技术特征：
技术总结
提供一种能够使探针的相对速度变快，并且难以对样品的表面形状的测量结果产生噪声的扫描型探针显微镜。在向X方向以及与X方向相反的方向往返移动时，在切换探针的相对移动的方向时(开始位置P1以及折返位置P2)，使相对速度逐渐地降低之后切换方向，在切换后使相对速度逐渐地上升，防止探针的相对速度急剧地变化。在向Y方向以及与Y方向相反的方向位移移动时(开始位置P1以及折返位置P2)，使探针的相对速度逐渐地上升后，使相对速度逐渐地降低，由此防止探针的相对速度急剧地变化。
技术研发人员：平出雅人
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
技术研发日：2015.04.14
技术公布日：2018.01.02