1.一种温湿度集成的无源无线传感器,其特征在于,包括温敏电感和湿敏电容构成的LC谐振回路;
所述温敏电感为三明治结构,包括底层衬底(1)、中部的电感模具(3)和上层盖片(4);电感模具(3)为螺旋形的凹槽,凹槽内注有作为液态电感的液态金属合金(2),液态金属合金(2)的体积小于凹槽的容积;凹槽内液态金属合金(2)的上表面设有一层氧化物保形层(5),氧化物保形层(4)的高度低于凹槽上表面的高度;
所述湿敏电容设置在上层盖片(4)远离电感模具(3)一面上,与温敏电感形成串联结构。
2.根据权利要求1所述的一种温湿度集成的无源无线传感器,其特征在于,所述湿敏电容为叉指电容,包括片状的叉指电极(6),叉指电极(6)的一面贴在上层盖片(4)上表面上,另一面上喷涂有湿敏介质(7)。
3.根据权利要求1所述的一种温湿度集成的无源无线传感器,其特征在于,所述液态金属合金(2)为共融镓铟合金。
4.根据权利要求1所述的一种温湿度集成的无源无线传感器,其特征在于,所述氧化物保形层(5)为金属氧化物层。
5.根据权利要求1所述的一种温湿度集成的无源无线传感器,其特征在于,所述叉指电极(6)为铂电极,所述湿敏介质(7)为氧化石墨烯。
6.根据权利要求1所述的一种温湿度集成的无源无线传感器,其特征在于,所述底层衬底(1)、电感模具(3)和上层盖片(5)均由PDMS材料制成。
7.根据权利要求1所述的一种温湿度集成的无源无线传感器,其特征在于,所述底层衬底(1)、电感模具(3)和上层盖片(5)均由N-异丙基丙烯酰胺材料制成。