一种大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪的制作方法

文档序号:20762419发布日期:2020-05-15 18:22阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪,其特征在于,所述微型芯片光谱仪包括光谱粗分割单元a、可调谐环形滤波器b、采样光谱记录与还原单元c以及参考单元d,所述粗分割单元a的上输出端和所述可调谐环形滤波器b的输入端相连接,所述粗分割单元a的下输出端和所述参考单元d连接,所述可调谐环形滤波器b的输出端和采样光谱记录与所述还原单元c通过一个1×2的分束器相连接。

2.如权利要求1所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪,其特征在于,所述光谱粗分割单元a包括一个1×m的光开关、一个m×2的波分复用器、一个2×2的3db耦合器,且1×m的光开关的m个输出端口分别连接于m×2的波分复用器的m个输入端口,m×2的波分复用器的两个输出端口分别连接于2×2的3db耦合器的两个输入端口。

3.如权利要求1或2所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪,其特征在于,所述可调谐环形滤波器b的谐振波长位置由波导上方的加热器来调谐,可调谐环形滤波器b的调谐区域包含一个环或者是多个级联环。

4.如权利要求1或2所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪,其特征在于,所述采样光谱记录与还原单元c包含一个1×n功分器、n个1×1mzi、n个探测器,其中相邻mzi之间具有固定长度差δl。n个探测器也可以是一个能接收所有mzi阵列输出光的相机。

5.如权利要求1或2所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪,其特征在于,所述参考单元d包含一个探测器。

6.如权利要求1或2所述的大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪,其特征在于,分辨率最小值δλr_min由可调谐环形滤波器b中的微环的3db带宽值δλ3db决定,实际使用的分辨率值δλr由对加热器的调谐步长确定,介于δλ3db和微环的自由光谱范围δλfsr之间,即δλ3db≤δλr<δλfsr。


技术总结
一种大带宽且分辨率可调的微型芯片光谱仪,包括光谱粗分割单元A、可调谐环形滤波器B、采样光谱记录与还原单元C以及参考单元D,所述粗分割单元A的上输出端和所述可调谐环形滤波器B的输入端相连接,所述粗分割单元A的下输出端和所述参考单元D连接,所述可调谐环形滤波器B的输出端和所述采样光谱记录与还原单元C通过一个1×2的分束器相连接。本发明具有大带宽、分辨率可调、功耗低、适用于各种材料平台。

技术研发人员:邹俊;王昌辉;张明;乐孜纯
受保护的技术使用者:浙江工业大学
技术研发日:2020.01.15
技术公布日:2020.05.15
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