检查用夹具支承件、支承件以及检查用夹具的制作方法

本发明涉及检查用夹具支承件等。

背景技术：

电子设备搭载有电子回路基板，在该基板上搭载有用于与其他基板和外部设备等连接的被称为连接器的连接端子。电子设备的制造过程中的检查工序之一是将检查装置的连接器检查用夹具相对于该连接器连接来实施检查的工序。

例如，专利文献1中公开了如下连接器检查用夹具的技术，其改善当对具有探针的被检查侧连接器与夹具侧连接器进行对位作业时的视觉确认性，且成为消耗品的部件较少。专利文献2中公开了使连接作业变容易的连接器检查用夹具。专利文献3中公开了使被检查侧连接器与探针保持架的对位变容易的调节机构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－273192号公报

专利文献2：日本特开2005－283218号公报

专利文献3：日本特开平07－111176号公报

技术实现要素：

当检查基板时，基板以规定姿势固定于规定位置。但是，若根据基板上安装的连接器的一个个电极的位置来看，则当检查时并没有全都严密地固定在相同位置。因此，对检查装置侧要求了针对位置偏移的高容许性。

连接器的电极的数量和配置间隔为了应对电子设备的小型化的要求而在细微化的道路上发展。因此，检查基板时的被检查侧连接器与检查用夹具之间的对位被要求高精度。此外，由于要求为检查所必要的时间的缩短化，因此要求了检查用夹具对连接器的连接时间的缩短化。因此，要求实现针对位置偏移的高容许性，且要求对于位置偏移的高响应性。

根据专利文献1的技术，能够提高对位时的视觉确认性，但专利文献1没有公开提高机构对位的精度自身的技术。专利文献2中也没有公开提高机构对位的精度自身的技术。

根据专利文献3所述的调节机构，能够实现对于位置偏移的某种程度的容许性。但是，无法实现对于位置偏移的高响应性。在专利文献3所记载的调节机构中，虽然容许向正交两个方向的位置偏移，但针对向就该两个方向的双方来说倾斜的方向上的位置偏移，无法说容许性和响应性是充分的。根据调节机构的构造上的理由，例如被称为检查用头的探针保持架相对于被检查侧的连接器有时会稍微倾斜。若探针保持架倾斜，则探针会对于被检查侧的连接器的电极斜着接触，对探针作用横载荷。该结果为，认为存在会缩短探针寿命的问题。

本发明的目的一例为，提高接触时的被接触侧与接触侧之间的位置偏移的容许性以及响应性。

本发明的第1方式为一种检查用夹具支承件，其具有：连结轴部，其与检查用头主体连结，并具有轴侧嵌合部；环状螺旋弹簧，其配置于所述轴侧嵌合部的外周；和基部，其以使所述连结轴部能够向轴的径向以及轴旋转方向位移的方式保持所述连结轴部，所述基部具有：容许所述环状螺旋弹簧向径扩大方向变形而将所述环状螺旋弹簧保持的弹簧保持部；和与所述轴侧嵌合部以具有间隙的方式嵌合的孔侧嵌合部。

第2方式为一种支承件，其具有第1方式的第1检查用夹具支承件以及第2检查用夹具支承件，所述第1检查用夹具支承件以及所述第2检查用夹具支承件平行地配置所述第1检查用夹具支承件的所述连结轴部和所述第2检查用夹具支承件的所述连结轴部，所述第1检查用夹具支承件以及所述第2检查用夹具支承件以使所述检查用头主体能够在规定范围内位移的方式支承所述检查用头主体。

第3方式为一种检查用夹具，其具有：所述检查用头主体；和支承所述检查用头主体的第2方式的支承件。

第4方式为一种检查用夹具，其具有：所述检查用头主体；和支承所述检查用头主体的第2方式的支承件，所述检查用头主体使与被检查物接触的多个探针向检查面侧突出，从与所述检查面为相反侧的背面引出有所述探针的电线，所述夹具底座在中央部支承所述检查用头主体。

第5方式为一种支承件，其具有第1方式的第1检查用夹具支承件以及第2检查用夹具支承件，在所述第2检查用夹具支承件的所述连结轴部连结有所述第1检查用夹具支承件的所述基部。

