采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器的制作方法

文档序号:17396488发布日期:2019-04-13 00:51阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器,包括利用薄壁刃口相对焊接的定电极单端悬浮结构体和动电极单端悬浮结构体,定电极单端悬浮结构体包括定电极悬浮外壳、封接于定电极悬浮外壳顶部的定电极,动电极单端悬浮结构体包括带引压口的下夹持悬浮座、上夹持环、夹持固支于带引压口的下夹持悬浮座和上夹持环之间的动电极,下夹持悬浮座的上表面和上夹持环的下表面分别设有与动电极受力形变匹配的抛物凹面以及位于抛物凹面外周的环形固支平面,上夹持环上端为不受约束自由端,其特征在于:所述定电极为一体式金属定电极,其由盘状金属下结构体和柱状金属上结构体组成,所述盘状金属下结构体的下端为不受约束自由端且底面设有与动电极受力形变匹配的抛物凹面形定电极面,且抛物凹面形定电极面上设有绝缘膜层,所述柱状金属上结构体的上端外周利用含金的银铜合金焊料钎焊有蓝宝石环,所述蓝宝石环的外周与定电极悬浮外壳顶部开设的通孔利用含金的银铜合金焊料钎焊在一起,所述盘状金属下结构体的顶面与定电极悬浮外壳的顶部内壁之间留有间隙,所述盘状金属下结构体的外周面与上夹持环的内环面之间留有间隙,所述定电极悬浮外壳和金属定电极分别采用与蓝宝石环的热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制作而成,所述定电极悬浮外壳和金属定电极表面镀金。

2.根据权利要求1所述的采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器,其特征在于:所述金属定电极的柱状金属上结构体的直径为6mm~20mm。

3.根据权利要求1所述的采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器,其特征在于:所述蓝宝石环的内径为6.2mm~20.2mm,外径为10mm~25mm,所述蓝宝石环的高度在3mm~5mm,小于定电极悬浮外壳的用于与蓝宝石环封接的通孔的高度。

4.根据权利要求1所述的采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器,其特征在于:所述金属定电极和定电极悬浮外壳的材质分别为3J1或3J53或TC19。

5.根据权利要求1所述的采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器,其特征在于:所述动电极采用恒弹性合金制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极。

6.根据权利要求1所述的采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器,其特征在于:所述下夹持悬浮座和上夹持环的对接刃口处经过焊接形成动电极刃口焊口,所述定电极悬浮外壳和下夹持悬浮座的对接处分别对应设有薄壁刃口,二者的薄壁刃口对接焊接形成薄壁刃口焊口,从而形成定、动电极相对悬浮的状态,所述薄壁刃口焊口与动电极刃口焊口位于同一平面内,所述定电极悬浮外壳底部对应薄壁刃口焊口与动电极刃口焊口之间的位置设有连体屏蔽环,以屏蔽焊接薄壁刃口时产生的等离子弧,所述下夹持悬浮座的上表面对应连体屏蔽环的位置设有悬浮凹槽,连体屏蔽环悬浮于槽中。

7.根据权利要求1所述的采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器,其特征在于:所述定电极悬浮外壳的顶部设有与其内部相通的背压引管,用作表压测量时的大气压引入口;或用作绝对压力测量时,与吸气剂室相连,并分出抽真空管口,边抽真空边高温激活吸气剂,抽至高真空状态,而后封闭抽真空管口。

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