抗环境振动影响的微机械陀螺仪的制作方法

文档序号:12110207阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种抗环境振动影响的微机械陀螺仪,其特征是,包括:

第一结构(1)、第二结构(2)和耦合梁(3);第一结构(1)和第二结构(2)通过耦合梁(3)连接且关于耦合梁(3)对称,耦合梁(3)仅允许第一结构(1)和第二结构(2)反向运动;

第一结构(1)包括第一框架(11)、第一驱动质量块(12)、第二驱动质量块(13)、第一驱动耦合梁(14)、第一梳齿驱动电极(15)、第一梳齿检测电极(16)、第一支撑梁(17)和第二支撑梁(18);其中,第一驱动质量块(12)、第二驱动质量块(13)、第一驱动耦合梁(14)、第一梳齿驱动电极(15)、第一支撑梁(17)和第二支撑梁(18)均设于第一框架(11)内;第一驱动质量块(12)和第二驱动质量块(13)通过第一驱动耦合梁(14)连接且关于第一驱动耦合梁(14)对称,第一驱动耦合梁(14)促使第一驱动质量块(12)和第二驱动质量块(13)等位移反向运动;第一梳齿驱动电极(15)分布于第一驱动质量块(12)和第二驱动质量块(13)四周,第一梳齿检测电极(16)分布于第一框架(11)四周;第一支撑梁(17)用来连接衬底与第一框架(11);第二支撑梁(18)用来将第一驱动质量块(12)、第二驱动质量块(13)与第一框架(11)连接;

第二结构(2)包括第二框架(21)、第三驱动质量块(22)、第四驱动质量块(23)、第二驱动耦合梁(24)、第二梳齿驱动电极(25)、第二梳齿检测电极(26)、第三支撑梁(27)和第四支撑梁(28);其中,第三驱动质量块(22)、第四驱动质量块(23)、第二驱动耦合梁(24)、第二梳齿驱动电极(25)、第三支撑梁(27)和第四支撑梁(28)设于第二框架(21)内;第三驱动质量块(22)和第四驱动质量块(23)通过第二驱动耦合梁(24)连接且关于第二驱动耦合梁(24)对称,第二驱动耦合梁(24)促使第三驱动质量块(22)和第四驱动质量块(23)等位移反向运动;第二梳齿驱动电极(25)分布于第三驱动质量块(22)和第四驱动质量块(23)四周,第二梳齿检测电极(26)分布于第二框架(21)四周;第三支撑梁(27)用来连接衬底与第二框架(21);第四支撑梁(28)用来将第三驱动质量块(22)、第四驱动质量块(23)与第二框架(21)连接。

2.如权利要求1所述的抗环境振动影响的微机械陀螺仪,其特征是:

所述的第一支撑梁(17)有4组,分别设置于第一框架(11)四侧壁,4组第一支撑梁(17)均一端连接第一框架(11),另一端连接衬底;

且,所述的第三支撑梁(27)也有4组,分别设置于第二框架(21)四侧壁,4组第三支撑梁(27)均一端连接第二框架(21),另一端连接衬底。

3.如权利要求1所述的抗环境振动影响的微机械陀螺仪,其特征是:

所述的第二支撑梁(18)有8组,其中4组用来连接第一驱动质量块(12)和第一框架(11),另外4组用来连接第二驱动质量块(13)和第一框架(11);

且,所述的第四支撑梁(28)也有8组,其中4组用来连接第三驱动质量块(22)和第二框架(21),另外4组用来连接第四驱动质量块(23)和第二框架(21)。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1