专利名称：振子的支撑部件的制作方法
技术领域：
本发明涉及适用于振动式陀螺仪(ジヤイロスコ一プ)的振子的支撑部件以及支撑构造。
背景技术：
在车身控制系统中，振动式陀螺仪以及其振子暴露在范围很大的环境温度即高温和低温中。这种使用温度范围通常在-40℃～+85℃的范围中，在更加严酷的情况下，有时也在更大的温度范围中。尤其，在通过压电性单晶而形成了振子的场合，有压电性单晶具有的温度特性的影响。本申请人在特开2001-12955号公报中公开了特定方式的噪声小的振动式陀螺仪。另外，在特开2001-82962号公报中公开了在环境温度变化的场合，为了抑制检测振动的Q值变动，将用于连接振子与支撑部件的粘结剂的tanδ在使用温度范围内设为0.1或0.1以下。另外，在专利文献2中公开了特定形状的噪声小的振动式陀螺仪。
可是，在外壳(パツケ一ジ)内的底座上固定支撑振子时，根据支撑状态，在特定的温度范围内，在晶体阻抗中产生了峰值状的温度漂移。该温度漂移产生的温度范围出现各种变动，某个振子是从-40℃到+20℃，另外其它振子是从-40℃到+60℃，对此进行控制很困难。所以必须抑制此峰值状的温度漂移，必须至少到-40℃～+85℃的范围之外。
发明内容
本发明的目的是提供一种在使用振子的物理量测定装置中，可以降低检测信号的零点温度漂移这样的振子支撑构造。
第一方式发明的支撑部件通过连接线(バンデイングワイヤ)支撑振子，该支撑部件具有形成应该配置在振子正下方的开口的支撑板以及连接线，该连接线包含应该连接在振子上的连接端部；固定到支撑板上的固定部以及折曲部。其特征是连接线从支撑板的突出开始位置与折曲部的间隔L1是折曲部与连接端部的间隔L2的10％或者10％以上。另外，本发明涉及特征为具有上述支撑部件和由该支撑部件来支撑的振子的振子的支撑构造。
第二方式发明的支撑部件是通过连接线支撑振子，其特征是具有形成应该配置在振子下方的开口的支撑板以及连接线，该连接线有应该连接在振子上的端部；固定到支撑板上的固定部、从端部延伸的腿部分以及设置在该腿部和固定部之间弯曲部。
根据本发明的支撑部件以及支撑构造，可以降低如上所述的检测信号的零点温度漂移。以下，参照附图，对本发明进行更加详细的说明。
图1是表示在本发明中可以使用的振子1A的一例的俯视图(驱动振动模式)。
图2是表示在本发明中可以使用的振子1A的一例的俯视图(检测振动模式)。
图3是表示晶体阻抗与频率以及相位的关系的曲线图。
图4是表示晶体阻抗与温度以及驱动相位的关系的曲线图。
图5是表示频率与晶体阻抗(电压/电流)的关系的曲线图。
图6是表示晶体阻抗与频率的关系的曲线图。
图7是表示对于观测到共振破坏(潰れ)现象(电流)的样品的激光多普勒测定结果的曲线图。
图8是表示在正常动作的振动式陀螺仪中驱动阻抗的温度变化的曲线图。
图9是表示在正常动作的振动式陀螺仪中激光多普勒测定结果的曲线图。
图10是表示振子1A非支撑时的不需要振动模式D、E、F的立体图。
图11是表示图10以及图12的振动模式的俯视图。
图12是表示振子1A支撑时的振动模式D、E的立体图。
图13是概括表示振子1A的支撑构造的一例的截面图。
图14是概括表示比较例的支撑构造的截面图。
图15是图13的支撑构造的俯视图。
图16是表示在基板32上形成了图14的支撑构造状态的截面图。
图17是表示在实施例中使用的板状体23的俯视图。
图18是表示在实施例中使用的板状体24的俯视图。
图19是表示各连接线29以及其导电性端子部分30A～30F的平面形状的图。
图20是在实施例中的支撑构造的俯视图。
图21是在实施例中的支撑构造的截面图。
图22是第二方式的发明的支撑构造的截面图。
图23是第二方式的发明的支撑构造的截面图。
具体实施例方式
图1是概括表示本发明一实施方式的振子1A(驱动振动模式)的俯视图。图2是表示振子1A的检测振动模式的振动的俯视图。
本例的振子1A具有基部2；从基部2伸出的一对检测振动片13A、13B；从基部2伸出的一对连接部5；和设置在各连接部5前端的各驱动振动片14A、14B、14C、14D。
