蜂巢状盘形振动陀螺的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种微机电陀螺仪，并且特别涉及一种MEMS蜂巢状的盘形振动陀螺。
【背景技术】
[0002] 陀螺仪是测量载体相对惯性空间旋转运动的传感器，是运动测量、惯性导航、制导 控制等领域的核心器件，在航空航天、智能机器人、制导弹药等高端工业装备和精确打击武 器中具有非常重要的应用价值。传统的陀螺仪包括机械转子陀螺、静电陀螺、半球谐振陀 螺、激光陀螺、光纤陀螺、动力调谐陀螺等，它们虽然精度高，但体积、功耗、价格等方面难以 满足要求。基于微机电系统技术的MEMS陀螺仪具有体积小、功耗低、寿命长、可批量生产、 价格便宜等特点，在大批量和小体积的工业和武器装备应用中具有先天优势。
[0003] 总体而言，振动陀螺分为两大类，一种是退化模态振动陀螺，其驱动模态与检测模 态相同，另一种是正交模态振动陀螺，其驱动模态与检测模态不相同且正交。相较于正交模 态振动陀螺，退化模态振动陀螺具有频率匹配的特性，其哥氏力信号受到品质因子（Q值） 的放大作用，因此具有更高的灵敏度。同时退化模态陀螺的对称结构使得其对环境的机械 和辐射干扰具有更好的鲁棒性。
[0004] 目前涌现出了许多种工作在退化模态的MEMS振动陀螺，其谐振结构一般为对称 壳体，例如圆环形、圆盘形等，圆环形振动陀螺受制于较小的惯性质量，使得其信噪比和灵 敏度受到限制，而圆盘形谐振子则克服了这一点，因此更具优势。
【发明内容】
[0005] 本发明的目的是提供一种蜂巢状盘形振动陀螺。
[0006] 本发明的技术方案是：
[0007] -种蜂巢状盘形振动陀螺，包括谐振子以及设置在谐振子内部或/和外部的电 极，所述谐振子为整体呈轴对称的圆盘形，圆盘形谐振子的中心为用于固定整个谐振子的 锚点，圆盘形谐振子的外缘是一圈圆形的谐振环，连接谐振环与锚点的结构为呈周向周期 分布的蜂巢拓扑形状的蜂巢形框架，蜂巢形框架内形成多圈呈周向周期分布的六边形的孔 洞，整个蜂巢形框架和圆环构成谐振子的谐振结构。谐振子为整体呈轴对称的圆盘形，轴 对称结构，使陀螺能够工作在退化模态，具有更高的灵敏度。
[0008] 进一步地，所述电极设置在谐振子的外部，多个电极呈周向均匀分布在谐振环的 外周。具体地，8个或者16个或者更多个电极周向均匀分布在谐振环的外周。
[0009] 进一步地，所述电极设置在谐振子的内部，多圈呈周向周期分布的六边形的孔洞 内设置有呈周向均匀分布的电极。
[0010] 进一步地，所述电极同时设置在谐振子的内部和外部，多个电极呈周均匀分布在 谐振环的外周，且多圈呈周向周期分布的六边形的孔洞内也设置有呈周向均匀分布的电 极。
[0011] 本发明的蜂巢状盘形振动陀螺是一种典型的工作在退化模态的微振动陀螺，即其 谐振子的驱动模态与检测模态一样。蜂巢状盘形振动陀螺的工作原理为：通过静电力驱动 方式，以特定的频率激励出蜂巢状盘形谐振子如图1A所示的第一模态（即驱动模态），其第 一模态为环向波数为2的驻波，其中波腹点处的振幅最大，波节点处的振幅为零，波腹点连 线构成固有刚性轴系；当有轴向角速度输入时，蜂巢状盘形谐振子在哥氏力的作用下产生 如图1B所示的另一固有刚性轴系的第二模态（即检测模态），蜂巢状盘形谐振子第二模态 的振动通过电容检测方式，转换成敏感电信号，该敏感电信号与输入角速度成正比，经过滤 波及放大等处理即可得到输入角速度信息。
[0012] 此外由于谐振子不可避免存在一定的制造误差，该误差引起的振型偏移和频率裂 解是影响陀螺性能的主要因素，需要采用静电修调实现陀螺的动态平衡，通过在特定位置 的修调控制电极上施加偏置电压来实现系统等效刚度的调节，从而实现蜂巢状盘形谐振子 的模态匹配和动态平衡。
[0013] 蜂巢状盘形振动陀螺采用静电/电容的方式实现谐振子的驱动、检测和修调，因 此电极的设计对于蜂巢状盘形振动陀螺的性能有着重要的影响。蜂巢状盘形振动陀螺可以 采用环绕在谐振子周围的外置电极的设计，也可以在蜂巢状盘形谐振子的内部众多六边形 孔洞中设计内置电极，同时还可以采用外置电极和内置电极并存的设计。如果电极数目越 多，单个电极的电容面积越大，则电极的驱动、检测和修调效果越好。
[0014] 本发明的有益效果
[0015] 本发明的谐振环和内部蜂巢状框架提供了较大的谐振质量。蜂巢状的设计使得谐 振子对外部干扰具有更好的鲁棒性，同时对内部的制造误差具有更好的免疫性。同时蜂巢 状谐振子内部众多的孔洞也可以便于设置内置电极，提供数量更加可观的驱动、检测和控 制电极，有助于提高驱动幅值，增大检测电容面积和提升控制效果。
[0016] 为了更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说 明、附图以及附表，然而所附图仅提供参考与说明，并非用来对本发明加以限制。
【附图说明】
[0017] 图1A示出了蜂巢状盘形振动陀螺等退化模态陀螺谐振子的第一模态（驱动模态） 示意图；
[0018] 图1B示出了蜂巢状盘形振动陀螺等退化模态陀螺谐振子的第二模态（检测模态） 示意图；
[0019] 图2A示出了周向等8周期均匀分布的蜂巢状盘形振动陀螺谐振子；
[0020] 图2B示出了周向等16周期均匀分布的蜂巢状盘形振动陀螺谐振子；
[0021] 图3示出了蜂巢状盘形谐振子的前20阶模态振型图；
[0022] 图4示出了在相同位置具有相同的缺陷的嵌套环式盘形谐振子与蜂巢状盘形谐 振子；
[0023] 图5A示出了蜂巢状盘形谐振子的第一模态振型图；
[0024] 图5B示出了蜂巢状盘形谐振子的第二模态振型图；
[0025] 图6A示出了采用周向均匀分布的多个外置电极的蜂巢状盘形振动陀螺结构示意 图；
[0026] 图6B示出了采用多个内置电极的蜂巢状盘形振动陀螺结构示意图；
[0027] 图6C示出了同时采用外置电极和内置电极的蜂巢状盘形振动陀螺结构示意图。
【具体实施方式】
[0028] 下面将结合附图和实施例对本发明做进一步的说明。
[0029] 图2A、图2B分为周向等8周期均匀分布和周向等16周期均匀分布的蜂巢状盘形 振动陀螺谐振子的实施例。图2A所示的实施例中，谐振子1为周向等8周期均匀分布结构， 谐振子1通过锚点6固定，谐振子的最外圈的谐振环3与锚点6通过蜂巢拓扑形状的蜂巢 状框架4