一种加速度计的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供了一种加速度计，包括：质量块，质量块被设置为：受到驱动而作沿着驱动方向的谐振，同时绕着一回转轴作转动谐振；锚点，质量块连接至锚点；检测电极，用于检测质量块的运动。本发明的有益效果：利用谐振原理制成新型加速度计，可以实现抗粘附、抗冲击、易与陀螺集成、前端灵敏度可调等功能。

技术研发人员：邹波
受保护的技术使用者：深迪半导体（上海）有限公司
技术研发日：2018.12.29
技术公布日：2019.03.08