技术特征：
技术总结
本发明提供了一种半导体泵浦碱金属蒸气激光器的诊断装置及方法，该诊断装置的光源子系统产生两路波长λ1与λ2相近但烷烃类气体对其吸收系数相差较大的探测光和参考光，经探测光路子系统和参考光路子系统，探测光经探测光路子系统被烷烃类气体部分吸收，信号采集处理子系统接收光路子系统的探测光和参考光，得到烷烃类气体的浓度变化，并基于烷烃类气体的浓度变化得到半导体碱金属蒸气激光器的碳粒沉积速度，本发明可以在线实时诊断碱金属激光器的碳粒沉积状况，定量描述碳粒沉积速度，表征碳粒沉积状况。
技术研发人员：李志永;谭荣清;黄伟;郑义军;李辉
受保护的技术使用者：中国科学院电子学研究所
技术研发日：2015.12.30
技术公布日：2017.07.07