发明效果

根据本发明的方式，与检查用头主体连结的连结轴部相对于基部以能够向轴的径向以及轴旋转方向位移的方式被保持。并且，连结轴部使轴侧嵌合部与孔侧嵌合部以具有间隙的方式嵌合。因此，即便被检查侧连接器的安装位置存在偏差，通过使连结轴部相对于基部向轴的径向以及轴旋转方向位移，能够使检查用头主体迅速移动至对于被检查侧连接器的恰当连接位置。因此，位置偏移的容许性以及响应性优异。

附图说明

图1是表示第1实施方式中的连接器检查用夹具的构成例的立体外观图。

图2是表示第1实施方式中的连接器检查用夹具的构成例的立体外观图。

图3是第1实施方式中的连接器检查用夹具的分解图。

图4是表示第1实施方式中的检查用夹具支承件的构成例的立体外观图。

图5是表示第1实施方式中的检查用夹具支承件的构成例的立体外观图。

图6是第1实施方式中的检查用夹具支承件的分解图。

图7是第1实施方式中的检查用夹具支承件的纵剖视图。

图8是第1实施方式中的连结轴部的纵剖视图。

图9是第1实施方式中的基部的纵剖视图。

图10是用于说明检查用夹具支承件所发现的作用的图。

图11是用于说明检查用夹具支承件所发现的作用的图。

图12是用于说明由两个检查用夹具支承件实现的检查用头主体的轴旋转方向上的错位的容许的图。

图13是表示第2实施方式中的连接器检查用夹具的构成例的立体外观图。

图14是表示第2实施方式中的连接器检查用夹具的构成例的立体外观图。

图15是第2实施方式中的检查用夹具支承件的分解图。

图16是第3实施方式中的连接器检查用夹具的分解图。

图17是表示第3实施方式中的检查用夹具支承件的构成例的立体外观图。

图18是表示第3实施方式中的检查用夹具支承件的构成例的立体外观图。

图19是第3实施方式中的检查用夹具支承件的纵剖视图。

图20是表示检查用夹具支承件的变形例的立体外观图。

图21是表示检查用夹具支承件的变形例的纵剖视图。

具体实施方式

说明实施方式的一例，但能够适用本发明的方式并不限于以下的实施方式。

〔第1实施方式〕

图1是表示第1实施方式中的连接器检查用夹具10的构成例的立体外观图，是从斜下朝上观察时的外观图。

图2是表示连接器检查用夹具10的构成例的立体外观图，是从斜上朝下观察时的外观图。

图3是连接器检查用夹具10的分解图。

本实施方式中的连接器检查用夹具10是从图1～3所示的z轴正方向朝向z轴负方向以从上方垂下的方式移动、用于使探针75与安装在作为检查对象的基板上的基板连接器(被检查侧的连接器)连接的夹具。探针75具有信号计测用探针和接地用探针。

连接器检查用夹具10具有检查用夹具支承件20、夹具底座60、检查用头主体70、和导体部80。连接器检查用夹具10由检查用夹具支承件20来支承检查用头主体70。

夹具底座60将两个检查用夹具支承件20隔着空间61固定。

检查用头主体70是由两个检查用夹具支承件20支承的被支承物。检查用头主体70具有导体保持架72、探针支承部74、探针75、导电性的探针引导板76、和头基座77。

探针支承部74为非导电性，夹着探针引导板76由固定销73固定于头基座77的中央部的下端。在探针支承部74设有探针75的穿插孔。探针支承部74使探针75的下部穿插至穿插孔，来保持各探针75的相对位置。探针75的下端成为穿过穿插孔向探针支承部74的下表面(z轴负方向侧的面)、即检查面侧突出的状态。当检查时，探针支承部74与被检查侧的连接器嵌合，由此将探针75向被检查侧的连接器的电极引导。

探针引导板76为导电性，向探针支承部74引导探针75，并且保持探针75彼此的相对位置。探针引导板76作为使头基座77延伸的间隔件发挥作用，调整探针75的接地用探针的高度。

