一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置，它包括一氦气罐（1），所述的氦气罐（1）内滑动配合设置有多层隔板（2），每一层隔板（2）上均开设有多个通气孔（3），并且隔板（2）上对称设置有提耳（4），所述的隔板（2）上放置有石英晶体谐振器（5），所述氦气罐（1）上端设置有密封端盖（6），所述的氦气罐（1）底部连接有进气管道（7）和出气管道（8），所述的进气管道（7）上设置有进气阀门（12），出气管道（8）上设置有出气阀门（9）。本实用新型的有益效果是：它具有检漏效率高和成本低的精密石英谐振器高速检漏装置。
【专利说明】一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及石英谐振器的检漏装置，特别是一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置。
【背景技术】
[0002]现有的石英晶体谐振器生产过程中，在高压密封多层氦气罐内放入一个石英晶体谐振器，然后对高压密封多层氦气罐内充入高纯度氦气，保持高压持续一段时间后，放掉高压氦气，取出石英晶体谐振器，空置一段时间后，放入大容量高速精密氦质谱检漏仪，对其进行氦气检漏。
[0003]上述传统的石英晶体谐振器检漏方法中，每次只能对一个产品进行氦气高压处理过程，并且在产品的氦气高压处理过程后，每次只能对一个产品经行氦气检漏，效率低，成本闻。
[0004]所以，传统的石英谐振器检漏方法，导致人工成本增加，影响交货周期，并不适合于大批量，规模化的生产。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种检漏效率高和成本低的精密石英谐振器高速检漏用压氦装置。
[0006]本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置，它包括一氦气罐，所述的氦气罐内滑动配合设置有多层隔板，每一层隔板上均开设有多个通气孔，并且隔板上对称设置有提耳，所述的隔板上放置有石英晶体谐振器，所述氦气罐上端设置有密封端盖，所述的氦气罐底部连接有进气管道和出气管道，所述的进气管道上设置有进气阀门，出气管道上设置有出气阀门。
[0007]所述的密封端盖上设置有一检测氦气罐内压力的压力表，。
[0008]所述的密封端盖上还设置有一报警器。
[0009]本实用新型具有以下优点:本实用新型采用高压密封多层氦气罐，充分利用用高压密封多层氦气罐内部空间，从而实现石英谐振器的大批量和规模化的高压氦气处理，采用大容量高速精密氦质谱检漏仪对高压密封多层氦气罐大批量的和规模化产出的精密石英谐振器进行检漏作业，达到提高速度，降低成本的目的。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的结构示意图
[0011]图2为本实用新型的剖视图
[0012]图中，1-氦气罐，2-隔板，3-通气孔，4-提耳，5-石英晶体谐振器，6_密封端盖，7-进气管道，8-出气管道，9-出气阀门，10-压力表，11-报警器，12-进气阀门。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，本实用新型的保护范围不局限于以下所述:
[0014]如图1和图2所示，一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置，它包括一氦气罐1，所述的氦气罐I内滑动配合设置有多层隔板2，每一层隔板2上均开设有多个通气孔3，并且隔板2上对称设置有提耳4，通过提取提耳4可以方便的将隔板2放入和取出氦气罐1，所述的隔板2上放置有石英晶体谐振器5，所述氦气罐I上端设置有密封端盖6，密封端盖6上设置有一检测氦气罐内压力的压力表10，压力表10可以随时读出氦气罐内的压力，以便于操作人员点检，进一步的为提高氦气罐的安全性能，所述的密封端盖6上还设置有一报警器11，当氦气罐I内的内部压力超过设定值后，报警器11就会发出声音提示操作人员对氦气罐I内减压，所述的氦气罐I底部连接有进气管道7和出气管道8，所述的进气管道7上设置有进气阀门12，出气管道8上设置有出气阀门9，往氦气罐内充气时，进气阀门12打开，出气阀门9关闭，当对氦气罐I放气时，出气阀门9打开，进气阀门12关闭。
[0015]本实用新型的工作过程如下:在高压密封的氦气罐I内设置多层隔板2，并在每层隔板2上放入至少一个石英晶体谐振器5，然后对高压密封氦气罐I内充入高纯度氦气，充气时，进气阀门12打开，出气阀门9关闭，然后达到高压状态后，保持氦气罐I高压状态，持续一段时间后，放掉高压氦气，放气时，出气阀门9打开，进气阀门12关闭，然后取出石英晶体谐振器，空置一段时间后，放入大容量高速精密氦质谱检漏仪，对其进行氦气检漏。
【权利要求】
1.一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置，其特征在于:它包括一氦气罐(I)，所述的氦气罐(I)内滑动配合设置有多层隔板(2)，每一层隔板(2)上均开设有多个通气孔(3)，并且隔板(2)上对称设置有提耳(4)，所述的隔板(2)上放置有石英晶体谐振器(5)，所述氦气罐(I)上端设置有密封端盖(6)，所述的氦气罐(I)底部连接有进气管道(7)和出气管道(8),所述的进气管道(7)上设置有进气阀门(12)，出气管道(8)上设置有出气阀门(9)。
2.根据权利要求1所述的一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置，其特征在于:所述的密封端盖(6)上设置有一检测氦气罐内压力的压力表(10)。
3.根据权利要求1所述的一种精密石英谐振器高速检漏用压氦装置，其特征在于:所述的密封端盖(6 )上还设置有一报警器(11)。
【文档编号】G01M3/20GK204128755SQ201420570979
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年9月30日 优先权日:2014年9月30日
【发明者】杨溢 申请人:东晶锐康晶体（成都）有限公司