技术特征：
技术总结
本发明提供了一种扫描探针检测装置，包括沿光路依次设置的激光光源、分光棱镜、小孔光阑、透镜组以及微悬臂，所述透镜组与所述微悬臂组成半共心谐振腔，所述透镜组朝向所述微悬臂的表面为凹球面，所述凹球面镀有高反射率的部分透射膜，所述凹球面的球心落在所述微悬臂上，所述微悬臂表面具有反射层，所述分光棱镜的一侧还设有用于接收由所述半共心谐振腔出射的干涉光的光电探测器。本发明采用一组透镜组与微悬臂组成的半共心谐振腔，通过对光束进行多光束干涉，可以对小尺寸、表面反射率不高的微悬臂的偏移进行探测。
技术研发人员：王文娟;卢昆忠
受保护的技术使用者：武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
技术研发日：2017.09.30
技术公布日：2018.01.12