使导体保持架72以具有间隙的方式穿插至中央的穿插部77a内而保持头基座77。

导体部80是使电气传导性的芯线被覆盖而成的电线，将检查用头主体70与未图示的检查装置主体电连接。导体部80在由导体保持架72维持彼此相对位置的状态下被保持并引导，其下端经由同轴绝缘体82和同轴引导体83而与探针75连接。导体部80从探针75的背面侧引出。探针75的背面侧是探针75的下端所突出的检查面侧的相反侧。也可以说，导体部80沿着探针75的长边方向被引出。

同轴绝缘体82是保持阻抗的部件，起到保持探针75与导体部80的同轴性的作用。

头基座77是长方状部件，在中央的穿插部77a供导体保持架72穿插、支承。头基座77在两端部分别由固定螺栓78与检查用夹具支承件20连结。

两个检查用夹具支承件20分别经由浮动弹簧79与头基座77的上表面(z轴正方向侧的面)连结。也可以说，两个检查用夹具支承件20使头基座77垂下。

图4是表示本实施方式中的检查用夹具支承件20的构成例的立体外观图，是从斜下向上观察时的外观图。

图5是表示检查用夹具支承件20的构成例的立体外观图，是从斜上向下观察时的外观图。

图6是检查用夹具支承件20的分解图。

图7是检查用夹具支承件20的纵剖视图。

检查用夹具支承件20是具有如下浮动构造的机构部，该浮动机构在保持被支承物的支承姿势的状态下，容许在与支承方向(本实施方式中为上下方向：图4～7中的z轴方向)交叉的方向上的相对位移。

检查用夹具支承件20具有与被支承物(在本实施方式中为检查用头主体70)连结的连结轴部30、环状螺旋弹簧50、和将环状螺旋弹簧50内置且支承连结轴部30的基部40。

图8是连结轴部30的纵剖视图。

连结轴部30是绕着使被支承物垂下的轴的周围而具有多个凸缘状延伸设置部的构造体。连结轴部30具有第1降低摩擦环34、第2降低摩擦环35和轴侧嵌合部39。轴侧嵌合部39具有安装轴31、连接轴32和滑动垫圈33。轴侧嵌合部39与基部40和环状螺旋弹簧50嵌合。

安装轴31的下端部和连接轴32的上端部通过螺合和压入等连结。滑动垫圈33以被安装轴31和连接轴32夹持的方式就位。

滑动垫圈33是轴侧嵌合部39中的凸缘部，例如是圆环状的金属板。滑动垫圈33从轴侧嵌合部39的外周面向径向外侧突出而与环状螺旋弹簧50的内周面抵接。

安装轴31在本实施方式中是相对位于上方的轴侧嵌合部39的一部分，在其上端部的外缘具有凸缘状的第1延伸设置部31e。在第1延伸设置部31e的外缘下表面安装有第1降低摩擦环34。

第1降低摩擦环34由与安装轴31在第1延伸设置部31e对于基部40直接接触的情况相比能够降低摩擦系数的材料制作。例如由合成树脂制或金属制的垫圈实现。

连接轴32在本实施方式中是相对位于下方的轴侧嵌合部39的一部分，在靠上端部的位置具有凸缘状的第2延伸设置部32e。在第2延伸设置部32e的外缘上表面，安装有与第1降低摩擦环34同样的第2降低摩擦环35。

图9是基部40的纵剖视图。

基部40是以使连结轴部30能够向轴的径向以及轴旋转方向位移的方式保持该连结轴部30的部件。基部40是以即使连结轴部30的轴在轴的交叉方向(径向，即xy平面方向)上移动也能够维持移动前的轴与移动后的轴平行或大致平行的状态的方式将连结轴部30能够位移地保持的部件。基部40是以能够使连结轴部30进行轴旋转的方式将连结轴部30能够位移地保持的部件。基部40具有通过连结螺丝49而上下匹配连结的第1构件41以及第2构件42。

第1构件41以及第2构件42在各自的中央部具有孔侧嵌合部46，该孔侧嵌合部46供连结轴部30的轴侧嵌合部39穿插，以具有间隙的方式与轴侧嵌合部39嵌合。

第1构件41在上表面侧具有第1凹部41a，从上方观察，该第1凹部41a以平坦且成圆形的方式朝向下方凹设于与被支承物的支承方向正交的平面(图9中的xy平面)。连结轴部30的第1延伸设置部31e以及第1降低摩擦环34以使第1降低摩擦环34与该第1凹部41a的底面抵接的方式具有间隙地嵌合。第1凹部41a作为使连结轴部30的第1延伸设置部31e以及第1降低摩擦环34沿着与被支承物的支承方向正交的平面(图9中的xy平面)能够滑动移动的方式支承的支承部来发挥作用。

