技术总结
本实用新型揭示了基于MEMS技术的差压流量传感器，包括位于外壳内腔中的MEMS差压传感器芯片封装体及信号处理电路板，MEMS差压传感器芯片封装体设置于信号处理电路板上且它们通信，MEMS差压传感器芯片封装体的去向压力导压口与信号处理电路板上的通孔共轴以及与外壳上的一个导通孔密封配接，MEMS差压传感器芯片封装体的来向压力导压口与另一个导通孔密封配接；MEMS差压传感器芯片封装体及信号处理电路板通过填充内腔的防水密封层密封固定，信号处理电路板上还连接延伸到所述外壳和防水密封层外的引出线缆。本实用新型省去了二次装置，提高了整体的集成度，减小体积，提高了测量精度，适用于低流速流量测量，多结构的密封防水层，密封性和防水性大大提高。
技术研发人员：王建国;申亚琪
受保护的技术使用者：苏州捷研芯纳米科技有限公司
文档号码：201720446896
技术研发日：2017.04.26
技术公布日：2017.12.29