振子传感器的制作方法

本发明涉及显示器件制程领域，尤其涉及一种振子传感器。

背景技术：

在显示技术领域，液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示器件(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平板显示器件已经逐步取代CRT显示器。

LCD显示器件是由一片薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与一片彩色滤光片(Color Filter，CF)基板贴合而成，且在TFT基板与CF基板之间灌入液晶，通过通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。

OLED具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示器件。OLED显示器件通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极，发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。

由此可见，不论是LCD显示器件还是OLED显示器件，基板都是不可或缺的重要组成部分。

在实际的生产制造过程中，涉及到对基板进行刻蚀、清洗等多种制程，相应的设备通常要配置振子传感器(Sensor)来感测基板的到来或离开。如图1所示，现有的振子传感器包括一条反馈信号线100、及对应该条反馈信号线100设置的一个传感器本体200。所述传感器本体200包括架子基体201、安装在架子基体201中间的振子体202、安装在振子体顶部的转子203、及安装在架子基体201底部用于容置反馈信号线100的套管204；进一步地，所述振子体202与架子基体201之间设有垫片205，所述套管204通过一固定螺丝206固定于架子基体201，振子体202内设有磁铁(未图示)。针对该现有的振子传感器，在很多情况下，当振子体202、转子203、垫片205或其它原因等发生问题时，都会造成振子体202在基板到来或离开时不能正常发送出电学信号，导致设备误报警，基板在设备内部如果停留时间过长，可能导致基板的过刻蚀废弃或返工，不仅造成成本上的浪费，也对设备的产能造成一定的影响。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种振子传感器，能够降低因振子传感器原因造成的基板过刻蚀废弃和返工率，提高产能，延长振子传感器的寿命。

为实现上述目的，本发明提供一种振子传感器，包括一条反馈信号线、及对应该条反馈信号线设置的两个传感器本体；

所述传感器本体包括架子基体、安装在架子基体中间的振子体、安装在振子体顶部的转子、及安装在架子基体底部用于容置反馈信号线的套管；所述振子体内设有磁铁；

两个传感器本体的振子体均电性连接所述反馈信号线，当其中一个传感器本体发生故障时，另一传感器本体仍能正常发送出对基板的感测信号。

所述振子体与架子基体之间设有垫片，所述套管通过一固定螺丝固定于架子基体。

可选的，所述两个传感器本体并联。

所述两个传感器本体均正常的情况下，有基板到来通过转子时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均吸合，向反馈信号线传送电流，无基板时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均断开，不向反馈信号线传送电流；一个传感器本体正常，另一传感器本体发生故障的情况下，有基板到来通过转子时，一个传感器本体的振子体内的磁铁吸合，另一个传感器本体的振子体内的磁铁断开，仍向反馈信号线传送电流，无基板时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均断开，不向反馈信号线传送电流。

可选的，所述两个传感器本体串联。

所述两个传感器本体均正常的情况下，有基板到来通过转子时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均断开，不向反馈信号线传送电流，无基板时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均吸合，向反馈信号线传送电流；一个传感器本体正常，另一传感器本体发生故障的情况下，有基板到来通过转子时，一个传感器本体的振子体内的磁铁吸合，另一个传感器本体的振子体内的磁铁断开，仍不向反馈信号线传送电流，无基板时，两个传感器本体的振子体内的磁铁均吸合，向反馈信号线传送电流。

所述转子的顶端高于基板的底面1.7mm～2.0mm。

一个传感器本体的套管的横截面形状为圆形，对应的架子基体底部相应开设圆形的安装孔用于容置套管；另一个传感器本体的套管的横截面形状为马蹄形，对应的架子基体底部相应开设马蹄形的安装孔用于容置套管。

所述振子传感器还包括一定位板、穿过定位板底部用于支撑传感器本体的定位螺母；所述定位板上设有定位刻度，通过调整定位螺母能够使得传感器本体的振子体达到设定的刻度。

本发明的有益效果：本发明提供的一种振子传感器，通过设置两个并联或串联的传感器本体共同电性连接同一条反馈信号线，能够实现当其中一个传感器本体发生故障时，另一传感器本体仍能正常发送出对基板的感测信号，从而能够降低因振子传感器原因造成的基板过刻蚀废弃和返工率，提高产能，延长振子传感器的寿命。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为现有的振子传感器的主视图；

图2为本发明的振子传感器第一实施例的主视图；

图3为本发明的振子传感器第一实施例的左视图；

图4a、4b分别为本发明的振子传感器中两个传感器本体并联时二者均正常的情况下对应有基板、无基板状态的等效电路示意图；

图4c、4d分别为本发明的振子传感器中两个传感器本体并联时一个正常、另一个发生故障的情况下对应有基板、无基板状态的等效电路示意图；

图5a、5b分别为本发明的振子传感器中两个传感器本体串联时二者均正常的情况下对应有基板、无基板状态的等效电路示意图；

图5c、5d分别为本发明的振子传感器中两个传感器本体串联时一个正常、另一个发生故障的情况下对应有基板、无基板状态的等效电路示意图；

图6a、6b分别为本发明的振子传感器中两个传感器本体的套管的横截面形状的示意图；

图7为本发明的振子传感器第二实施例的主视图；

图8为本发明的振子传感器第二实施例的左视图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

本发明提供一种振子传感器。图2与图3所示为本发明的振子传感器的第一实施例，包括一条反馈信号线1、及对应该条反馈信号线1设置的两个传感器本体2。

所述传感器本体2包括架子基体21、安装在架子基体21中间的振子体22、安装在振子体22顶部的转子23、及安装在架子基体21底部用于容置反馈信号线1的套管24；所述振子体22内设有磁铁(未图示)。进一步地，所述振子体22与架子基体21之间设有垫片25，所述套管24通过一固定螺丝26固定于架子基体21。