第1凹部41a的俯视时的半径设定得比连结轴部30的第1延伸设置部31e以及第1降低摩擦环34的俯视时的半径大。第1凹部41a的内周侧面作为限制部41s来发挥作用，该限制部41s在与跟基部40嵌合的连结轴部30的轴交叉的交叉方向上的位移达到了规定的容许最大位移量的情况下供轴侧嵌合部39的外周面(在本实施方式中，第1降低摩擦环34的外周面)抵接。

第2构件42在下表面侧具有第2凹部42a，从下方观察，该第2凹部42a以平坦且成圆形的方式朝向上方凹设于与被支承物的支承方向正交的平面(图9中的xy平面)。连结轴部30的第2延伸设置部32e以及第2降低摩擦环35以使第2降低摩擦环35与跟该第2凹部42a的凹部的顶面相对的下方侧的面抵接的方式具有间隙地嵌合。第2凹部42a作为以将连结轴部30的第2延伸设置部32e以及第2降低摩擦环35沿着与被支承物的支承方向正交的平面(图9中的xy平面)能够滑动移动的方式支承的支承部来发挥作用。

第2凹部42a的仰视时的半径设定得比连结轴部30的第2延伸设置部32e以及第2降低摩擦环35的半径大。第2凹部42a的内周侧面作为限制部42s来发挥作用，该限制部42s在与跟基部40嵌合的连结轴部30的轴交叉的交叉方向(＝轴的径向)上的位移达到了规定的容许最大位移量的情况下，供轴侧嵌合部39的外周面(在本实施方式中为第2降低摩擦环35的外周面)抵接。

若以连结轴部30与基部40的嵌合关系为重点来说明，则第1凹部41a的内周面、穿插孔43、和第2凹部42a的内周面成为以具有间隙的方式与轴侧嵌合部39嵌合的孔侧嵌合部46。

第1凹部41a和第2凹部42a以通过第1凹部41a和第2凹部42a的双方将连结轴部30能够在与xy平面平行的方向(径向)上滑动地支承，且使连结轴部30不能在连结轴部30的轴向上位移的方式进行限制。换言之，基部40通过使孔侧嵌合部46夹入连结轴部30的两个延伸设置部之间，来限制连结轴部30的轴向上的移动。

第1构件41在下表面侧具有第1圆环状凹部41b，从下方观察，该第1圆环状凹部41b以在中心保留供连结轴部30穿插的穿插孔43的缘的方式成圆环状并朝向上方凹设。第1圆环状凹部41b的内侧面与跟第1圆环状凹部41b的凹部的顶面相对的下方侧的面之间的连接部成为曲率比环状螺旋弹簧50的外周大的曲面和斜面。

第2构件42在上表面侧具有第2圆环状凹部42b，从上方观察，该第2圆环状凹部42b以在中心保留供连结轴部30穿插的穿插孔43的缘的方式成圆环状并朝向下方凹设。第2圆环状凹部42b的内侧面与底面之间的连接部成为曲率比环状螺旋弹簧50的外周大的曲面和斜面。

通过使第1构件41与第2构件42组合，能够使第1圆环状凹部41b与第2圆环状凹部42b对合而形成空间。该空间作为容许环状螺旋弹簧50向环的外侧方向变形(向径扩大方向的变形)但限制向恢复状态的环的内侧方向变形(向径缩小方向的变形)的方式进行保持的弹簧保持部47来发挥作用。若从其他角度来看，则可以说，弹簧保持部47以使环状螺旋弹簧50能够在径扩大方向上变形至规定的容许最大变形量的方式将该环状螺旋弹簧50保持。

