技术总结
本发明公开了一种精密轮廓扫描测量装置，该装置包括：激光发射单元，用于产生激光束；扫描单元：激光束照射到MEMS振镜上，振镜将激光束反射，同时做扫描动作，使发射激光束的路径呈一定张角的扇形区域；光学单元：用于聚焦激被被测物漫反射回来的激光，同时滤除环境中存在的光噪声；接收单元：获取光斑位置，并输出用于计算距离。伺服单元：带动测距功能部分，完成空间扫描功能。中央处理单元，用于协调其余各单元的工作，实时计算被测物距离。本发明采用可控MEMS振镜作为扫描单元的扫描结构，振镜的高频率、小体积的特点可实现整个测距装置的小型化设计要求，且成本低廉，易于推广。
技术研发人员：孙明;赵善文
受保护的技术使用者：西安五湖智联半导体有限公司
文档号码：201710106572
技术研发日：2017.02.27
技术公布日：2017.06.27