闪烁器面板和放射线检测器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明的一个侧面涉及闪烁器面板和放射线检测器。
【背景技术】
[0002]在专利文献I中记载有制造放射线检测器的方法。在专利文献I所记载的方法中，首先，在排列于元件基底上的光电转换元件的前级配置掩模，通过使用该掩模的闪烁器材料的蒸镀在光电转换元件上形成闪烁器元件。接着，在全体涂布或蒸镀光反射材料。此时，在将闪烁器元件分离的槽填充光反射材料。然后，利用铝箔等实施遮光处理而得到放射线检测器。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开平9-325185号公报
【发明内容】
[0006]发明所要解决的问题
[0007]但是，当如上述的方法那样试图在将闪烁器元件分离的槽填充光反射材料(或光吸收材料)而形成光遮蔽层时，则存在该光反射材料(或光吸收材料)中所含的溶剂等渗透到构成闪烁器元件的多个柱状晶体间的情况。在这种情况下，存在具有潮解性的闪烁器元件的特性发生劣化的问题。特别是在将柱状晶体增厚(例如膜厚500 μ m左右)的情况下，存在柱状晶体间的间隙变宽的趋势，从而成为问题。
[0008]本发明的一个侧面是有鉴于那样的情况而完成的发明，以提供能够防止伴随着光遮蔽层的形成的特性的劣化的闪烁器面板和放射线检测器为课题。
[0009]解决问题的技术手段
[0010]为了解决上述课题，本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板是用于将放射线转换为闪烁光的闪烁器面板，包括:具有表面和背面的基板；以相互分离的方式在基板的表面上形成且具有上表面和从上表面向基板的表面延伸的侧面的多个闪烁器部；以覆盖闪烁器部的上表面和侧面的方式在闪烁器部的上表面和侧面上形成的溶剂渗透阻止膜；和在溶剂渗透阻止膜上形成且用于遮蔽闪烁光的光遮蔽层，闪烁器部由闪烁器材料的多个柱状晶体构成，溶剂渗透阻止膜以不填满彼此相邻的闪烁器部的侧面彼此的间隙的方式形成，光遮蔽层以填充间隙的方式在闪烁器部的侧面上的溶剂渗透阻止膜上形成。
[0011]在该闪烁器面板中，以彼此分离的方式在基板之上形成有多个闪烁器部，以不填满这些闪烁器部彼此(闪烁器部的侧面彼此)的间隙的方式，在各个闪烁器部的侧面和上表面上形成有溶剂渗透阻止膜。再有，在该闪烁器面板中，以填充闪烁器部彼此的方式在溶剂渗透阻止膜之上形成有光遮蔽层。因此，在将规定的材料填充在闪烁器部彼此的间隙而形成光遮蔽层时，该规定的材料的溶剂等不会渗透到构成闪烁器部的柱状晶体间。由此，根据该闪烁器面板，能够防止伴随着光遮蔽层的形成的特性的劣化。
[0012]在本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板中，能够为如下方式:光遮蔽层以覆盖闪烁器部的侧面的方式在闪烁器部的侧面上的溶剂渗透阻止膜上形成。在这种情况下，能够在各闪烁器部可靠地将闪烁光封入。
[0013]在本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板中，能够为如下方式:光遮蔽层还以覆盖闪烁器部的上表面的方式在闪烁器部的上表面上的溶剂渗透阻止膜上形成。在这种情况下，能够在各闪烁器部将闪烁光可靠地封入。
[0014]在本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板中，能够为如下方式:在基板，形成有在从基板的背面朝向表面的方向上从表面突出的多个凸部和由凸部规定的凹部，闪烁器部分别在凸部的上表面上形成。在这种情况下，能够将闪烁器部彼此可靠地分离而形成。
[0015]在本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板中，能够为如下方式:溶剂渗透阻止膜还以覆盖凸部的侧面的方式在凸部的侧面上形成。在这种情况下，能够可靠地防止形成光遮蔽层时的溶剂向柱状晶体间的渗透。
[0016]在本发明的一个侧面所涉及的闪烁器面板中，能够为如下方式:溶剂渗透阻止膜还以覆盖凹部的底面的方式在凹部的底面上形成。在这种情况下，能够更可靠地防止溶剂向柱状晶体间的渗透，而且溶剂渗透阻止膜的形成变得容易。
[0017]此处，为了解决上述课题，本发明的一个侧面所涉及的放射线检测器包括上述的闪烁器面板，基板为具有以与闪烁器部光学结合的方式排列的多个光电转换元件的传感器面板。该放射线检测器因为具备上述的闪烁器面板，所以能够防止伴随着光遮蔽层的形成的特性的劣化。
[0018]发明的效果
[0019]根据本发明的一个侧面，能够提供能够防止伴随着光遮蔽层的形成的特性的劣化的闪烁器面板和放射线检测器。
【附图说明】
[0020]图1是第一实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
