一种用于真空设备的宽量程控压系统及方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种能自动调压的宽量程真空控压系统及方法。
【背景技术】
[0002]传统的真空设备气体控制系统，只是在执行工艺中，在充入工作气体时，同时启动真空泵对真空室进行抽气操作，真空室的气体压力是一个动态的变化值。然而在实际应用中，客户的工艺要求并非是想要一个真空压力范围，客户会有不同的工艺条件，往往需要将真空腔体保持在一定的真空度。
[0003]现有的技术一般是客户设备上增加各种阀门，通过设定阀门的开度(且阀门在设定好开度后就不会再动作)，将真空室控制在一定的范围内波动，系统本身不对真空度进行监测和控制。
【发明内容】
[0004]针对上述问题，本发明提供一种可以根据客户需要的真空度，进行抽速自动调整，达到想要的真空度，并且在真空室内温度发生变化时，也可保证恒定压力，能自动调压的宽量程控压系统和方法。
[0005]本发明为实现上述目的所采用的技术方案是:
[0006]一种用于真空设备的宽量程控压系统，其特征在于:
[0007]真空计连接真空室，采集真空室的真空度信号；
[0008]调节阀控制系统连接真空计，采集真空度信号，并对真空室的真空度进行调节；
[0009]真空调节系统一端连接真空计，采集真空度信号，并对真空室的真空度进行调节;
[0010]质量流量计连接真空室，用于对真空室充入气体。
[0011]所述调节阀控制系统包括相连的调节阀控制器和调节阀；其中调节阀控制器连接真空计，调节阀连接真空室。
[0012]所述真空调节系统包括依次连接的调节仪表、变频器、真空泵电机和真空泵；其中调节仪表连接真空计，真空泵连接真空室。
[0013]一种用于真空设备的宽量程控压方法，质量流量计对真空室充入气体；
[0014]真空计采集真空室的真空度信号，并将真空度信号传递到调节阀控制器和调节仪表;
[0015]调节阀控制器将接收到的真空度信号进行PID调节，并由调节后的信号来控制调节阀的阀板开启角度，控制真空室内压力；
[0016]调节仪表将接收到的真空度信号与调节仪表上已设定的工作需要压力信号进行比较，将比较结果数据反馈到变频器，变频器发出变频信号，调节真空泵电机的转速，通过真空泵电机转速调节来控制真空泵的抽速，控制真空室内压力。
[0017]本发明具有以下有益效果及优点:
[0018]本发明可以根据真空度设置值，自动调整，达到客户想要的恒定的真空度。
【附图说明】
[0019]图1是本发明的系统结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图及实施例对本发明做进一步的详细说明。
[0021]本发明一种用于真空设备的能自动调节的宽量程控压系统，真空泵、真空泵电机、变频器、调节仪表、调节阀、调节阀控制器、真空计、质量流量计。其中质量流量计在工作时会对真空室充入恒定量的工作气体，使真空室内压力发生变化，或是真空室内温度发生变化也可导致真空室内压力的波动，真空计采集真空腔体的真空度信号，并同时将真空度信号传递到调节阀控制器、调节仪表，此时调节阀控制器会与真空度信号进行PID调节，并由调节后的信号来调节调节阀阀板开启的角度，从而达到控压的目的；而另一路进入调节仪表的信号，与调节仪表上已设定的工作需要压力进行比对，并将数据反馈到变频器，通过变频器来调节真空泵电机的转速，通过真空泵电机转速的变化来调节真空泵的抽速，通过真空泵的抽速变化达到控压的目的。
[0022]且两套控压系统，可同时进行控压操作，实现宽量程的控压系统，也可以选其一进行控压操作。
[0023]真空泵，工作时，对真空室进行抽气操作。
[0024]真空泵电机，电机的转速变化控制真空泵的抽速。
[0025]变频器，驱动真空泵电机，调整电机的旋转速度，进而调整真空泵的抽速，达到自动调压的目的。
[0026]调节仪表，可在其表盘设定理想压力值，并与从真空计采集来的压力值进行比对，并将对比结果反馈给变频器。
[0027]调节阀，通过阀板的开启角度达到调节真空泵抽速。
[0028]调节阀控制器，PID调节，与从真空计采集来的压力值进行比对来调节调节阀阀板的开启角度。
[0029]真空计，测量真空室内压力，具有模拟信号输出和通信信号输出，信号输出给调节仪表及调节阀控制器，达到真空度实时监测的目的。
[0030]质量流量计，工作状态时，对真空室充入一定量的工作气体。
【主权项】
1.一种用于真空设备的宽量程控压系统，其特征在于: 真空计连接真空室，采集真空室的真空度信号； 调节阀控制系统连接真空计，采集真空度信号，并对真空室的真空度进行调节； 真空调节系统一端连接真空计，采集真空度信号，并对真空室的真空度进行调节； 质量流量计连接真空室，用于对真空室充入气体。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空设备的宽量程控压系统，其特征在于:所述调节阀控制系统包括相连的调节阀控制器和调节阀；其中调节阀控制器连接真空计，调节阀连接真空室。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空设备的宽量程控压系统，其特征在于: 所述真空调节系统包括依次连接的调节仪表、变频器、真空泵电机和真空泵；其中调节仪表连接真空计，真空泵连接真空室。
4.一种用于真空设备的宽量程控压方法，其特征在于: 质量流量计对真空室充入气体； 真空计采集真空室的真空度信号，并将真空度信号传递到调节阀控制器和调节仪表；调节阀控制器将接收到的真空度信号进行PID调节，并由调节后的信号来控制调节阀的阀板开启角度，控制真空室内压力； 调节仪表将接收到的真空度信号与调节仪表上已设定的工作需要压力信号进行比较，将比较结果数据反馈到变频器，变频器发出变频信号，调节真空泵电机的转速，通过真空泵电机转速调节来控制真空泵的抽速，控制真空室内压力。
【专利摘要】本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种能自动调压的宽量程真空控压系统及方法，真空计连接真空室，采集真空室的真空度信号；调节阀控制系统连接真空计，采集真空度信号，并对真空室的真空度进行调节；真空调节系统一端连接真空计，采集真空度信号，并对真空室的真空度进行调节；质量流量计连接真空室，用于对真空室充入气体。本发明具自动调节功能，在工作时，真空室充入气体、真空室内温度发生变化时，都可以根据客户需要的真空度，进行自动调整，达到想要的真空度。
【IPC分类】G05D16-20
【公开号】CN104635776
【申请号】CN201310574551
【发明人】佟辉, 李昌龙, 王宏宇, 傅景志, 戚晖, 黄晓霞
【申请人】中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2013年11月13日