一种平板玻璃折射率非接触式测量装置及方法与流程

文档序号:11912575阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种平板玻璃折射率非接触式测量装置,其特征在于:包括平行光源(1)、狭缝(2)、平板玻璃(3)和线阵CCD(4),平板玻璃(3)置于载物台(6)的圆心位置,平行光源(1)、狭缝(2)和线阵CCD(4)均可绕载物台(6)的圆心转动,线阵CCD(4)与示波器电连接;平行光源(1)射出的入射光束射向平板玻璃(3),狭缝(2)设于入射光束的传播路径上位于平行光源(1)和平板玻璃(3)之间。

2.根据权利要求1所述的平板玻璃折射率非接触式测量装置,其特征在于:入射光束的传播路径上,狭缝(2)和平板玻璃之间设有衰减器(7),衰减器(7)随着平行光源(1)同步转动。

3.根据权利要求1所述的平板玻璃折射率非接触式测量装置,其特征在于:所述平行光源(1)置于分光计的望远镜上,线阵CCD(4)置于分光计的平行光管上。

4.根据权利要求1所述的平板玻璃折射率非接触式测量装置,其特征在于:所述平行光源(1)为激光笔。

5.一种平板玻璃折射率非接触式测量方法,其特征在于包括以下步骤:

S1、使平行光源发出的入射光l0以入射角θ射向平板玻璃,光线l1为平板玻璃上表面的反射光束,l2为下表面反射光经上表面折射的出射光,l3为取走平板玻璃时l0的延伸光线,l4为l0射入平板玻璃后的一次折出光;转动线阵CCD,使光束l1和l2照射到线阵CCD感光面上,示波器上表现出两个电压峰;然后再次转动线阵CCD,使光束l4照射到线阵CCD感光面上,示波器上表现出一个电压峰;保持线阵CCD的位置不变,取走平板玻璃,l3直接射向线阵CCD感光面上,示波器上表现出一个电压峰;

S2、采集步骤S1中各电压峰的波形,得到光束l1、l2、l3和l4入射到线阵CCD感光面上的位置坐标和电压的关系;

S3、对步骤S2采集到各电压峰顶进行高斯拟合,得到光束l1、l2、l3和l4对应的电压峰顶对应的横坐标分别为x1、x2、x3和x4

则平板玻璃厚度折射率

6.根据权利要求5所述的平板玻璃折射率非接触式测量方法,其特征在于:所述入射角θ为入射光l0与平板玻璃法线的夹角。

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