通过使第1构件41和第2构件42组合，而在弹簧保持部47的内周面形成了环状槽部48。滑动垫圈33(凸缘部)经由该环状槽部48与环状螺旋弹簧50的内周面抵接。

环状螺旋弹簧50是将螺旋弹簧构成为环状的圆环部件。例如，能够通过将拉力螺旋弹簧弯曲为圆环状并将其两端连接而制作。

环状螺旋弹簧50的内径与弹簧保持部47的空间的内侧内面的径配合地设定，环状螺旋弹簧50的环状的内表面与弹簧保持部47的空间的内侧内表面接触。

环状螺旋弹簧50的环状的外径设定得比弹簧保持部47的空间的外侧内面的径小。两者的间距设定得比连结轴部30对于基部40的相对位移的容许量大。

环状螺旋弹簧50的线圈的外径(相当于图9的z轴方向的外径)设定得比弹簧保持部47的空间内的垂直方向(图9中的z轴方向)的厚度小。

在检查用夹具支承件20上没有连结有被支承物的状态、即对环状螺旋弹簧50来说的无载荷状态下，环状螺旋弹簧50在稍微产生拉力的状态下，沿着弹簧保持部47的空间的内侧内周面被保持。

环状螺旋弹簧50具有当无载荷时能够使连结轴部30的轴恢复至基准位置的紧固力。因为滑动垫圈33与环状螺旋弹簧50的环状的内周抵接，所以对于滑动垫圈33的中心轴(与连结轴部30的轴的中心轴相同)来说，处于环状螺旋弹簧50的环的中心轴上或大致中心轴上的位置成为基准位置。在没有对环状螺旋弹簧50作用变形的外力的无载荷时，连结轴部30上经由滑动垫圈33作用有环状螺旋弹簧50的紧固力，恢复至基准位置(图7的状态)。

图10、图11是用于说明检查用夹具支承件20所发现的作用的图。

图10表示产生了连结轴部30从基准位置进行位移的要因的状态。在此所谓的“进行位移的要因”在本实施方式中是发生了被检查侧的连接器与检查用夹具之间的位置偏移的状态。该位置偏移的量通过使连结轴部30相对于基部40移动(位移)而被吸收。

在图10的例中，连结轴部30向图10的左方向位移，对于环状螺旋弹簧50，环内侧面中的图10的左侧的部分被滑动垫圈33推动(图10中的作用力f1)，以向图10的左方向延伸的方式变形。另外，构成环状螺旋弹簧50的螺旋弹簧的径小于弹簧保持部47的空间的上下方向的高度。因此，环状螺旋弹簧50中的向图10的左方向变形的部分以向图10的上侧或下侧移动的方式变形。图10中表示了向上侧移动并与弹簧保持部47的空间的上侧接触的状态。环状螺旋弹簧50由于被滑动垫圈33推动，所以成为也与滑动垫圈33接触的状态。环状螺旋弹簧50由于在与弹簧保持部47的空间的上侧或下侧、和滑动垫圈33接触的状态下变形，所以保持变形后的形状，该变形形状处于稳定的状态。该情况也会导致环状螺旋弹簧50的恢复力稳定地作用。

图11表示进行位移的要因消解后的样子。在本实施方式中，表示检查结束并使检查用夹具从被检查侧的连接器离开而解除连接的样子。若进行位移的要因消解，则滑动垫圈33通过环状螺旋弹簧50的恢复力(图11中的作用力f2)而向图11的右方向被施力，连结轴部30返回基准位置。若连结轴部30到达基准位置，则环状螺旋弹簧50恢复为原本的环状，因此恢复力也消失。

支承件63以使检查用头主体70能够在规定的平面位移可能范围内以及规定的自转可能角范围内位移的方式支承的方式起作用。支承件63具有第1检查用夹具支承件20r、第2检查用夹具支承件20l、和夹具底座60。第1检查用夹具支承件20r和第2检查用夹具支承件20l是检查用夹具支承件20。第1检查用夹具支承件20(20r)以及第2检查用夹具支承件20(20l)以使各自的支承方向与连结轴部30的轴平行的方式通过夹具底座60配置。

根据滑动垫圈33与环状螺旋弹簧50之间的抵接位置关系，环状螺旋弹簧50与图10所示的位置相比向下方退避，有时成为环状螺旋弹簧50按压第2圆环状凹部42b的底面的状态。即使处于该状态，因为恢复力对滑动垫圈33进行施力，所以同样地能够使连结轴部30返回基准位置。

