技术总结
本发明提出了一种内环形外分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、外电极、内电极、玻璃基底。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用内电极和外电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
技术研发人员：张卫平;欧彬;刘朝阳;唐健;孙殿竣;邢亚亮;王晨阳;周岁;寻之宇;崔峰
受保护的技术使用者：上海交通大学
文档号码：201610635009
技术研发日：2016.08.04
技术公布日：2017.01.04