板11的表面状态。
[0043][第2实施方式]
[0044]图2是表示本发明的第2实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，第2实施方式所涉及的放射线检测器1B，IC在以下所述方面与第I实施方式有所不同，即，在闪烁器面板2B，2C上树脂薄膜层16被进一步配置于形成有有机树脂层12的玻璃基板11的外侧。
[0045]更加具体地来说在图2(a)所表示的例子中，树脂薄膜层16在形成有有机树脂层12的玻璃基板11上是通过使用层压机等从而被贴附于形成有闪烁器层13的面的反面(另一面Ilb)侧。另外，在图2(b)所表示的例子中，树脂薄膜层16在形成有有机树脂层12的玻璃基板11上是通过使用层压机等从而被贴附于形成有闪烁器层13的面(一面Ila)侦U。
[0046]树脂薄膜层16例如可以选自PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)、⑶P (环烯烃聚合物)、PI (聚酰亚胺)。树脂薄膜层16的厚度例如与有机树脂层12相同地成为100 μπι的程度。另外，优选为树脂薄膜层16的边缘部与玻璃基板11的边缘部相一致，或者成为突出一点的程度。
[0047]即使是在像这样的结构中也因为与以上所述实施方式相同地玻璃基板11被有机树脂层12补强，所以能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。另外，除了能够防止来自玻璃基板11的侧面Ilc的杂散光之外，还变得能够通过将有机树脂层12形成于表面整体从而抑制玻璃基板11的翘曲。
[0048]再有，根据这些放射线检测器1Β，1C，玻璃基板11进一步由树脂薄膜层16的补强而被增强，并且能够更加有效地抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。如图2(a)所示，在将树脂薄膜层16配置于玻璃基板11的另一面Ilb侧的情况下能够消除闪烁器层13的内部应力，并且能够更加有效地抑制玻璃基板11的翘曲。另外，如图2(b)所示，在将树脂薄膜层16配置于玻璃基板11的一面I Ia侧的情况下光到达玻璃基板11的另一面I Ib侧的透过性被确保，到达受光元件3侧的光的反射发生衰减，其结果能够维持分辨率。
[0049][第3实施方式]
[0050]图3是表示本发明的第3实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，第3实施方式所涉及的放射线检测器1D，IE在以下所述方面与第I实施方式有所不同，即，在闪烁器面板2D，2Ε上进一步将有机树脂层(第2有机树脂层)17配置于形成有有机树脂层12的玻璃基板11的外侧。
[0051]更加具体地来说在图3(a)所表示的例子中，有机树脂层17在形成有有机树脂层12的玻璃基板11上是以覆盖形成有闪烁器层13的面的反面(另一面Ilb)和侧面Ilc的形式被形成的。另外，在图3(b)所表示的例子中，有机树脂层17在形成有有机树脂层12的玻璃基板11上是以覆盖形成有闪烁器层13的面(一面Ila)和侧面Ilc的形式被形成的。
[0052]作为有机树脂层17能够使用例如硅类树脂、聚氨酯类树脂、环氧类树脂、氟类树脂等。另外，作为有机树脂层17的形成方法例如可以列举由旋转涂布法等来完成的涂布。有机树脂层17的厚度例如与有机树脂层12相同地成为100 μm的程度。
[0053]在像这样的结构中，与以上所述实施方式相同地，玻璃基板11被有机树脂层12补强，所以能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。另外，除了能够防止来自玻璃基板11的侧面Ilc的杂散光之外，还变得能够通过将有机树脂层12形成于表面整体，从而抑制玻璃基板11的翘曲。
[0054]再有，根据这些放射线检测器1D，1E，玻璃基板11进一步由有机树脂层17的追加而被补强，并且能够更加切实地抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。如图3(a)所示，在以覆盖玻璃基板11的另一面Ilb和侧面Ilc的形式形成有机树脂层17的情况下，能够进一步提高防止来自侧面Ilc的杂散光的效果以及抑制玻璃基板11的翘曲的效果。另外，如图3(b)所示，在以覆盖玻璃基板11的一面Ila和侧面Ilc的形式形成有机树脂层17的情况下，既能够提高防止来自侧面Ilc的杂散光的效果又能够确保光到达玻璃基板11的另一面Ilb侧的透过性，并且到达受光元件3侧的光的反射发生衰减，其结果能够维持分辨率。
[0055]符号说明
[0056]IA?1E.放射线检测器
[0057]2A?2E.闪烁器面板
[0058]3.受光元件
[0059]11.玻璃基板
[0060]Ila.一面
[0061]Ilb.另一面
[0062]He.侧面
[0063]12.有机树脂层(第I有机树脂层)
[0064]13.闪烁器层
[0065]14.保护层
[0066]16.树脂薄膜层
[0067]17.有机树脂层(第2有机树脂层)
【权利要求】
1.一种闪烁器面板，其特征在于: 具备: 具有放射线透过性的厚度为150 μ m以下的玻璃基板； 以覆盖所述玻璃基板的表面整体的形式形成的第I有机树脂层； 在形成有所述第I有机树脂层的所述玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层；以及以覆盖形成有所述第I有机树脂层的所述玻璃基板并且覆盖所述闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。
2.如权利要求1所述的闪烁器面板，其特征在于: 所述第I有机树脂层选自聚对二甲苯以及聚脲。
3.如权利要求1或者2所述的闪烁器面板，其特征在于: 树脂薄膜层被贴附于形成有所述第I有机树脂层的所述玻璃基板的另一面侧与所述保护层之间。
4.如权利要求1或者2所述的闪烁器面板，其特征在于: 树脂薄膜层被贴附于形成有所述第I有机树脂层的所述玻璃基板的一面侧与所述闪烁器层之间。
5.如权利要求3或者4所述的闪烁器面板，其特征在于: 所述树脂薄膜层选自PET、PEN、COP以及PI。
6.如权利要求1或者2所述的闪烁器面板，其特征在于: 以覆盖形成有所述第I有机树脂层的所述玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成第2有机树脂层。
7.如权利要求1或者2所述的闪烁器面板，其特征在于: 以覆盖形成有所述第I有机树脂层的所述玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成第2有机树脂层。
8.如权利要求6或者7所述的闪烁器面板，其特征在于: 所述第2有机树脂层选自硅树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂以及氟树脂。
9.一种放射线检测器，其特征在于: 具备: 权利要求1?8中任意一项所述的闪烁器面板；以及 与形成有所述保护层的所述闪烁器层相对配置的受光元件。
【文档编号】G01T1/20GK104488039SQ201380038628
【公开日】2015年4月1日 申请日期:2013年4月18日 优先权日:2012年7月20日
【发明者】上西秀典, 式田宗功, 楠山泰 申请人:浜松光子学株式会社