图12是用于说明由两个检查用夹具支承件20实现的检查用头主体70的轴旋转方向上的错位的容许的图。

检查用头主体70的两端部分别支承于连结轴部30。因此，当将探针支承部74与被检查侧的连接器连接时，即使检查用头主体70发生绕垂直轴(图12中的z轴)的旋转θ(若从检查用头主体70来看则为绕垂直轴的自转)，两个连结轴部30也会沿着水平平面(与图12中的xy平面平行的方向)彼此绕着垂直轴向相反方向位移，由此容许旋转θ的错位。若用于检查的连接被解除，则在两个检查用夹具支承件20上产生使各自的连结轴部30返回基准位置的作用，因此旋转θ的错位也会消解。

这样地，本实施方式的连接器检查用夹具10的检查用夹具支承件20能够容许连接器检查用夹具10与被检查侧的连接器之间的位置偏移，同时抑制伴随位置偏移的容许产生的双方的相对姿势的变化。因此，连接器检查用夹具10在与被检查侧的连接器连接的过程中，以能够在恰当的位置进行连接的方式自动地进行位置调整。若完成检查后解除连接器彼此的连接，则自动恢复至原来位置。

在调整位置偏移的过程中，连接器检查用夹具10的探针支承部74难以倾斜。因此，夹具上搭载的探针75相对于被检查侧的连接器的电极斜着接触的可能性低，能够降低无用的横载荷作用于探针75而缩短探针75的寿命的可能性。

位置偏移因为在绕垂直轴360度内任何方向内都被容许，所以针对位置偏移的应对能力优异。

作为用于对位移的连结轴部30付与恢复力的要素，采用了环状螺旋弹簧50，由此与使用树脂性的o形环的情况相比，对于位移的响应性优异，并且耐久性也优异。

〔第2实施方式〕

接着说明第2实施方式。以下主要说明与第1实施方式的差异，针对与第1实施方式同样的构成要素，标注与第1实施方式相同的附图标记并省略重复的说明。

图13是表示第2实施方式中的连接器检查用夹具10b的构成例的立体外观图，是从斜下朝上方观察时的外观图。

图14是表示连接器检查用夹具10b的构成例的立体外观图，是从斜上朝下观察时的外观图。

图15是检查用夹具支承件20b的分解图。

若比较本实施方式和第1实施方式，则第1实施方式中，分别独立地准备两个检查用夹具支承件20并由夹具底座60连结(参照图1～图3)，但对于第2实施方式的连接器检查用夹具10b，不同点在于，使两个检查用夹具支承件20b的基部40共通化而一体构成。

与第1实施方式的不同点在于，构成为，将两个检查用夹具支承件20的连结轴部30由连接片66设为连结状态，使两个连结轴部30成为一体并相对于基部40相对位移。连接器检查用夹具10b具有将连接片66覆盖的盖部67。

在第1实施方式中构成为，使检查用头主体70和与检查装置主体电连接的导体从两个检查用夹具支承件20的中间穿过，但在本实施方式中不同点在于，在检查用头主体70的侧面设有输出连接器84，经由该输出连接器84与检查装置主体连接。

〔第3实施方式〕

接着说明第3实施方式。以下主要说明与第1实施方式的差异，针对与第1实施方式同样的构成要素，标注与第1实施方式相同的附图标记并省略重复的说明。

图16是本实施方式中的连接器检查用夹具10c的分解图。

若对本实施方式与第1实施方式进行比较，本实施方式的连接器检查用夹具10c所具备的检查用夹具支承件20c的构成不同于第1实施方式。除此以外的要素与第1实施方式相同。

图17是表示本实施方式中的检查用夹具支承件20c的构成例的立体外观图，是从斜下朝上观察时的外观图。

图18是表示检查用夹具支承件20c的构成例的立体外观图，是从斜上朝下观察时的外观图。

图19是检查用夹具支承件20c的纵剖视图。

本实施方式的检查用夹具支承件20c若与第1实施方式的检查用夹具支承件20进行比较，则本实施方式的连接轴32c兼做第1实施方式中的基部40的第2构件42和第1实施方式中的连接轴32。

