技术特征：
技术总结
本发明公开了一种变倾角移相马赫‑曾德尔干涉仪测量装置及方法。该装置包括光源变倾角移相组件、主干涉仪和成像组件，光源变倾角移相组件出射倾斜的平行光进入主干涉仪，主干涉仪中的参考光与测试光经分光棱镜重新会合后进入成像组件，在CCD靶面获得干涉图。方法为：首先光源变倾角移相组件产生与光轴平行的准直光，将补偿板置于主干涉仪中，调整补偿板的位置，在CCD上获得成像清晰的干涉图；然后调整反射镜使折转后的光束倾角发生变化，测试光经过补偿板引入不同光程差，在干涉图中引入不同移相量；最后采集到系列移相干涉图后，通过移相算法恢复相位。本发明具有成本低、结构紧凑、对比度好、操作简便的特点，可广泛应用于波前高精度检测领域。
技术研发人员：陈磊;孔璐;丁煜;韩志刚;吴志飞;郑东晖;郑权;朱文华;王冲;杨光
受保护的技术使用者：南京理工大学
技术研发日：2018.06.01
技术公布日：2018.10.09