光谱仪及光谱检测系统的制作方法

文档序号:14552108阅读:来源:国知局
光谱仪及光谱检测系统的制作方法

技术特征:

1.一种光谱仪,包括入射狭缝(11)、准直件(12)、光栅(13)、聚焦件(14)和探测器(15),经所述入射狭缝(11)入射的光依次经过所述准直件(12)、所述光栅(13)和所述聚焦件(14)后到达所述探测器(15),其特征在于,所述聚焦件(14)为用于聚焦的第一透镜组。

2.根据权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,所述第一透镜组为聚焦镜头。

3.根据权利要求1或2所述的光谱仪,其特征在于,所述准直件(12)为用于准直的第二透镜组。

4.根据权利要求3所述的光谱仪,其特征在于,所述第二透镜组为准直镜头。

5.根据权利要求3所述的光谱仪,其特征在于,所述第一透镜组和/或所述第二透镜组中的各透镜上镀有增透膜。

6.根据权利要求3所述的光谱仪,其特征在于,所述第一透镜组和/或所述第二透镜组中的各透镜为凸透镜、凹透镜、非球面透镜中的其中一者。

7.根据权利要求3所述的光谱仪,其特征在于,所述第一透镜组和/或所述第二透镜组中的各透镜的焦距在[10mm,75mm]范围内。

8.根据权利要求7所述的光谱仪,其特征在于,所述第一透镜组和/或所述第二透镜组中的各透镜的焦距为25mm。

9.根据权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,所述光栅(13)为透射光栅或体相全息衍射光栅。

10.一种光谱检测系统,包括探头和光谱仪,其特征在于,所述光谱仪为根据权利要求1-9中任一项所述的光谱仪。

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