本实施方式的基部40c由相当于第1实施方式的第1构件41的一个部件构成，在其下表面具有带层差凹部85。

带层差凹部85在穿插孔43的周围具有偏斜部85s。在跟带层差凹部85的凹部的顶面相对的下方侧的面中，与偏斜部85s相比位于外侧且与第2降低摩擦环35相比位于内侧的面与安装后的第2降低摩擦环35的下表面相连并直到基部40c的外周为平坦面。该面相当于第1实施方式的第1圆环状凹部41b。即，形成了供环状螺旋弹簧50的上表面抵接的面。

本实施方式的连接轴32c与跟带层差凹部85的凹部的顶面相对的下方侧的面滑动接触，由此在该下方侧的面安装有第2降低摩擦环35。

本实施方式的连接轴32c兼做第1实施方式中的基部40的第2构件42和第1实施方式中的连接轴32，由此在本实施方式的连接轴32c的上表面凹设有第2圆环状凹部42b。

在本实施方式的检查用夹具支承件20c中，连结轴部30的相对位移的界限由设于基部40的中央的穿插孔43的内周面与连接轴32c之间的间距规定。

本实施方式的检查用夹具支承件20c若与第1实施方式相比较能够减少部件点数，因此也能够起到同样的作用效果，同时与第1实施方式相比更加谋求成本降低和小型化。

以上说明了适用本发明的几个实施方式，但能适用本发明的方式不限于上述方式，能够使适当实施构成要素的追加、省略、变更。

例如，在第1实施方式中表示了如下例子：连接器检查用夹具10具备支承件63，支承件63具有两个检查用夹具支承件20(第1检查用夹具支承件20r、第2检查用夹具支承件20l)(参照图1、图2)。但是支承件63也可以具有三个以上的检查用夹具支承件20。

在上述实施方式中，例举了将两个检查用夹具支承件20(第1检查用夹具支承件20r、第2检查用夹具支承件20l)在与连结轴部30的轴方向交叉的方向上配置多个的构成，但两个检查用夹具支承件20(第1检查用夹具支承件20r、第2检查用夹具支承件20l)的配置关系并不限于该例。例如也可以为，如图20以及图21所示，在两个检查用夹具支承件20(20r、20l)的一方的第1构件41上固定联接构件88，将该联接构件88与另一方的连结轴部30的连接轴32，设为在连结轴部30的轴向上多联连接的一体的支承件63d。该支承件63d能够置换为第1实施方式的检查用夹具支承件20。通过置换，能够获得容许更大位置偏移的优点。

若进一步讲，在图20以及图21的例中，虽然以使连结轴部30的轴向成为相同朝向的方式将多个检查用夹具支承件20(20r、20l)联接，但也能够构成为，以使连结轴部30的轴向成为不同朝向的方式(例如，正交)联接而设为一体的支承件63。

在上述实施方式中说明了连接器检查用夹具10相对于检查对象从上方连接，但也可以以相对于检查对象从下方连接的方式使用，也可以以从侧方连接的方式使用。

以上说明的公开内容能够如下概括。

本公开的第1方式为一种检查用夹具支承件，其具有：连结轴部，其具有轴侧嵌合部，并与检查用头主体连结；环状螺旋弹簧，其配置于所述轴侧嵌合部的外周；和基部，其以使所述连结轴部能够向轴的径向以及轴旋转方向位移的方式保持所述连结轴部，所述基部具有：容许所述环状螺旋弹簧向径扩大方向变形而将所述环状螺旋弹簧保持的弹簧保持部；和与所述轴侧嵌合部以具有间隙的方式嵌合的孔侧嵌合部。

根据第1方式，与检查用头主体连结的连结轴部以相对于基部能够向轴的径向以及轴旋转方向位移的方式被保持。并且，连结轴部使轴侧嵌合部以具有间隙的方式与孔侧嵌合部嵌合。因此，即便被检查侧连接器的安装位置存在偏差，通过使连结轴部相对于基部向轴的径向以及轴旋转方向位移，能够使检查用头主体迅速移动至对于被检查侧连接器的恰当连接位置。因此，位置偏移的容许性以及响应性优异。

