电容式压力传感器的制作方法

文档序号:19776452发布日期:2020-01-24 11:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电容式压力传感器,其特征是:包括基座(1)、盖壳(2)、陶瓷电容压力测量元件(3)和插脚(4),所述基座(1)内从下至上依次设有缓冲腔(11)、容纳腔(13)和卡接腔(14),所述缓冲腔(11)底部具有与缓冲腔(11)连通的通孔(12)且缓冲腔(11)内设有弹性体(5),所述陶瓷电容压力测量元件(3)设置在容纳腔(13)内,所述盖壳(2)底部设置在卡接腔(14)内,所述卡接腔(14)底部卡接有铜圈(6),盖壳(2)底部与陶瓷电容压力测量元件(3)顶部通过铜圈(6)隔断,所述插脚(4)设置在盖壳(2)内且其底部与陶瓷电容压力测量元件(3)连接。

2.根据权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征是:所述容纳腔(13)与缓冲腔(11)之间设有橡胶密封件(7)。

3.根据权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征是:所述盖壳(2)顶部设有支撑腔(21),所述插脚(4)远离陶瓷电容压力测量元件(3)的一端设置在支撑腔(21)内。

4.根据权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征是:所述缓冲腔(11)包括相互连通的第一圆柱腔(111)和第二圆柱腔(112),所述第一圆柱腔(111)设置在橡胶密封件(7)底部,所述第二圆柱腔(112)设置在第一圆柱腔(111)底部且第二圆柱腔(112)的内径小于第一圆柱腔(111)的内径。

5.根据权利要求4所述的电容式压力传感器,其特征是:所述弹性体(5)为t型状橡胶缓冲体且包括一体成型的第一柱状橡胶(51)和第二柱状橡胶(52),所述第一柱状橡胶(51)设置在第一圆柱腔(111)内,所述第二柱状橡胶(52)设置在第二圆柱腔(112)内且第二柱状橡胶(52)的直径大于第一柱状橡胶(51)直径。

6.根据权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征是:所述基座(1)顶部具有环状卡槽(15),所述铜圈(6)卡接在环状卡槽(15)底部,所述盖壳(2)底面与铜圈(6)顶面相抵靠并卡接在环状卡槽(15)顶部。

7.根据权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征是:所述陶瓷电容压力测量元件(3)的底座上表面设有fpc软板(8)。

8.根据权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征是:所述陶瓷电容压力测量元件(3)上安装有ic调理芯片(9)。

9.根据权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征是:所述盖壳(2)外周面远离容纳腔(13)的一侧设有卡块(22)。

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