一种可实现多种气体浓度测量的微纳光学传感器系统的制作方法

文档序号:15799469发布日期:2018-11-02 21:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可实现多种气体浓度测量的微纳光学传感器系统,其特征在于,包括激光器(1),输入端通过单模光纤与激光器光输出端连接、用于将激光器输出的光分成两束完全相同的光信号的光纤分束器(2),输入端通过单模光纤与光纤分束器(2)输出端连接、用于接收其中一束光信号并作为参比信号的光检测单元(9),以及输入端通过单模光纤与光纤分束器(2)输出端连接、用于接收另一束光信号进行光学测量的微型集成传感器芯片(3);所述微型集成传感器芯片(3)输出端与光检测单元(9)输入端连接;所述微型集成传感器芯片(3)包括第一波导-光纤耦合器(4)、第一波分复用器(5)、光学传感器组、第二波分复用器(7)和第二波导-光纤耦合器(8);所述第一波导-光纤耦合器(4)输入端与光纤分束器(2)输出端连接,用于将单模光纤传输中的光能量耦合到第一波分复用器的光波导中,并激发相应的波导模式;所述第一波分复用器(5)输出端与光学传感器组连接,用于将输入波导中的波导模式进行解复用,分解成多个不同波长的单色光信号;所述光学传感器组通过光波导与第二波分复用器(7)输入端连接,用于对多种待测参数进行响应,并输出多条不同波长的光波导模式;所述第二波导-光纤耦合器(8)输入端通过光波导与第二波分复用器(7)输出端连接,用于将输入的光波导模式进行复合;所述第二波导-光纤耦合器(8)输出端与光检测单元(9)输入端连接,用于将光波导中传输的波导模式耦合到单模光纤中,并使输出的光信号传输到光检测单元中。

2.根据权利要求1所述的一种可实现多种气体浓度测量的微纳光学传感器系统,其特征在于,所述光纤分束器(2)为3dB光纤分束器。

3.根据权利要求2所述的一种可实现多种气体浓度测量的微纳光学传感器系统,其特征在于,所述光学传感器组由n个并联的光学传感器(6)组成,n>1。

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