两个传感器本体2的振子体22均电性连接所述反馈信号线1。

可选的，所述两个传感器本体2并联。

具体地，结合图2、图3、图4a、与图4b，所述两个传感器本体2均正常的情况下，有基板5到来通过转子23时，两个传感器本体2的振子体22内的磁铁均吸合，向反馈信号线1传送电流，设备以此电流信号作为对应于基板到来的感测信号；无基板时，两个传感器本体2的振子体22内的磁铁均断开，不向反馈信号线1传送电流，设备以此无电流信号作为对应于基板离开的感测信号。

结合图2、图3、图4c、与图4d，一个传感器本体2正常，另一传感器本体2发生故障的情况下，有基板5到来通过转子23时，一个传感器本体2的振子体22内的磁铁吸合，另一个传感器本体2的振子体22内的磁铁断开，仍向反馈信号线1传送电流，振子传感器仍能正常起作用；无基板时，两个传感器本体2的振子体22内的磁铁均断开，不向反馈信号线1传送电流，振子传感器仍能正常起作用。

可选的，所述两个传感器本体2串联。

具体地，结合图2、图3、图5a、与图5b，所述两个传感器本体2均正常的情况下，有基板5到来通过转子23时，两个传感器本体2的振子体22内的磁铁均断开，不向反馈信号线1传送电流，设备以此无电流信号作为对应于基板到来的感测信号；无基板时，两个传感器本体2的振子体22内的磁铁均吸合，向反馈信号线1传送电流，设备以此电流信号作为对应于基板离开的感测信号。

结合图2、图3、图5c、与图5d，一个传感器本体2正常，另一传感器本体2发生故障的情况下，有基板5到来通过转子23时，一个传感器本体2的振子体22内的磁铁吸合，另一个传感器本体2的振子体22内的磁铁断开，仍不向反馈信号线1传送电流，振子传感器仍能正常起作用；无基板时，两个传感器本体2的振子体22内的磁铁均吸合，向反馈信号线1传送电流，振子传感器仍能正常起作用。

由此可见，采用两个传感器本体2的振子体22均电性连接同一反馈信号线1，不论并联还是串联，当其中一个传感器本体2发生故障时，另一传感器本体2仍能正常发送出对基板的感测信号。

可以预设当一个传感器本体2坏掉而不能恢复到原状时，设备不会立即报警并停机，从而不会造成基板的过刻蚀，延长了振子传感器的使用寿命，提高了产能，可以等到定期点检或保养的时候，检查振子传感器，如果有一个传感器本体2有问题，即对其进行更换。这种情况下，无需对设备的软件进行升级，改造费用较低。

也可以预设只要有一个传感器本体2不能正常工作时，设备就报警，但是不停机，使设备标注为危险状态，等到量产不紧张或定期保养时对出问题的传感器本体2进行更换。这种情况下同样不会造成基板的过刻蚀，延长了振子传感器的使用寿命，提高了产能，但需要对设备的基板管理控制器进行软件升级，以改变设备的反应。

具体地，所述转子23的顶端高于基板5的底面1.7mm～2.0mm，便于基板5到来时下压转子23，引发振子体22内的磁铁做出反应。

结合图2、图3、图6a、与图6b，一个传感器本体2的套管24的横截面形状为圆形，对应的架子基体21底部相应开设圆形的安装孔用于容置套管24；另一个传感器本体2的套管24的横截面形状为马蹄形，对应的架子基体21底部相应开设马蹄形的安装孔用于容置套管24；这样的设置更有利于套管24的固定。

图7与图8所示为本发明的振子传感器的第二实施例，其与第一实施例的区别在于：还包括一定位板7、穿过定位板7底部用于支撑传感器本体2的定位螺母9；所述定位板7上设有定位刻度71，通过调整定位螺母9能够使得传感器本体2的振子体22达到设定的刻度。安装了所述定位板7以后，如果更换新的传感器本体2，只需要调整定位螺母，使振子体22达到预设的刻度即可，省去了很多重新定位的麻烦。其余均与第一实施例相同，此处不再赘述。

综上所述，本发明的振子传感器，通过设置两个并联或串联的传感器本体共同电性连接同一条反馈信号线，能够实现当其中一个传感器本体发生故障时，另一传感器本体仍能正常发送出对基板的感测信号，从而能够降低因振子传感器原因造成的基板过刻蚀废弃和返工率，提高产能，延长振子传感器的寿命。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。