带定位台的压力传感器弹性体的制作方法

文档序号:14238968阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种带定位台的压力传感器弹性体,其特征在于:包括金属材料制造的圆柱形钢杯,所述钢杯下端加工有压力腔。所述钢杯上端加工有应变体,所述应变体外周加工有凸台,所述凸台的任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位台。将常规的圆形弹性体增加定位台,设计吻合好有定位台的弹性体光刻夹具,这样可以一次数十个甚至数百个弹性体进行套刻工艺,实现批量生产,极大地提高生产效率,降低生产成本,使得具有优良性能的薄膜压力传感器在更多领域得到应用。

技术研发人员:雷卫武
受保护的技术使用者:北京中航兴盛测控技术有限公司
文档号码:201721344015
技术研发日:2017.10.17
技术公布日:2018.04.20

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