基于周期性干涉膜系FP腔扫描的高光谱成像装置的制作方法

文档序号:15144875发布日期:2018-08-10 20:19阅读:来源:国知局
技术总结
一种基于周期性干涉膜系FP腔扫描的高光谱成像装置,包括带通滤光片、衬底、上层周期性干涉膜系、FP腔、下层周期性干涉膜系、成像探测器、压电陶瓷芯片和用于封装的外壳;所述上层周期性干涉膜系制备在衬底上,所述下层周期性干涉膜系制备在成像探测器像元表面,衬底上有膜的一面和成像探测器上有膜的一面相对,与外壳相连构成一个封闭的空腔,即FP腔;成像探测器无膜的另一面与压电陶瓷芯片连接,或者衬底无膜的另一面与压电陶瓷芯片连接,或者衬底无膜的另一面与中间通孔的压电陶瓷芯片连接。本实用新型通过压电陶瓷芯片驱动,扫描FP腔腔长来实现高光谱成像,便于集成,制造成本较低,不会随着空间及光谱分辨率提高而提高,实用价值高。

技术研发人员:唐文江
受保护的技术使用者:湖南宏动光电有限公司
技术研发日:2017.12.19
技术公布日:2018.08.10

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