[0021]图2是图1所示的闪烁器面板的部分平面图。
[0022]图3是第二实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
[0023]图4是第三实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
[0024]图5是第四实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
[0025]图6是第五实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
[0026]图7是第六实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。
【具体实施方式】
[0027]以下，参照附图，对一个实施方式所涉及的闪烁器面板进行详细的说明。另外，在各图中，对相同或相当部分标注相同符号，省略重复的说明。以下的实施方式所涉及的闪烁器面板是用于将入射的X射线等的放射线R转换为可见光等的闪烁光的闪烁器面板，例如能够在乳房X射线照相装置、胸部检查装置、CT装置、齿科口内摄影装置和放射线照相机等中作为放射线成像用的装置来使用。
[0028][第一实施方式]
[0029]首先，对第一实施方式所涉及的闪烁器面板进行说明。图1是第一实施方式所涉及的闪烁器面板的侧面图。图2是图1所示的闪烁器面板的部分平面图。如图1、2所示，闪烁器面板I具备矩形的基板10。
[0030]基板10具有彼此相对的表面1a和背面10b。基板10具有在表面1a形成的凹凸图案Pa。作为基板10的材料，例如能够使用Al或SUS (不锈钢)等的金属、聚酰亚胺或聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚萘二甲酸乙二醇酯等的树脂薄膜、无定形碳或碳纤维强化塑料等的碳类材料、FOP(光纤面板:将直径为几微米的大量光纤捆束而得到的光学装置(例如浜松光电子公司制J5734)等。作为凹凸图案Pa的材料，例如能够使用环氧树脂(日本化药(株式会社)制KMPR或SU-8等)那样的高深宽比抗蚀剂、硅和玻璃等。特别是构成凹凸图案Pa的凸部的材料能够为相对于在下述的闪烁器部20产生的闪烁光具有透过性的材料。
[0031]凹凸图案Pa由多个凸部11、以及由凸部11规定的凹部12形成。S卩，在基板10形成有多个凸部11和凹部12。各个凸部11沿从基板10的背面1b朝向表面1a的方向(此处，放射线R的射入方向和与基板10的表面1a或背面1b正交的方向)从表面1a突出。各个凸部11被形成为长方体状。凸部11在基板10的表面1a上呈二维矩阵状地周期性地排列。因此，由凸部11规定的凹部12是在平面视时呈矩形的格子状的槽。
[0032]这样的凹凸图案Pa的各尺寸，在令凸部11的间距(凸部11的形成周期)P为100 μ m左右的情况下能够令凹部12的宽度(槽宽度)W为35 μ m左右，在令凸部11的间距P为127 μ m左右的情况下能够令凹部12的宽度W为20 μ m?40 μ m左右，在令凸部11的间距P为200 μπι左右的情况下能够令凹部12的宽度W为50μπι?70μπι左右。此外，凸部11的高度H能够为2.5 ym?50 ym左右。特别是在本实施方式中，令凸部11的间距P为127 μ m左右，令凹部12的宽度W为45 μ m左右，令凸部11的高度H为15 μ m左右。
[0033]闪烁器面板I包括多个闪烁器部20。闪烁器部20是多个柱状晶体C林立而形成的，在柱状晶体C之间存在几μπι左右的间隙。多个闪烁器部20相互分离。闪烁器部20分别在凸部11的上表面Ila上形成。因此，闪烁器面板I包括与凸部11的数量对应的数量的闪烁器部20闪烁器部20具有上表面20a和从上表面20a朝向基板10的表面1a延伸且到达凸部11的上表面Ila的侧面20b。闪烁器部20例如能够由CsI (碘化铯)等形成柱状晶体的闪烁器材料形成。
[0034]闪烁器部20从凸部11的上表面Ila沿放射线R的入射方向(与基板10大致垂直的方向)延伸。更具体而言，闪烁器部20由从凸部11的上表面Ila沿放射线R的入射方向延伸的闪烁器材料的多个柱状晶体C构成。构成闪烁器部20的柱状晶体C能够呈随着从凸部11的上表面Ila离开而扩径的锥状。另外，闪烁器部20的厚度(闪烁器膜厚)T例如能够为100 μπι?600 μπι左右。另外，通过选择放射线(X射线)透过性的基材作为基板10，能够使放射线R从基板10的背面1b入射。
[0035]此处，如上所述，闪烁器部20彼此分离，因而在彼此相邻的闪烁器部20的侧面20b彼此之间形成有间隙30。即，闪烁器部20彼此通过间隙30而被划分，彼此分离。再有，间隙30的宽度比构成闪烁器部20的多个柱状晶体C的间隙宽。此处，间隙30从包括闪烁器部20的上表面20a的上端部(与凸部11相反侧的端部)到达与