技术特征：
技术总结
提供了一种检查装置、检查系统和物品制造方法。一种用于执行物体的检查的检查装置，该装置包括：被配置为对物体进行照明的照明设备，被配置为对由照明设备照明的物体进行成像的成像设备，以及被配置为基于由成像设备所获得的图像执行用于检查的处理的处理器。处理器被配置为基于在照明设备用具有第一波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第一图像和在照明设备用具有不同于第一波长的第二波长的光的暗场照明下由成像设备获得的第二图像执行处理。
技术研发人员：松田英树;植村卓典
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2017.04.28
技术公布日：2017.11.10