一种纳米线气体传感器及电子鼻系统的制作方法

文档序号:22289197发布日期:2020-09-23 00:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种纳米线气体传感器,其特征在于,所述纳米线气体传感器包括衬底和多根纳米线,多根所述纳米线设置在所述衬底的上表面,每个所述纳米线的两端均设置有电极,多根所述纳米线的表面分别覆盖多种表面修饰层。

2.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器,其特征在于,多种所述纳米线平行排列在所述衬底的上表面。

3.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器,其特征在于,多种所述纳米线包括元素半导体纳米线、金属氧化物半导体纳米线和化合物半导体纳米线中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器,其特征在于,化合物半导体纳米线为氮化物半导体纳米线。

5.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器,其特征在于,多种所述表面修饰层包括金属催化剂镀层、金属氧化物催化剂镀层、氧化层和金属氧化物层中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器,其特征在于,所述表面修饰层和所述纳米线形成芯包层结构。

7.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器,其特征在于,所述衬底为蓝宝石衬底或石英衬底。

8.一种电子鼻系统,其特征在于,所述电子鼻系统包括如权利要求1至5任意一项所述的纳米线气体传感器。


技术总结
本实用新型属于电子技术领域,公开了一种纳米线气体传感器及电子鼻系统,纳米线气体传感器包括衬底和多根纳米线,多根纳米线设置在衬底的上表面,每个纳米线的两端均设置有电极,多根纳米线的表面分别覆盖多种表面修饰层;通过单根纳米线(或有限根数的纳米线)形成独立纳米线器件,从而形成纳米线器件阵列。通过多根纳米线的表面分别覆盖多种表面修饰层,使得不同的纳米线器件具备不同的气体响应特性,从而实现气体成分识别。

技术研发人员:黄辉;赵丹娜;尚瑞晨;段海波;吴海宁
受保护的技术使用者:深圳市微纳集成电路与系统应用研究院
技术研发日:2019.09.30
技术公布日:2020.09.22
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