在各驱动振动片14A～14D的各主面上，分别形成细长的槽，各驱动振动片14A～14D的横截面形状大致为H形。在槽内形成驱动电极19。在各驱动振动片14A～14D的各前端上分别设定幅广部或者重量部15A、15B、15C、15D，在各幅广部上分别形成贯通孔17。在各检测振动片13A、13B的各主面上分别形成细长的槽，各检测振动片13A、13B的横截面形状大致为H形。在槽内形成检测电极20。在各检测振动片13A、13B的各前端上分别设定幅广部或者重量部16A、16B，在各幅广部上分别形成贯通孔18。
图1表示驱动模式的振动。在驱动时，各驱动振动片14A～14D以向着连接部5的根部21为中心如箭头A所示分别进行弯曲振动。在此状态中使振子1A绕与振子1A大致垂直延伸的旋转轴Z旋转。于是，如图2所示，连接部5以向着固定部2的根部5a为中心如箭头B所示进行弯曲振动。各检测振动片13A、13B因该反作用而以向着固定部2的根部为中心如箭头C所示进行弯曲振动。根据在各检测振动片13A、13B上产生的电信号，计算以之轴为中心的旋转角速度。
在外壳基板上通过线连接支撑使用了如图1、图2所示振子的振动式陀螺仪，在各种条件下本发明者进行了旋转角速度的检测实验。此时，在使用了相同振子的场合也看到了根据支撑状态，在特定温度范围中晶体阻抗中产生峰值。以下具体描述此过程。如图3所示，当用阻抗测定器测定振子时，能看到晶体阻抗的峰值前端变得平坦这样的现象。在图3中，横轴是频率，纵轴(左侧)是晶体阻抗，右侧是相位。
接着，测定了振子的晶体阻抗的温度特性。即，对于使用了图3的振子的振动式陀螺仪，测定驱动阻抗的温度变化，在图4中表示了测定结果。在图4中，横轴是温度(从-40℃到+85℃)，纵轴是驱动阻抗。这样，例如在+50℃～-40℃的区域中，可以看见在驱动时的晶体阻抗中峰值状的变化。与此相反，对于正常动作的振动式陀螺仪，例如如图8所示，驱动阻抗在很宽的温度范围几乎是平坦的。
另外，对频率与晶体阻抗(电压/电流)的关系进行研究，在图5中表示了其结果。电压分别变更为0.05、0.1、0.2、0.3、0.4、0.5伏。其结果，在电压为0.05伏时发现正常的峰值，但是当电压为0.1伏时，峰值被严重破坏，当电压成为0.2伏或0.2伏或以上时平坦区域变得非常宽，可判明产生了“共振破坏(潰れ)”。
接着，将温度变更为20℃、25℃、40℃、60℃，测定晶体阻抗与频率的关系，在图6中表示了其结果。该结果表明了共振破坏现象根据温度而变化。尤其判明了产生共振破坏现象时的晶体阻抗高度根据温度而变化。这表示产生共振破坏时的电流值(破坏电流值)依存于温度而进行变化。
另外，对于如观测到共振破坏现象(电流)的上述样品，进行了激光多普勒测定。图7表示其结果。在图7中，上侧的曲线是多普勒输出，下侧的曲线是驱动电压。表明得到驱动电压具有约1/2频率(fd/2)的多普勒输出。与此相反，在正常动作的振动式陀螺仪中，驱动信号和激光多普勒计算的输出信号的频率相等，没有观测驱动信号具有约1/2频率的多普勒输出(参照图9)。
本发明者对于具有接近于(fd/2)的频率的振动模式进行振动模式分析，得到了以下见解。即，在如图1、图2所示的振子(非支撑时)上，存在如在图10的立体图以及图11的俯视图中图示的振动模式。在该振动模式中，细长的连接部5以向着基部2的根部为中心，如箭头D所示在Z轴方向(旋转轴方向)进行弯曲振动。与此同时，各驱动振动片14A、14B、14C、14D以连接部5的前端作为根部如箭头E所示在Z轴方向分别进行弯曲振动。并且，箭头D的弯曲振动和箭头E的弯曲振动针对振子平面同相，并且频率相等。与此同时，各检测振动片13A、13B以向着其基部的根部13a为中心，如箭头F所示在Z轴方向进行弯曲振动。箭头F的弯曲振动和箭头D、E的弯曲振动频率相等，并且相对于振子平面为逆相。
