一种光电检测装置及真空镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜领域，特别是一种光电检测装置及真空镀膜设备。


背景技术：

2.真空镀膜设备被广泛应用于现代化工业生产，由于其腔体内部环境对温度、洁净度要求及真空度有特殊的要求，通常采用非接触检测的光电传感器检测镀膜的工件。
3.现有的真空镀膜设备一般在腔体的侧壁开设有与其内部相连通的连通孔，连通孔处密封安装有透明玻璃件，真空镀膜设备的外部设置有一与透明玻璃件相对应的光电传感器，光电传感器的发射器发射的光束穿过透明玻璃件，光电传感器的接收器检测由工件反射的光或遮挡的光的变化，从而获得检测信号，完成对工件的检测。
4.在镀膜生产的过程中，透明玻璃件表面不可避免地吸附真空腔体内的镀膜材料粒子，造成其透光率降低，影响光电传感器发射的光束的传输，不但导致光电传感器无法正常检测工作，而且吸附大量的镀膜材料粒子会导致透明玻璃件使用时间变短，严重时，甚至无法保证完成一次长时间的连续性镀膜生产。
5.工作中的真空镀膜设备，对透明玻璃件进行维护时需要停机并使得真空镀膜设备内部破真空，再到开机正常生产，此过程需要耗费很长的时间，同时浪费大量的镀膜材料、工件和电力。


技术实现要素：

6.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型第一方面提供一种结构简单，既可适用于真空镀膜设备检测使用，同时便于维护透光件的光电检测装置。
7.本实用新型第二方面还提供一种采用上述光电检测装置的真空镀膜设备,能够在真空镀膜设备不破真空的情况下对透光件进行维护，减少设备停机时间，提高生产效率。
8.为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：
9.根据本实用新型第一方面某些实施例的一种光电检测装置，包括：直管件，所述直管件的内部开设有贯穿所述直管件的第一通道；透光件，设置于所述直管件的一端处，所述透光件封堵所述第一通道一端的开口；光电传感器，设置于所述直管件临近所述透光件的一端处；斜管件，设置于所述直管件的侧壁上，所述斜管件的内部开设有与所述第一通道相连通的第二通道，所述斜管件远离所述直管件的一端密封；密封塞，活动安装于所述第二通道中，所述密封塞可沿着所述第二通道移动至封堵或开启所述第一通道的位置；驱动机构，设置于所述斜管件上，所述驱动机构与所述密封塞相连接，且所述驱动机构可驱动所述密封塞沿着所述第二通道往复移动。
10.本实用新型第一方面某些实施例的光电检测装置的有益效果：通过在直管件的侧壁设置斜管件，斜管件内部活动有能够封堵或开启直管件内部的第一通道，因此，利用驱动机构驱动密封塞封堵第一通道，切断光电检测装置与真空镀膜设备之间的连通，使得真空
镀膜设备保持原来的工作状态下，可对透光件进行维护，解决传统真空镀膜设备对透光件进行维护时会导致其工作条件失效的技术问题，既大大地缩短了真空镀膜设备的停机时间，同时又便于用户维护透光件。
11.在本实用新型第一方面的某些实施例中，所述驱动机构包括：密封件，可拆卸安装于所述斜管件远离所述直管件的一端处，且所述密封件封堵所述第二通道一端的开口，所述密封件的中部开设有螺纹孔；丝杆，螺纹安装于所述螺纹孔中，所述丝杆一端穿过所述密封件且与所述密封塞相连接。
12.在本实用新型第一方面的某些实施例中，所述丝杆位于所述斜管件外部的一端设置有手轮。
13.在本实用新型第一方面的某些实施例中，所述驱动机构还包括一根能够伸长或缩短的波纹管，所述波纹管套设于所述丝杆的外周，所述波纹管的一端与所述密封塞密封连接，所述波纹管的另一端与所述斜管件远离所述直管件的一端密封连接。
14.在本实用新型第一方面的某些实施例中，还包括延长管，所述延长管的内部开设有贯穿所述延长管的第三通道，所述直管件远离所述透光件的一端与所述延长管的一端密封连接，所述第一通道与所述第三通道相连通。
15.在本实用新型第一方面的某些实施例中，还包括防护套筒件，所述防护套筒件的内部中空，所述防护套筒件安装于所述第三通道中。
16.在本实用新型第一方面的某些实施例中，所述直管件设置有所述透光件的一端安装有安装座，所述光电传感器安装于所述安装座上。
17.在本实用新型第一方面的某些实施例中，所述驱动机构包括活塞缸，所述活塞缸可拆卸安装于所述斜管件远离所述直管件的一端处，所述活塞缸的活塞杆延伸进所述第二通道中且与所述密封塞相连接。
18.根据本实用新型第二方面某些实施例的一种真空镀膜设备，包括：
19.箱体，所述箱体的内部设置有容纳腔，所述箱体的表面开设有与所述容纳腔内部相连通的第一连通孔，还包括至少一个上述的光电检测装置，所述直管件远离所述透光件的一端与所述第一连通孔密封相连接。
