技术总结
本实用新型公开了一种非制冷红外探测器,其中用于将红外探测层中的热敏薄膜层与读出电路电连接的锚点为实心锚点。相比于现有技术中的空心锚点,实心锚点可以有效增加锚点的结构强度以及减小热敏薄膜层与读出电路之间的接触电阻,从而在保证一定的结构强度以及热敏薄膜层与读出电路之间一定的接触电阻的条件下,可以有效减小锚点的体积,从而便于非制冷红外探测器的小型化。
技术研发人员:甘先锋;杨水长;王宏臣;陈文礼;王鹏
受保护的技术使用者:烟台睿创微纳技术股份有限公司
技术研发日:2018.09.26
技术公布日:2019.06.04