与此相对，当通过线连接法支撑振子1A时，根据支撑状态，产生了如在图11、图12中用箭头D、E所示的振动模式。该振动模式是在图10所示的振动模式D、E、F之中仅驱动振动片以及连接部的振动D、E分离开了的振动模式。具体来说，细长的连接部5以向着基部2的根部为中心如箭头D所示在轴方向(旋转轴方向)进行弯曲振动。与此同时，各驱动振动片14A、14B、14C、14D以连接部5的前端作为根部，如箭头E所示在Z轴方向分别进行弯曲振动。并且，箭头D的弯曲振动和箭头E的弯曲振动相对于振子平面同相，并且频率相等。表明了图12的弯曲振动模式通过支撑振子而出现，且具有接近于fd/2的共振频率。并且，通过适当选定支撑方式或支撑位置，使此振动模式的共振频率变动，从而可以离开fd/2一定量，因此，观察到了可以抑制在-40℃～+85℃中的晶体阻抗峰值的上升。
对于该支撑构造，参照附图进行说明。图13是概括表示本发明一实施方式的支撑部件22的截面图。在本例中，例如通过层叠金属板23和绝缘板24来得到支撑板40。在支撑板40上，在振子1A的下部，形成开口25。并且，在支撑板40上例如在背面24a侧固定连接线26的固定部26a。该固定方法没有特别限定，可例示聚酰亚胺系粘结剂。
连接线26除具有向着支撑板40背面24a的固定部26a以外，还具有向着开口25的突出部26c；折曲部28；通过开口25内的倾斜部26b；以及向着振子1A的下面1b的连接端部29。连接线26的根数或位置可以适当变更。
在此，根据本发明，将连接线26从支撑板40的突出开始位置39和折曲部28的间隔设为L1，折曲部28和连接端部29的间隔设为L2。并且，将L1设为L2的10％或者10％以上。如此，采用了在连接线26中将在开口25内突出的开口突出部分26c的长度L1增大到某种程度以上的方式。可以观察到通过此方式，即使接近于驱动振动的共振频率的一半fd/2的振动模式存在，也可以将该频率从fd/2向低的方向远离，在很宽的温度范围中可以降低晶体阻抗或输出的温度漂移。由此观点出发，L1/L2较理想的是30％或30％以上，更理想的是50％或50％以上。
与此相反，在图14所示的支撑部件22A的场合，在连接线26A中，L1很短，L1/L2例如不到5％。当是此支撑构造时，最接近于例如如上所述的驱动振动的共振频率的1/2的振动的频率变高，变得非常容易接近于fd/2。通过相对增大L1，降低该振动的频率，可以离开fd/2。
可是，若L1变得过大时，振子1A从支撑板40的高度变得容易变动，担心不需要的振动振幅变大。由此观点出发，L1/L2较理想的是在400％或400％以下，更理想的是在300％或300％以下。
另外，在第二方式的发明中，在连接线上设置应该连接在振子上的端部；固定到支撑板上的固定部；从端部延伸的腿部；以及弯曲部，该弯曲部被设置在腿部和固定部之间。
例如在图22、图23的例子中，连接线31、32具有应该连接在振子1A上的端部29；固定到支撑板上的固定部31a、32a；从端部31a、32a延伸的腿部31b、32b；以及弯曲部31d、32d，该弯曲部31d、32d被设置在腿部和固定部31a、32a之间。图22的连接线31还具有笔直的突出部31c。如此，通过在腿部31b、32b和固定部31a、32a之间设置弯曲部31d、32d，即使驱动振动接近于共振频率的一半fd/2的振动模式存在，该频率也从fd/2向低的方向远离，可以在很大的温度范围中将晶体阻抗或输出的温度漂移降低。
在第一以及第二的发明中理想的是振子具有用于在振子上激振驱动振动的驱动电极；以及用于检测在振子上激振的检测振动的检测电极，对检测电极电连接连接线。
另外，在第一以及第二的发明中理想的是振子具有设置有驱动电极的驱动振动片；设置有检测电极的检测振动片；以及在驱动振动片和检测振动片之间设置的基部。在此场合特别理想的是连接线的折曲部存在于将基部投影到支撑板上的区域的外侧，并且，存在于将振子投影到支撑板上的区域内。即，在图13的例子中，H是基部2的外边缘2a的内侧区域(将基部2投影到支撑板40上的区域)，T是将振子1A投影到支撑板40上的区域(振子的外边缘1c的内侧区域)。连接线26的折曲部28位于基部2的投影区域H的外侧，并且位于振子1A的投影区域T内，即位于环状的区域G内。
