技术特征：
1.一种光电检测装置，其特征在于，包括：直管件(100)，所述直管件(100)的内部开设有贯穿所述直管件(100)的第一通道(110)；透光件(200)，设置于所述直管件(100)的一端处，所述透光件(200)封堵所述第一通道(110)一端的开口；光电传感器(300)，设置于所述直管件(100)临近所述透光件(200)的一端处；斜管件(400)，设置于所述直管件(100)的侧壁上，所述斜管件(400)的内部开设有与所述第一通道(110)相连通的第二通道(410),所述斜管件(400)远离所述直管件(100)的一端密封；密封塞(500)，活动安装于所述第二通道(410)中，所述密封塞(500)可沿着所述第二通道(410)移动至封堵或开启所述第一通道(110)的位置；驱动机构，设置于所述斜管件(400)上，所述驱动机构与所述密封塞(500)相连接，且所述驱动机构可驱动所述密封塞(500)沿着所述第二通道(410)往复移动。2.根据权利要求1所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述驱动机构包括：密封件(600)，可拆卸安装于所述斜管件(400)远离所述直管件(100)的一端处，且所述密封件(600)封堵所述第二通道(410)一端的开口，所述密封件(600)的中部开设有螺纹孔(601)；丝杆(610)，螺纹安装于所述螺纹孔(601)中，所述丝杆(610)一端穿过所述密封件(600)且与所述密封塞(500)相连接。3.根据权利要求2所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述丝杆(610)位于所述斜管件(400)外部的一端设置有手轮(611)。4.根据权利要求2或3所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述驱动机构还包括一根能够伸长或缩短的波纹管(620)，所述波纹管(620)套设于所述丝杆(610)的外周，所述波纹管(620)的一端与所述密封塞(500)密封连接，所述波纹管(620)的另一端与所述斜管件(400)远离所述直管件(100)的一端密封连接。5.根据权利要求1所述的一种光电检测装置，其特征在于，还包括延长管(700)，所述延长管(700)的内部开设有贯穿所述延长管(700)的第三通道(710)，所述直管件(100)远离所述透光件(200)的一端与所述延长管(700)的一端密封连接，所述第一通道(110)与所述第三通道(710)相连通。6.根据权利要求5所述的一种光电检测装置，其特征在于，还包括防护套筒件(720)，所述防护套筒件(720)的内部中空，所述防护套筒件(720)安装于所述第三通道(710)中。7.根据权利要求1所述的一种光电检测装置，其特征在于，所述直管件(100)设置有所述透光件(200)的一端安装有安装座(310)，所述光电传感器(300)安装于所述安装座(310)上。8.根据权利要求1所述的一种光电检测装置，其特征在于，
所述驱动机构包括活塞缸，所述活塞缸可拆卸安装于所述斜管件(400)远离所述直管件(100)的一端处，所述活塞缸的活塞杆延伸进所述第二通道(410)中且与所述密封塞(500)相连接。9.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：箱体(800)，所述箱体(800)的内部设置有容纳腔(810)，所述箱体(800)的表面开设有与所述容纳腔(810)内部相连通的第一连通孔(820)，还包括至少一个如权利要求1至8任一项权利要求所述的光电检测装置，所述直管件(100)远离所述透光件(200)的一端与所述第一连通孔(820)密封相连接。10.根据权利要求9所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述箱体(800)与所述第一连通孔(820)相对的一侧壁上开设有第二连通孔(830)，所述第二连通孔(830)与所述第一连通孔(820)同轴设置；所述光电检测装置的数量为两个，其中一个所述光电检测装置安装于所述第一连通孔(820)处，另外一个所述光电检测装置安装于所述第二连通孔(830)处。
技术总结
本实用新型公开了一种光电检测装置，包括：内设有第一通道的直管件，透光件，光电传感器；内部设置有第二通道的斜管件，密封塞，密封塞可沿着第二通道移动至封堵或开启第一通道的位置；驱动机构，驱动机构可驱动密封塞沿着第二通道往复移动。可利用密封塞封堵第一通道，切断光电检测装置与真空镀膜设备之间的连通，使得真空镀膜设备保持原来的工作状态下，可对透光件进行维护，缩短了真空镀膜设备的停机时间，便于维护透光件。本实用新型公开一种真空镀膜设备，包括表面开设有第一连通孔的箱体，还包括至少一个光电检测装置，光电检测装置的直管件一端与第一连通孔密封相连接。采用上述光电检测装置，缩短了真空镀膜设备停机维护透光件的时间。护透光件的时间。护透光件的时间。
技术研发人员：王志海 邝斌 陈金良 齐鹏飞 赖新暖
受保护的技术使用者：中山瑞科新能源有限公司
技术研发日：2020.12.04
技术公布日：2021/9/24