用于形成对焦图案的同轴光图案光结构的制作方法

文档序号:14238496阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型的用于形成对焦图案的同轴光图案光结构,技术目的是提供一种在简化结构的同时提升光源亮度,进而提高了影像测量仪的测量性能的用于形成对焦图案的同轴光图案光结构。包括有一磁力座,所述磁力座上连接有弹簧的一端,所述弹簧的另一端连接有电磁体,所述电磁体连接有一滑动座,所述滑动座连接有一滑动杆,在所述滑动杆上设有凸透镜,所述凸透镜的上方设有图案片,所述图案片的上方设有照射光源,所述凸透镜的下方设有两个对应反射的全反射镜,全反射镜的下方设有测试工件。本实用新型并且将原同轴光的亮度和图案光的亮度提升100%,从而减少光源强度造成的瓶颈。适用于光测量设备中应用。

技术研发人员:周明勇;欧阳杨;邹建军
受保护的技术使用者:深圳市纳诺测量技术有限公司
文档号码:201721149430
技术研发日:2017.09.08
技术公布日:2018.04.20

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