技术特征：
技术总结
本发明公开了一种低温微波表面电阻多模测试装置，包括圆柱形金属腔体，以及填充于金属腔体中的介质材料，金属腔体底面设有样品孔，样品孔的中心轴位于金属腔体底面的中心。一种利用上述测试装置测试微波表面电阻的多模测试方法，包括以下步骤：S1、将导体铌置于样品孔中，分别测量出TE011工作模式和TE013工作模式下的无载品质因数；S2、将待测样品置于样品孔中，分别测量出TE011工作模式和TE013工作模式下的无载品质因数；S3、根据相关公式即可计算待测样品在TE011工作模式和TE013工作模式下的微波表面电阻值。该装置及方法利用填充介质圆柱谐振腔的多个模式，可以对低温下小尺寸样品在较低频率下的微波表面电阻进行直接无损测量，测量不确定度低。
技术研发人员：曾成
受保护的技术使用者：成都特锐迈思科技有限公司
技术研发日：2018.06.25
技术公布日：2018.10.12