用于形成对焦图案的同轴光图案光结构的制作方法

文档序号:14238496阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于形成对焦图案的同轴光图案光结构,其特征是:包括有一磁力座,所述磁力座上连接有弹簧的一端,所述弹簧的另一端连接有电磁体,所述电磁体连接有一滑动座,所述滑动座连接有一滑动杆,在所述滑动杆上设有凸透镜,所述凸透镜的上方设有图案片,所述图案片的上方设有照射光源,所述凸透镜的下方设有两个对应反射的全反射镜,全反射镜的下方设有测试工件。

2.根据权利要求1所述的用于形成对焦图案的同轴光图案光结构,其特征是:所述滑动杆与凸透镜之间设有角度调整螺丝,角度调整螺丝设于滑动杆的轴向滑轨上。

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