专利名称：石英玻璃接头的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种玻璃仪器的联结件，特别是一种石英玻璃接头。
石英玻璃接头是半导体工业以及实验室中使用玻璃仪器的联结件，它广泛应用于石英玻璃扩散炉、微库伦仪、石英蒸馏塔等大型石英玻璃仪器上，由于在生产半导体制品的工艺过程中，为保证产品质量，对玻璃仪器有特殊要求，要求纯度高、化学稳定性好，耐高温、耐腐蚀等，而现有的石英玻璃接头尚存在一定问题，如其磨口头端部整个外周表面均为磨砂面，并为尖角过渡，因而从磨口往扩散管内推拉产品时，易被划伤和产生微细石英颗粒，进而在高温扩散时，会影响硅片的质量，得不到高质量的产品。同时，其磨口帽和磨口头的装卡比较麻烦。
本实用新型的目的是提供一种改进的石英玻璃接头，结构设计合理，在生产过程中，推拉产品不会被划伤和产生微细石英颗粒，提高产品质量，并且装卡方便。
本实用新型的目的是这样实现的它包括磨口帽和磨口头，改进的技术方案要点是磨口头端部为抛光面，磨口头端部与外周表面的转角处为抛光的圆角过渡面，在产品推拉时，避免划伤，也不产生微细颗粒。磨口帽的外周边有卷口。使石英玻璃接头装卡方便。
本实用新型的优点是结构合理，在生产过程中，推拉产品不会被划伤，并且能避免产生微细石英颗粒，产品质量高。由于增加了磨口帽的周边卷口，装卡方便。
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型的实施例1结构示意图。
图2是
图1的组合状态。
图3是本实用新型的实施例2结构示意图。
图4是图3的组合状态。
见
图1，实施例1为球型石英玻璃接头；在球型接头的磨口头5的端部4为抛光面，磨口头5端部4与外周表面的转角3处为抛光的圆角过渡面。球型接头的磨口帽1的外周边有卷口2，以方便球型接头的装卡。图2示出球型接头的磨口头5和磨口帽1的组合状态。
见图3，实施例2为锥型石英玻璃接头；在锥型接头的磨口头10的端部8为抛光面，磨口头10端部8与外周表面的转角9处为抛光的圆角过渡面。锥型接头的磨口帽6的外周边有卷口7，以方便锥型接头的装卡。图3示出锥型接头的磨口头10和磨口帽6的组合状态。
权利要求1.一种石英玻璃接头，包括磨口帽和磨口头，其特征是磨口头端部为抛光面，磨口头端部与外周表面的转角处为抛光的圆角过渡面；磨口帽的外周边有卷口。
专利摘要一种石英玻璃接头，包括磨口帽和磨口头。其技术方案要点是磨口头端部为抛光面，磨口头端部与外周表面的转角处为抛光的圆角过渡面；磨口帽的外周边有卷口。本实用新型的优点是结构合理，在生产过程中，推拉产品不会被划伤，并且能避免产生微细石英颗粒，产品质量高。由于增加了磨口帽的周边卷口，装卡方便。
文档编号B01L3/00GK2145641SQ92235940
公开日1993年11月10日 申请日期1992年10月30日 优先权日1992年10月30日
发明者张黎, 米山, 韩绍鹏 申请人:沈阳优耐特石英有限公司