20.在本实用新型第二方面某些实施例中，所述箱体与所述第一连通孔相对的一侧壁上开设有第二连通孔，所述第二连通孔与所述第一连通孔同轴设置；所述光电检测装置的数量为两个，其中一个所述光电检测装置安装于所述第一连通孔处，另外一个所述光电检测装置安装于所述第二连通孔处。
21.本实用新型某些实施例的真空镀膜设备的有益效果：通过采用上述的光电检测装置，使得真空镀膜设备在对透光件进行维护时，能够利用驱动机构驱动密封塞封堵第一通道，切断光电检测装置与真空镀膜设备之间的连通，使得真空镀膜设备保持原来的工作状态下，可对透光件进行维护，解决传统真空镀膜设备对透光件进行维护时会导致其工作条件失效的技术问题，既大大地缩短了真空镀膜设备的停机时间，同时又便于用户维护透光件。
附图说明
22.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
23.图1为本实用新型第一方面某些实施例的光电检测装置的结构示意图；
24.图2为图1中示出的光电检测装置的内部结构示意图；
25.图3为本实用新型第二方面某些实施例的真空镀膜设备的结构示意图；
26.图4为图3中示出的真空镀膜设备的结构分解示意图。
具体实施方式
27.本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。
28.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
29.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是三个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二等只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
30.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
31.参照图1和图2，本实用新型第一方面某些实施例的一种光电检测装置，包括一根直管件100，直管件100的内部开设有贯穿直管件100的第一通道110；直管件100的一端处可拆卸安装有一透光件200，上述的透光件200可为透明的玻璃件或钢化玻璃等材料制作，具体可根据实际需要而选用合适的材料制作而不限制为上述的材料，由于透光件200为本领域的公知技术，在此不再赘述。透光件200封堵第一通道110一端的开口，直管件100临近透光件200的一端处安装有光电传感器300；直管件100的侧壁上设置有斜管件400，斜管件400的内部开设有与第一通道110相连通的第二通道410，斜管件400远离直管件100的一端密封；第二通道410中活动安装有密封塞500，密封塞500可沿着第二通道410移动至封堵或开启第一通道110的位置；斜管件400上设置有用于驱动密封塞500沿着第二通道410往复移动的驱动机构，驱动机构与密封塞500相连接。在本实施例中，直管件100与斜管件400为一体式结构，具体地，直管件100与斜管件400为一体铸造成型，当然，直管件100与斜管件400可拆卸安装在一起，也是可以的，此时直管件100与斜管件400装配在一时需要保证第一通道110与第二通道410的气密性。
32.通过采用上述的结构，使得用户需要对透光件200进行维护时，可利用驱动机构驱动密封塞500封堵第一通道110，切断第一通道110与真空镀膜设备之间的连通，此时用户便于可对透光件200进行维护，解决传统真空镀膜设备必须停机、破除真空状态才对透光件200进行维护的技术问题，使得真空镀膜设备内部可保持原来高温、高洁净度和高真空的状态，缩短了真空镀膜设备的停机时间。
33.参照图2，为了简化光电检测装置的结构，在本实用新型的某些实施例中，驱动机构包括一密封件600，密封件600可拆卸安装于斜管件400远离直管件100的一端处，且密封件600封堵第二通道410一端的开口，密封件600的中部开设有螺纹孔601；螺纹孔601中螺纹安装有丝杆610，丝杆610一端穿过密封件600且与密封塞500相连接，丝杆610的另一端延伸至斜管件400的外部。为了便于用户拧动丝杆610转动，进一步，丝杆610位于斜管件400外部的一端设置有手轮611。通过采用上述的结构，用户通过拧动手轮611带动丝杆610正向转动或反向转动，丝杆610可带动密封塞500沿着第二通道410移动开启第一通道110或关闭密封第一通道110。
