超声波感测器及其制造方法、超声波感测器阵列与流程

文档序号:12359731阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超声波感测器,其包括基底、第一电极、感测基材以及第二电极,该第一电极形成在该基底上,该第一电极包括相背设置的上表面及下表面,该下表面与该基底相接触,该感测基材形成在该上表面上,该感测基材包括相背设置的顶面及底面,该底面与该上表面相接触,该感测基材具有压电特性,该第二电极形成在该顶面上,该第二电极形成导电线路。

2.如权利要求1所述的超声波感测器,其特征在于,该基底为对称结构。

3.如权利要求1所述的超声波感测器,其特征在于,该基底由硅基材制作而成,该感测基材由聚氟化二乙烯制作而成,该第一电极及该第二电极由高导电率的金属材料制作而成。

4.如权利要求1所述的超声波感测器,其特征在于,该感测基材具有正压电效应及逆压电效应;正压电效应时,该感测基材接收超声波并产生振动,得到电压信号;逆压电效应时,电压造成该感测基材振动而发射超声波。

5.一种如权利要求1-4所述的超声波感测器的制作方法,包括如下步骤:

提供基底;

提供第一靶基材,在该基底的一表面形成第一电极,该第一电极包括相背的上表面及下表面,该下表面与该基底相接触;

提供第二靶基材,在该上表面上形成感测基材,该感测基材包括相背的底面及顶面,该底面与该上表面相接触;

提供第三靶基材,在该顶面上形成第二电极;

通过高压极化的方式使该感测基材具备压电特性;

蚀刻该基底以形成对称结构,从而得到该超声波感测器。

6.一种如权利要求1-5任一项所述的多个超声波感测器组成的感测器阵列,其包括多个超声波感测器,该多个超声波感测器呈阵列排列。

7.如权利要求6所述的感测器阵列,其特征在于,该多个超声波感测器组成同心圆形阵列,每个相邻同心圆之间均间隔设置。

8.如权利要求6所述的感测器阵列,其特征在于,该多个超声波感测器组成矩阵阵列,该多个超声波感测器均匀间隔设置。

9.如权利要求6所述的感测器阵列,其特征在于,在感测被测物体距离时,该多个超声波感测器分为多个发射器及多个接收器,该多个发射器用于发射超声波,该多个接收器用于接收超声波。

10.如权利要求6所述的感测器阵列,其特征在于,该多个超声波感测器中的每个超声波感测器均进行发射与接收超声波的工作。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1