1.一种超声波法滤膜附着颗粒物再飞扬的方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）将附着颗粒物的滤膜浸入清洗液中；
（2）利用超声波的高频振荡作用对清洗液内附着在滤膜上的颗粒物进行剥离、搅拌和分散；
（3）利用超声波的喷泉成雾作用将含颗粒物的清洗液打散并悬浮起来，形成含颗粒物的液雾；
（4）对含颗粒物的悬浮液雾进行加热，液雾内部的颗粒物随着液雾的汽化消失而释放出来，并处于悬浮状态，同时液雾发生汽化后将形成膨胀气流，实现悬浮的颗粒物随着膨胀的气流向外飞扬。
2.根据权利要求1所述的一种超声波法滤膜附着颗粒物再飞扬的方法，其特征在于所述的清洗液为具有化学惰性的低温液体。
3.根据权利要求1或2所述的一种超声波法滤膜附着颗粒物再飞扬的方法，其特征在于所述的清洗液为液氮或液态二氧化碳。
4.根据权利要求1所述的一种超声波法滤膜附着颗粒物再飞扬的方法，其特征在于步骤（3）中形成的液雾粒径控制在5~30 µm。
5.一种超声波法滤膜附着颗粒物再飞扬的装置，其特征在于包括储液槽（2）、滤膜夹（6）、清洗槽（7）、流量计（9）、加热片（10）、雾化槽（11）、振动子（14）和雾化片（17）；储液槽（2）上部设置有进液口（1）和泄压口（3），储液槽（2）底部通过管子连接清洗槽（7），储液槽（2）和清洗槽（7）之间的管子上设有阀门I（5）；清洗槽（7）中部悬挂有滤膜夹（6），滤膜夹（6）可夹住滤膜（15）并置于清洗槽（7）中，清洗槽（7）底部设有振动子（14），清洗槽（7）通过管子连接雾化槽（11），清洗槽（7）和雾化槽（11）之间的管子上设置有阀门II（16）；雾化槽（11）底部设有雾化片（17），上部设有加热片（10），顶部通过管子连接出口（8），雾化槽（11）与出口（8）之间的管子上设有流量计（9）；阀门I（5）、阀门II（16）、振动子（14）、雾化片（17）、加热片（10）、流量计（9）均与控制器（13）连接；储液槽（2）、清洗槽（7）、雾化槽（11）均设置在保温外壳（12）内部。