另外，在第一以及第二的发明中理想的是连接线的突出开始位置存在于将基部投影到支撑板上的区域的外侧，并且，存在于将振子投影到支撑板上的区域内。例如，在图13所示的例子中连接线26的突出开始位置39存在于将基部2投影到支撑板40上的区域H的外侧，并且，存在于将振子1A投影到支撑板40上的区域T内，即存在于环状的区域G内。
在第一以及第二的发明中在更适合的实施方式中，振子具有连接基部和驱动振动片的细长连接部。在此场合中最理想的是，实质上沿着平面形成振子，在驱动振动的共振频率成为fd时，对于具有最接近于fd/2的共振频率的振动模式，连接部以向着其基部的根部为中心向平面外进行弯曲振动，驱动振动片以向着其连接部的根部为中心向平面外进行弯曲振动，连接部相对于弯曲振动平面的相位和驱动振动片相对于弯曲振动平面的相位相互同相。此例参照图10～图12进行了说明。
在第一以及第二的发明中理想的是支撑部件还具有支撑支撑板的基板，在该基板上设置与支撑板的开口连通的空腔。因此，在振子在支撑板上振动时，振子与支撑板的表面接触，可以防止振动状态变化。
图15是概括表示此实施方式的支撑构造的俯视图，图16是概括表示该支撑构造的截面图。本例的支撑部件22因为与图13所示的支撑部件22几乎相同，所以在相同结构部分使用相同符合，并省略其说明。在本例中，在支撑板40的正下方，还设置与支撑板40分开的基板32。基板32例如是外壳用基板。在基板32的安装面32a侧形成空腔32b。在空腔32b上方设置并支撑连接线26以及振子1。此外，在本例中，如图15所示，使用6根连接线26。空腔32b的深度h理想的是振子从支撑板40的高度J的一半或一半以上，更理想的是振子从支撑板40的高度J或J以上。
在第二发明中，腿部的形态没有特别限定。例如，腿部可以是笔直的，或者在以如图22、23所示的截面进行观察时可以是弯曲至折曲的。
另外，弯曲部31d、32d的曲率半径(在图22、图23所示的截面进行观察时的曲率半径)从降低输出的温度漂移这一观点出发，较理想的是0.2mm或0.2mm以上，更理想的是0.3mm或0.3mm以上。但是，当弯曲部31d、32d的曲率半径变得过大时，因为振子的振动状态受到影响，由此观点出发，较理想的是1mm或1mm以下，更理想的是0.8mm或0.8mm以下。
另外，在第二发明的适当实施方式中(参照图22、图23)，在作出了接合于固定部31a、32a的与振子1A相反侧的面的第一切线A；接合于腿部31b、32b的在端部侧末端34与振子相反侧的面的第二切线B；以及第一切线A和第二切线B的交点O时，在第一切线A上连接线从支撑板的突出开始位置39与交点O的间隔L3是在第二切线B上腿部的端部侧末端34和交点O的间隔L4的10％或10％以上。因此，可以更加有效降低输出的温度漂移。由此观点出发，L3/L4较理想的是30％或30％以上，更理想的是50％或50％以上。另一方面，当L3变得过大时，振子1A从支撑板40的高度变得容易变动，担心不需要的振动振幅变大。由此观点出发，L3/L4较理想的是400％或400％以下，更理想的是300％或300％以下。
振子的材料没有特别限定，但是较理想的是压电单晶，特别理想的是由水晶、铌酸锂单晶、钽酸锂单晶、铌酸锂-钽酸锂固溶体单晶、硼酸锂单晶、硅酸镓镧单晶等组成的压电单晶。
振子的尺寸没有限定。可是当振子的重量或尺寸较大时，施加在连接线上的重力变大，在经过长时间后有可能连接线变形。为此，由抑制由于连接线变形而导致对振动的影响的观点出发，振子的宽度较理想的是10mm或10mm以下，更理想的是5mm或5mm以下。另外，由同样的观点出发，较理想的是振子的重量为5mg或5mg以下，更理想的是1mg或1mg以下。另外，振子的厚度较理想的是0.3mm或0.3mm以下，更理想的是0.2mm或0.2mm以下。
基板的材料没有特别限定，可以使用用于所谓的外壳用途的绝缘性材料，例如陶瓷、玻璃、树脂。
对连接线与振子及支撑板的连接方法没有限定，较理想的是超声波连接、点焊、导电性粘结剂、软钎焊。
连接线与振子的端子部进行电连接。在此，在适合的实施方式中，连接线与振子的端子部连接。可是，连接线不需要与端子部直接连接。例如，在振子的端子部以外的区域连接连接线的前端，可以通过例如振子上的布线或与振子分开的电线，电连接连接线的前端和端子部。