也可以为，所述环状螺旋弹簧具有当无载荷时能够使所述连结轴部的轴恢复至基准位置的紧固力。

当无载荷时，连结轴部作用有环状螺旋弹簧的紧固力，恢复至基准位置。

也可以为，所述轴侧嵌合部具有从外周面向径向外侧突出并与所述环状螺旋弹簧的内周面抵接的凸缘部，所述孔侧嵌合部具有在所述连结轴部向所述径向的位移达到了规定的容许最大位移量的情况下供所述外周面抵接的限制部。

凸缘部从轴侧嵌合部的外周面向径向外侧突出并与环状螺旋弹簧的内周面抵接。限制部在向连结轴部的径向的位移达到了规定的容许最大位移量的情况下，供轴侧嵌合部的外周面抵接，因此能够限制连结轴部的位移。

也可以为，所述弹簧保持部以能够使所述环状螺旋弹簧在径扩大方向上变形至规定的容许最大变形量为止的方式将所述环状螺旋弹簧保持，所述容许最大位移量小于所述容许最大变形量。

也可以为，所述弹簧保持部具有环状槽部，所述凸缘部夹着所述环状槽部与所述环状螺旋弹簧的内周面抵接。

也可以为，所述轴侧嵌合部具有两个延伸设置部，在所述两个延伸设置部之间夹着所述孔侧嵌合部。

孔侧嵌合部夹在连结轴部的两个延伸设置部之间，由此基部限制了连结轴部的轴向上的移动。

第2方式为一种支承件，其具有第1方式的第1检查用夹具支承件及第2检查用夹具支承件，所述第1检查用夹具支承件以及所述第2检查用夹具支承件平行地配置所述第1检查用夹具支承件的所述连结轴部和所述第2检查用夹具支承件的所述连结轴部，所述第1检查用夹具支承件以及所述第2检查用夹具支承件以使所述检查用头主体能够在规定范围内位移的方式支承所述检查用头主体。

根据第2方式，位置偏移的容许性以及响应性优异。

也可以为，所述支承件还具有支承所述检查用头主体的夹具底座，所述第1检查用夹具支承件支承所述夹具底座的一端侧，所述第2检查用夹具支承件支承所述夹具底座的另一端侧。

第3方式为一种检查用夹具，其具有：所述检查用头主体；和支承所述检查用头主体的第2方式的支承件。

根据第3方式，位置偏移的容许性以及响应性优异。

第4方式为一种检查用夹具，其具有：所述检查用头主体；和支承所述检查用头主体的第2方式的支承件，所述检查用头主体使与被检查物接触的多个探针向检查面侧突出，从与所述检查面为相反侧的背面引出有所述探针的电线，所述夹具底座在中央部支承所述检查用头主体。

根据第4方式，位置偏移的容许性以及响应性优异。

第5方式为一种支承件，其具有第1方式的第1检查用夹具支承件以及第2检查用夹具支承件，在所述第2检查用夹具支承件的所述连结轴部连结有所述第1检查用夹具支承件的所述基部。

根据第5方式，位置偏移的容许性以及响应性优异。而且，将两个检查用夹具支承件作为一体的支承件来构成，由此能够将检查用头主体以能够在规定范围内位移的方式支承。

附图标记说明

10、10b、10c…连接器检查用夹具

20、20b、20c…检查用夹具支承件

20r…第1检查用夹具支承件

20l…第2检查用夹具支承件

30…连结轴部

31…安装轴

31e…第1延伸设置部

32、32c…连接轴

32e…第2延伸设置部

33…滑动垫圈

34…第1降低摩擦环

35…第2降低摩擦环

39…轴侧嵌合部

40、40c…基部

41…第1构件

41a…第1凹部

41b…第1圆环状凹部

41s…限制部

42…第2构件

42a…第2凹部

42b…第2圆环状凹部

42s…限制部

43…穿插孔

46…孔侧嵌合部

47…弹簧保持部

48…环状槽部

50…环状螺旋弹簧

60…夹具底座

61…空间

63、63d…支承件

70…检查用头主体

74…探针支承部

75…探针

77…头基座

80…导体部

84…输出连接器

85…带层差凹部

θ…旋转(自转)。