一种高灵敏度集成压力传感器的制作方法

文档序号:11758921阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高灵敏度集成压力传感器,其特征在于:包括外壳、芯体和调理电路,所述外壳为密封结构,其内设置有芯体和调理电路;所述芯体包括由至少两个的压力传感器组成的压力传感器阵列;所述压力传感器包括基底、硅衬层、弹性膜片、二氧化硅保护层和金属层;所述硅衬层为E形硅,所述基底为矩形硅,基底和硅衬层为连体结构,基底与硅衬层之间为梯形空腔;所述硅衬层的中间部位设置有弹性膜片,弹性膜片上掺杂形成压敏电阻,压敏电阻上端设有二氧化硅保护层;所述二氧化硅保护层上表面两端分别设置有金属层。

2.如权利要求1所述的高灵敏度集成压力传感器,其特征在于:所述弹性膜片为中间回形岛结构,膜片四个边上分别连接有压敏电阻,所述压敏电阻为U形压敏电阻。

3.如权利要求2所述的高灵敏度集成压力传感器,其特征在于:所述弹性膜片的边长为2000um,所述压敏电阻的长度为150um,压敏电阻的宽度为20um。

4.如权利要求1所述的高灵敏度集成压力传感器,其特征在于:所述压力传感器阵列为Y形三通结构,两个传感器同方向固定在一个传感器的引压接口上。

5.如权利要求1所述的高灵敏度集成压力传感器,其特征在于:所述调理电路固定在传感器的侧面。

6.如权利要求1所述的高灵敏度集成压力传感器,其特征在于:所述调理电路包括三端可调正稳压器集成电路LM117、仪表放大器AD620和外围电路;所述AD620连接传感器电桥,并通过电容与LM117连接;所述LM117为传感器和AD620提供电源。

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