技术总结
本发明公开了一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法，包括如下步骤：将三氟化硼原料气按质量分成等量的两份，称为第一三氟化硼原料气和第二三氟化硼原料气，分别进入第一测试流程和第二测试流程。试验证明，本发明的方法可以准确地测量三氟化硼络合物生产过程中三氟化硼尾气的氟化氢含量，具有良好的判定性能，取得了显著的效果。
技术研发人员：金向华;宗立冬;夏致远;孙猛;陈琦峰;周珽;曹文权;许军州;唐璐
受保护的技术使用者：苏州金宏气体股份有限公司
文档号码：201610569041
技术研发日：2016.07.19
技术公布日：2016.12.21