理想的是以不与支撑板直接接触的状态来支撑振子，由此可防止振子的振动损害。在适合的实施方式中，振子与支撑板的间隔J是0.1mm或0.1mm以上，更理想的是0.2mm或0.2mm以上。
连接线的材料没有特别限定，但是必须是导电性材料，另外较理想的是具有柔软性以及柔性的材料。由此观点出发，镀金铜、镀金镍、镍、铝较理想。
连接线的宽度和厚度没有特别限定，但是从在长时间中稳定支撑振子的观点出发，较理想的是宽度是25μm或25μm以上，厚度是10μm或10μm以上，更理想的是宽度是50μm或50μm以上，厚度是20μm或20μm以上。另外，从支撑构造整体小型化这样的观点出发，宽度是200μm或200μm以下，厚度是80μm或80μm以下，更理想的是宽度是100μm或100μm以下，厚度是40μm或40μm以下。
在本发明中应测定的物理量没有特别限定。在振子上激振驱动振动，由于驱动振动中的振子的物理量的影响而振子的振动状态发生变化时，将由该振动状态的变化通过检测电路可检测的物理量作为对象。作为这样的物理量特别理想的是施加在振子上的加速度、角速度、角加速度。另外，作为测定装置较理想的是振动式陀螺仪等惯性传感器。
实施例(实验A)制作了具有如图15、图16所示形态的振子以及支撑构造。但是，在本例中，如图17～图21所示变更各构成部分的形态。
具体来说，使用了图1、图2所示的振子1A。在厚度0.1mm的水晶Z板的晶片(ウエハ一)上，通过溅射法在规定位置上形成了厚度为100埃的铬膜和厚度为1500埃的金膜。在晶片的两面被覆保护膜。在碘和碘化钾的水溶液中浸入该晶片，通过蚀刻除去多余的金膜，此外在硝酸铈铵和高氯酸的水溶液中浸入晶片，蚀刻除去了多余的铬膜。晶片在温度为80℃的氟化铵中浸入20小时，蚀刻晶片，形成了振子1A的外形。使用金属掩模，在厚度为100埃的铬膜上作为电极膜形成了厚度为2000埃的金膜。振子1A的尺寸是纵长3.8mm、横宽4.5mm、厚度0.1mm，重量约是0.8mg。
在外壳上安装了振子1A。在此，上侧的板状体23的平面形状如图17所示，由不锈钢形成。下侧的板状体24的平面形状如图18所示，由聚酰亚胺形成。基板32由氧化铝陶瓷形成。空腔的深度h作成0.1mm。振子1A从支撑板40表面的直立高度J作成0.1mm。另外，图19表示各连接线以及各导电端子部30A、30B、30C、30D、30E、30F的形态。图20是表示组合板状体23、24、振子1A以及各连接线26的状态的俯视图。另外，图21是表示本例的支撑构造的截面图。
另外，连接线的接点焊盘由金形成，用金镀铜膜线制作连接线。铜膜线的厚度为0.018mm，宽度为0.03mm。由超声波连接法将振子1A的基部2与连接线连接，并固定到支撑板40上。
在温度试验槽中放入得到的各振动型陀螺仪，使环境温度在-40℃到+85℃之间变化。并且，对于各样本，如表1所示地变更L1/L2。使用自激振荡电路产生驱动振动，确认有无共振破坏现象。另外，对于各样品，分析具有最接近于fd/2的共振频率的振动模式，测定该共振频率。使用阻抗测定器测定各振动模式的各共振频率。结果如表1所示。
表1
由表1表明，根据本发明调整L1/L2，由此可以防止在-40℃到+85℃之中的共振破坏现象。另外，也表明突出开始位置、折曲部适于设置在区域G内。
(实验B)与实验A同样制作振子1A，支撑在如图23所示形态的支撑装置上，并安装到外壳中。板状体23、24、基板32与实验A相同。振子1A从支撑板表面的直立高度为0.1mm。连接线的接点焊盘、材料、尺寸、固定方法也与实验A相同。但是，在图23中，L3、L4如表2所示进行了变更。另外，实验编号5的弯曲部32a的曲率半径是0.08mm，实验编号6的弯曲部32a的曲率半径是0.3mm。
对于得到的各振动型陀螺仪，与实施A相同，使用阻抗测定器测定了各振动模式的各共振频率。结果如表2所示。
表2
如上所述，根据本发明可以提供一种在使用振子的物理量测定装置中，能降低检测信号的零电温度漂移这样的振子的支撑构造。
权利要求
