T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器的制作方法

文档序号:12455182阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器,其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(21),在SiO2层(21)上设有共面波导传输线、关于共面波导传输线的信号线(2)对称的缝隙结构(4)和缝隙结构(5)、T形结以及直接加热式微波功率传感器1和直接加热式微波功率传感器2,所述的共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成,共面波导传输线的信号线(2)上侧的缝隙结构(4)通过直接加热式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(10)连接直接加热式微波功率传感器1,下侧的缝隙结构(5)通过T形结的第一共面波导传输线的信号线(14)连接T形结的一个输入端,另一个输入端通过T形结的第二共面波导传输线的信号线(15)连接参考信号输入端口,T形结的输出端口通过T形结的第三共面波导传输线的信号线(16)连接直接加热式微波功率传感器2。

2.根据权利要求1所述的T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器,其特征是采用T形结进行功率和成,所述的T形结包括第一空气桥(11)、第二空气桥(12)、第三空气桥(13)、第一共面波导传输线的信号线(14)、第二共面波导传输线的信号线(15)、第三共面波导传输线的信号线(16),为三端口器件,可用于功率合成,无需隔离电阻,其中第一空气桥(11)、第二空气桥(12)、第三空气桥(13)用于共面波导传输线的地线(3)之间的互连,同时为了方便这三个空气桥的释放,在其上制作了一组小孔阵列。

3.根据权利要求1所述的T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器,其特征是采用直接加热式微波功率传感器进行功率检测,所述的直接加热式微波功率传感器1包括半导体热偶臂(6)、终端电阻(7)、直流输出块(8)、隔绝直流电容(9)、共面波导传输线的信号线(10);所述的直接加热式微波功率传感器2包括半导体热偶臂(17)终端电阻(18)、直流输出块(19)、隔绝直流电容(20)。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1