1.一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器,其特征是,包括:微型光源、传输光纤、准直器、振动敏感源、光电转换模块、数据分析模块和无线传输模块;
所述微型光源通过传输光纤与振动敏感源连接,在所述振动敏感源的两侧分别固定有准直器,所述振动敏感源的输出端通过传输光纤与光电转换模块连接,光电转换模块与数据分析模块、无线传输模块依次连接。
2.如权利要求1所述的一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器,其特征是,所述振动敏感源包括梳状栅格、保护框架及准直螺纹孔;所述梳状栅格随外界振动而上下浮动,所述保护框架设置在梳状栅格的外侧,所述准直螺纹孔设置在保护框架上用于与准直设备连接。
3.如权利要求1所述的一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器,其特征是,所述光电转换设备包括依次串联连接的光电转换元件、放大电路和滤波电路。
4.一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器的工作方法,其特征是,包括:
1)光强信号经过准直设备进入振动敏感源,经过振动敏感源调制之后的光信号通过准直器进入光电转换设备;光电转换模块将光强信号转换为电信号输入到数据处理分析模块进行处理;
2)通过分析在特定时间内A/D转换信号幅值强弱交替的次数,确定光强信号的变化频率f;
3)结合振动敏感源中梳状栅格宽度l、格距数值d以及光强信号的频率f,计算所述特定时间内振动敏感源所经过的路程L;
4)根据路程L计算振动信号的幅值a。
5.权利要求4所述的一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器的工作方法,其特征是,所述步骤3)中计算所述特定时间内振动敏感源所经过的路程L的方法为:
L=f(l+d)
其中,l为梳状栅格宽度,d为格距数值,f为光强信号的频率。
所述步骤4)中计算振动信号的幅值a的方法为:
L=2*a*t2
其中,L为时间t内振动敏感源所经过的路程。