一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构的制作方法

本发明涉及MEMS振动陀螺，具体是一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。

背景技术：

MEMS振动陀螺是基于科里奥利效应的一种惯性传感装置，可以检测旋转物体的角度或角速度。MEMS振动陀螺具有体积小、质量轻、功耗低、可批量生产、价格便宜等优点，可以广泛应用于武器制导、航空航天、汽车工业、生物医学、消费品电子等领域，具有极其广泛的应用前景。MEMS振动陀螺的工作原理如下：MEMS振动陀螺有两个谐振频率相同的固有四波腹弯曲振动模态，可以将其中的一个弯曲振动模态用作驱动模态，另一个弯曲振动模态用作检测模态；当没有角速度输入时，MEMS振动陀螺的谐振子在驱动电极的作用下在驱动模态工作，MEMS振动陀螺的检测电极输出为零；当有角速度输入时，MEMS振动陀螺的谐振子在科里奥利力作用下在检测模态工作，此时MEMS振动陀螺的检测电极输出相应的速度信息，经陀螺外围电路解算即可得到输入角速度。然而实践表明，现有MEMS振动陀螺由于其谐振子的几何结构所限，普遍存在抗冲击性能差的问题。为此有必要发明一种全新的谐振子结构，以解决现有MEMS振动陀螺抗冲击性能差的问题。

技术实现要素：

本发明为了解决现有MEMS振动陀螺抗冲击性能差的问题，提供了一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。

本发明是采用如下技术方案实现的：

一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；

其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔，且圆柱状中心锚点的轴线与圆环状谐振质量的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列；

每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、S形弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成；第一片状弹性支撑悬梁的尾端与圆柱状中心锚点的外侧面固定；S形弹性支撑悬梁的尾端与第一片状弹性支撑悬梁的首端固定；第二片状弹性支撑悬梁的尾端与S形弹性支撑悬梁的首端固定；第二片状弹性支撑悬梁的首端与圆环状谐振质量的内侧面固定。

工作时，圆柱状中心锚点的下端面与MEMS振动陀螺的玻璃基底键合。圆环状谐振质量的外侧面设有八个中心角为40度的弧形电极，八个弧形电极同样与MEMS振动陀螺的玻璃基底键合，且八个弧形电极的位置与八个轮辐状弹性支撑悬梁的位置一一对应（如图3所示）。其中四个弧形电极作为驱动电极，另外四个弧形电极作为检测电极，且四个驱动电极和四个检测电极交错排列。本发明在控制系统的作用下维持环向波数为2的四波腹振动。具体工作过程如下：当没有角速度输入时，本发明在四个驱动电极的激励下，以驱动模态作面内四波腹弯曲振动（如图4所示），此时四个检测电极位于四波腹弯曲振动的波节处，MEMS振动陀螺的输出为零。当有角速度输入时，本发明在哥氏力耦合作用下，以检测模态作面内四波腹弯曲振动（如图5所示），此时四个检测电极位于四波腹弯曲振动的波腹处，且振动幅度与输入角速度相关，MEMS振动陀螺实时测出输入角速度。

基于上述过程，本发明所述的一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构通过采用高深宽比的S形弹性梁结构，具备了如下优点：其一，本发明在两个工作模态（驱动模态和检测模态）下的谐振质量相等，由此一方面使得两个工作模态（驱动模态和检测模态）的谐振频率匹配更容易，另一方面实现了两个工作模态（驱动模态和检测模态）的阻尼自然匹配。其二，本发明的谐振结构为一个高深宽比整体，由此使得MEMS振动陀螺的抗冲击性能大幅提高。

本发明结构合理、设计巧妙，有效解决了现有MEMS振动陀螺抗冲击性能差的问题，适用于武器制导、航空航天、汽车工业、生物医学、消费品电子等领域。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明中轮辐状弹性支撑悬梁的结构示意图。

图3是本发明的工作状态参考图。

图4是本发明在驱动模态下的振型示意图。

图5是本发明在检测模态下的振型示意图。

图中：1-圆环状谐振质量，2-圆柱状中心锚点，3-轮辐状弹性支撑悬梁，31-第一片状弹性支撑悬梁，32-S形弹性支撑悬梁，33-第二片状弹性支撑悬梁，4-弧形电极。

具体实施方式

一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量1、圆柱状中心锚点2、轮辐状弹性支撑悬梁3；

其中，圆柱状中心锚点2位于圆环状谐振质量1的内腔，且圆柱状中心锚点2的轴线与圆环状谐振质量1的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁3的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁3围绕圆柱状中心锚点2的轴线等距排列；

每个轮辐状弹性支撑悬梁3均由第一片状弹性支撑悬梁31、S形弹性支撑悬梁32、第二片状弹性支撑悬梁33构成；第一片状弹性支撑悬梁31的尾端与圆柱状中心锚点2的外侧面固定；S形弹性支撑悬梁32的尾端与第一片状弹性支撑悬梁31的首端固定；第二片状弹性支撑悬梁33的尾端与S形弹性支撑悬梁32的首端固定；第二片状弹性支撑悬梁33的首端与圆环状谐振质量1的内侧面固定。

具体实施时，八个轮辐状弹性支撑悬梁3的尺寸一致，且八个轮辐状弹性支撑悬梁3的高度均与圆环状谐振质量1的高度相等。圆环状谐振质量1、圆柱状中心锚点2、八个轮辐状弹性支撑悬梁3均采用单晶硅片加工而成，且圆环状谐振质量1、圆柱状中心锚点2、八个轮辐状弹性支撑悬梁3采用体硅加工工艺制造为一体。