技术总结
本实用新型公开了一种双面探针结构。所述双面探针结构包括,机架;第一探针架,通过导向滑轨连接于机架;第二探针架,通过导向滑轨连接于机架;调节螺杆,包括正旋螺纹段和反向螺纹段;所述正旋螺纹段螺接于第一探针架,所述反向螺纹段螺接于第二探针架;所述调节螺杆连接于机架;所述调节螺杆旋转,带动第一探针架和第二探针架沿导向滑轨相向运动/背离运动。
技术研发人员:林生财;肖乐;吴芳;王胜利
受保护的技术使用者:深圳市矽电半导体设备有限公司
技术研发日:2019.02.16
技术公布日:2019.12.31