有色玻璃滤光片强度与相位透过分布检测装置和方法与流程

文档序号:18922560发布日期:2019-10-19 03:43阅读:来源:国知局
技术总结
一种有色滤光片在其透光波段的强度和相位透过分布的光学检测装置和方法,该装置包括半导体光纤输出激光光源,由若干个口径大小不同的透镜和小孔光阑构成的准直缩束系统,有色玻璃滤光片夹持支架,两个透镜组成的成像系统,分束镜,CCD探测器,Hartmann波前传感器以及计算机组成。本发明可以实现对有色滤光片透过强度分布和相位分布同时进行检测,获取动态图像。对于强度透过分布均匀性和透射波前均具有严格要求并在高精度激光参数测量场合使用的有色滤光片来说,这种检测手段尤为重要。本发明装置结构简单,测量方法方便直观,检测结果准确,可用于有色滤光片光学加工的批量检测。

技术研发人员:朱海东;陈杰;郭爱林;胡恒春;谢兴龙;朱健强
受保护的技术使用者:中国科学院上海光学精密机械研究所
技术研发日:2016.02.22
技术公布日:2019.10.18

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