技术总结
本发明公开了一种带超量程保护的高g值三轴集成加速度传感器，包括分别测量X、Y、Z三个方向加速度信号的检测单元。其中X和Y方向加速度检测单元结构相同，都包括硅框架、质量块、主悬臂梁、敏感梁、基准电阻、压敏电阻、敏感方向超量程保护曲面，它们在平面内相互垂直布置。Z方向加速度检测单元位于Y方向检测单元右侧，包括敏感方向超量程保护曲面、“人”字型悬臂梁、质量块、基准电阻、压敏电阻。该传感器具有抗过载保护，轴间耦合度小，灵敏度较大，体积较小和易于集成特点。
技术研发人员：马少杰;陈宏亮;王晓东;李飞胤
受保护的技术使用者：苏州戎维邦信息技术有限公司
文档号码：201710123219
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2017.06.20