技术总结
本发明涉及MEMS振动陀螺，具体是一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS振动陀螺抗冲击性能差的问题。一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔，且圆柱状中心锚点的轴线与圆环状谐振质量的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、S形弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、汽车工业、生物医学、消费品电子等领域。
技术研发人员：刘俊;寇志伟;曹慧亮;石云波;连树仁;冯恒振;唐军
受保护的技术使用者：中北大学
文档号码：201610918609
技术研发日：2016.10.21
技术公布日：2017.01.04