一种克服激光诱导击穿光谱中基体干扰的元素分析方法与流程

文档序号:11108769阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种克服激光诱导击穿光谱中基体干扰的元素分析方法,其特征在于,具体包括以下步骤:

S1.准备好待测样品,打开固定波长激光器输出激光束,采用激光束烧蚀待测样品表面产生等离子体;

S2.准备一个波长可调谐激光器,该波长可调谐激光器的聚焦镜能够上下左右移动;打开该波长可调谐激光器,将激光束的波长调节为与待测元素原子的激发线相同,输出激光束并通过聚焦镜将激光束聚焦在等离子体上;

S3.通过调节波长可调谐激光器的聚焦镜,改变波长可调谐激光器的激光束的焦点在等离子体上的位置,采集不同聚焦位置处的等离子体发射光谱,记录基体元素谱线和待测元素谱线强度;

S4.对比各个聚焦位置时的光谱强度,确定待测元素原子的最佳激发效率区域,调节波长可调谐波长激光聚焦镜的位置,令波长可调谐激光的激光束聚焦在等离子体的最佳激发效率区域上;

S5.采集最佳激发效率区域上的等离子体发射光谱,通过该等离子体发射光谱对待测元素进行定量或定性分析。

2.如权利要求1所述的元素分析方法,其特征在于,在步骤S2中,通过在所述波长可调谐激光器的聚焦镜上设置一个二维移动台来实现聚焦镜的上下左右移动。

3.如权利要求1或2所述的元素分析方法,其特征在于,在步骤S3中,将所述二维移动台与计算机连接,通过计算机控制二维移动台的移动,实现波长可调谐激光器的激光束在等离子体上的自动扫描,采集不同聚焦位置处的等离子体发射光谱。

4.如权利要求3所述的元素分析方法,其特征在于,在步骤S4中,采用计算机收集不同聚焦位置处的等离子体发射光谱,自动确定最佳激发区域并控制所述二维移动台移动,将波长可调谐激光的激光束聚焦在等离子体的最佳激发效率区域。

5.如权利要求1或2所述的元素分析方法,其特征在于,在步骤S3中,以等离子体中心为坐标轴原点,建立坐标系,将波长可调谐激光器的激光束的聚焦位置在坐标系上进行标定,获得每次聚焦的精确位置。

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