1.一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法,其特征在于,包括如下步骤:
将三氟化硼原料气按质量分成等量的两份,称为第一三氟化硼原料气和第二三氟化硼原料气,分别进入第一测试流程和第二测试流程;
按三氟化硼原料气的行进方向,所述第一测试流程依次包括吸附器、气液分离器和碱液吸收器;所述吸附器主要用于吸附氟化氢和三氟化硼,所述气液分离器用于将三氟化硼原料气中的氟化氢液化;所述碱液吸收器用于对三氟化硼原料气中剩余的氟化氢进行吸收检测;依次称量三氟化硼原料气通入前后的吸附器、气液分离器和碱液吸收器的质量差,分别记为△m1、△m2和△m3;通入的三氟化硼原料气的质量为m;
按三氟化硼原料气的行进方向,所述第二测试流程依次包括气液分离器和碱液吸收器;所述气液分离器用于将三氟化硼原料气中的氟化氢液化;所述碱液吸收器用于对三氟化硼原料气中剩余的氟化氢进行吸收检测;依次称量三氟化硼原料气通入前后的气液分离器和碱液吸收器的质量差,分别记为△m4和△m5;
然后按照如下公式计算,即可得到三氟化硼原料气中氟化氢的含量w为:
w=1-[(△m4+△m5)-(△m1+△m2+△m3)]/m。
2.根据权利要求1所述的检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法,其特征在于:所述第一测试流程中的碱液吸收器由1个或多个碱液吸收器串联构成。
3.根据权利要求1所述的检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法,其特征在于:所述第一测试流程和第二测试流程中的碱液吸收器均为饱和碳酸氢钠吸收器。
4.根据权利要求1所述的检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法,其特征在于:所述第二测试流程中的碱液吸收器由1个或多个碱液吸收器串联构成。
5.一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的装置,其特征在于:包括第一测试流程和第二测试流程;
按三氟化硼原料气的行进方向,所述第一测试流程依次包括吸附器、气液分离器和碱液吸收器;所述吸附器主要用于吸附氟化氢和三氟化硼,所述气液分离器用于将三氟化硼原料气中的氟化氢液化;所述碱液吸收器用于对三氟化硼原料气中剩余的氟化氢进行吸收检测;
按三氟化硼原料气的行进方向,所述第二测试流程依次包括气液分离器和碱液吸收器;所述气液分离器用于将三氟化硼原料气中的氟化氢液化;所述碱液吸收器用于对三氟化硼原料气中剩余的氟化氢进行吸收检测。
6.根据权利要求5所述的检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的装置,其特征在于:所述第一测试流程中的碱液吸收器由1个或多个碱液吸收器串联构成。
7.根据权利要求5所述的检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的装置,其特征在于:所述第一测试流程和第二测试流程中的碱液吸收器均为饱和碳酸氢钠吸收器。
8.根据权利要求5所述的检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的装置,其特征在于:所述第二测试流程中的碱液吸收器由1个或多个碱液吸收器串联构成。
9.根据权利要求5所述的检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的装置,其特征在于:还包括三氟化硼原料气钢瓶。
10.根据权利要求9所述的检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的装置,其特征在于:所述三氟化硼原料气钢瓶的出口处设有减压阀。