34.在本实施例中，密封塞500在第二通道410往复移动的过程中，密封塞500也可以密封该第二通道410，当然密封塞500设置成不密封该第二通道410也是可以的，具体可根据实际需要而定。
35.可以想像得到的，斜管件400上还可设置电机(图中未绘示)，电机的输出轴可与丝杆610相连接，利用电机驱动正向转动或反向转动，可实现自动控制密封塞500开启或关闭第一通道110。
36.当然，驱动机构除了采用上述的结构外，还可以采用其他结构，具体地，驱动机构包括活塞缸，活塞缸可为气缸或液压缸，活塞缸可拆卸安装于斜管件400远离直管件100的一端处，活塞缸的活塞杆延伸进第二通道410中且与密封塞500相连接。通过采用活塞缸直接驱动密封塞500沿着第二通道410往复移动，密封塞500的移动更加迅速。
37.为了进一步提高第二通道410的气密性，在本实用新型的某些实施例中，驱动机构还包括一根能够伸长或缩短的波纹管620，波纹管620套设于丝杆610的外周，波纹管620的一端与密封塞500密封连接，波纹管620的另一端与斜管件400远离直管件100的一端密封连接。具体地，波纹管620位于第二通道410中且波纹管620套接于丝杆610的外周，波纹管620的一端与密封塞500朝向密封件600的一侧壁密封连接，波纹管620的另一端抵接于斜管件400的端面与密封件600之间，通过密封件600将波纹管620压紧并斜管件400，从而使得第二通道410与外界隔绝。通过采用上述的结构，可以防止外部的气体穿过螺纹孔601与丝杆610之间的间隙进入至第二通道410中，同时也防止外部气体从斜管件400远离直管件100的一端进入至第二通道410中，大大地提高第二通道410的气密性。
38.参照图1和图2，为了减少真空镀膜设备工作时，真空腔体内的镀膜材料粒子对透光件200的影响，在本实用新型的某些实施例中，光电检测装置还包括延长管700，延长管700的内部开设有贯穿延长管700的第三通道710，直管件100远离透光件200的一端与延长管700的一端密封连接，第一通道110与所述第三通道710相连通。通过采用上述的结构，使得延长管700与真空镀膜设备相连接时，可以使得透光件200与真空镀膜设备之间的距离变远了，减少了真空镀膜设备内部的镀膜材料粒子对透光件200的影响，有助于延长透光件200的使用时间。
39.再进一步，为了减少真空镀膜设备内部的镀膜材料粒子对延长管700的影响，在本实用新型的某些实施例中，光电检测装置还包括防护套筒件720，防护套筒件720的内部中空，防护套筒件720安装于第三通道710中。通过采用上述的结构，可减少镀膜材料粒子依附于延长管700的内壁上，减少镀膜材料粒子对延长管700的影响。
40.为了使得光电传感器300可以更好地安装于直管件100上，在本实用新型的某些实
施例中，直管件100设置有透光件200的一端安装有安装座310，光电传感器300安装于安装座310上。
41.参照图3和图4，本实用新型第二方面的某些实施例的一种真空镀膜设备，包括箱体800，箱体800的内部设置有容纳腔810，箱体800的表面开设有与容纳腔810内部相连通的第一连通孔820，还包括一个上述的光电检测装置，直管件100远离透光件200的一端与第一连通孔820密封相连接。在本实施例中，光电传感器300为同时具有发射和接收功能的传感器。光电传感器300发出的光线可穿过第一通道110和第一连通孔820并进入至第一连通孔820内部，此时光线照射至工件900并反射被光电传感器300所接收，从而完成对工件的检测。
42.本实施例的真空镀膜设备通过采用上述的光电检测装置，使得真空镀膜设备在对透光件200进行维护时，能够利用驱动机构驱动密封塞500封堵第一通道110，切断光电检测装置与真空镀膜设备之间的连通，使得真空镀膜设备保持原来的工作状态下，可对透光件200进行维护，解决传统真空镀膜设备对透光件200进行维护时会导致其工作条件失效的技术问题，既大大地缩短了真空镀膜设备的停机时间，同时又便于用户维护透光件200。
43.为了提高真空镀膜设备对工件900的检测准确度，在本实用新型的某些实施例中，箱体800与第一连通孔820相对的一侧壁上开设有第二连通孔830，第二连通孔830与第一连通孔820同轴设置；光电检测装置的数量为两个，其中一个光电检测装置安装于第一连通孔820处，另外一个光电检测装置安装于第二连通孔830处。其中一个光电检测装置的光电传感器300为发射传感器，另外一个光电检测装置的光电传感器300为接收传感器。检测时，发射传感器发出光线并穿过工件900，然后再被接收传感器所接收，从而提高了真空镀膜设备对工件900的检测准确度。
44.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。