1.一种振子的支撑部件，通过连接线支撑振子，其特征在于，具有形成有应该配置在所述振子下方的开口的支撑板以及连接线，该连接线具有应该连接在所述振子上的端部、固定到所述支撑板上的固定部以及折曲部，所述连接线从所述支撑板的突出开始位置与所述折曲部的间隔(L1)是所述折曲部与所述端部的间隔(L2)的10％或者10％以上。
2.一种振子的支撑部件，通过连接线支撑振子，其特征在于，具有形成有应该配置在所述振子下方的开口的支撑板以及连接线，该连接线具有应该连接在所述振子上的端部、固定到所述支撑板上的固定部、从所述端部延伸的腿部以及设置在该腿部和所述固定部之间的弯曲部。
3.根据权利要求2所述的支撑部件，其特征在于，在作出了接合于所述固定部的与所述振子相反侧的面的第一切线；接合于所述腿部的在所述端部侧末端与所述振子相反侧的面的第二切线；以及第一切线和第二切线的交点时，在所述第一切线上所述连接线从所述支撑板的突出开始位置与所述交点的间隔(L3)是在所述第二切线上所述腿部的所述端部侧末端和所述交点的间隔(L4)的10％或10％以上。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的支撑部件，其特征在于，具有支撑所述支撑板的基板，在该基板上设置与所述开口连通的空腔。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的支撑部件，其特征在于，在所述支撑板的背面侧固定所述连接线的所述固定部。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的支撑部件，其特征在于，所述振子具有用于在所述振子上激振驱动振动的驱动电极以及用于检测在所述振子上被激振的检测振动的检测电极，所述连接线与所述驱动电极或者所述检测电极电连接。
7.根据权利要求6所述的支撑部件，其特征在于，所述振子具有设置有所述驱动电极的驱动振动片、设置有所述检测电极的检测振动片以及在所述驱动振动片和所述检测振动片之间设置的基部。
8.根据权利要求7所述的支撑部件，其特征在于，所述折曲部存在于将所述基部投影到所述支撑板上的区域的外侧，并且存在于将所述振子投影到所述支撑板上的区域内。
9.根据权利要求7或8所述的支撑部件，其特征在于，所述突出开始位置存在于将所述基部投影到所述支撑板上的区域的外侧，并且存在于将所述振子投影到所述支撑板上的区域内。
10.根据权利要求7～9中任意一项所述的支撑部件，其特征在于，具有连接所述基部和所述驱动振动片的细长连接部。
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，实质上沿着平面形成所述振子，在所述驱动振动的共振频率为fd时，在具有最接近于fd/2的共振频率的振动模式中，所述连接部以向着其所述基部的根部为中心向所述平面外进行弯曲振动，所述驱动振动片以向着其连接部的根部为中心向所述平面外进行弯曲振动，所述连接部的弯曲振动相对于所述平面的相位和所述驱动振动片的弯曲振动相对于所述平面的相位相互同相。
12.一种振子的支撑构造，其特征在于，具有权利要求1～11中任意一项所述的支撑部件和由该支撑部件支撑的振子。
全文摘要
本发明提供一种在使用振子的物理量测定装置中，可以降低检测信号的零点温度漂移这样的振子支撑构造。提供一种通过连接线(26)来支撑振子(1A)的支撑部件(22)。支撑部件(22)具有形成有应该配置在振子1A正下方的开口(25)的支撑板(40)以及连接线(26)，该连接线(26)具有应该连接固定在振子(1A)上的连接端部(29)；固定到支撑板(40)上的固定部(26a)；以及存在于开口(25)下的折曲部(28)。连接线(26)从支撑板(40)的突出开始位置(39)与折曲部(28)的间隔(L1)是折曲部(28)与连接端部(29)的间隔(L2)的10％或者10％以上。
文档编号G01P9/04GK1879007SQ200480033199
公开日2006年12月13日 申请日期2004年10月28日 优先权日2003年11月12日
发明者石川诚司, 菊池尊行, 林茂树 申请人:日本碍子株式会社