驱动结构及芯片检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及芯片检测技术领域，尤其公开了一种驱动结构及芯片检测设备。


背景技术：

2.在芯片检测领域一般需要通过r轴驱动件和z轴驱动件来调整芯片的位置，从而达到对芯片进行检测的目的，在相关技术中，一般都是通过z轴带动r轴进行运动，但是这样会使得z轴的负载过大，无法使得z轴驱动件高速移动，从而影响检测速度。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种驱动结构，能够降低第二驱动件的负载，提高移动平台在高度方向上的移动速度。
4.本实用新型公开了一种驱动结构，包括：
5.第三底座；
6.移动平台，所述移动平台用于承载芯片；
7.第一驱动件，所述第一驱动件的壳体位于所述第三底座上；
8.第二驱动件，所述第二驱动件的壳体位于所述第一驱动件的输出端上，所述移动平台位于所述第二驱动件的输出端上；
9.所述第一驱动件用于驱动所述移动平台围绕所述移动平台的轴线转动，所述第二驱动件用于改变所述移动平台相对所述第三底座的高度。
10.根据本实用新型实施例的驱动结构，至少具有如下有益效果：由于第二驱动件位于第一驱动件的输出端上，第一驱动件连接于第三底座，第二驱动件不需要负载用于驱动移动平台转动的第一驱动件，所以第二驱动件的输出端上的负载可以被有效地降低，当需要改变移动平台的高度时，第二驱动件可以高速移动，以快速地调整移动平台的高度。
11.根据本实用新型的一些实施例，还包括导向座和驱动滑块，所述导向座位于所述第一驱动件的输出端上，所述导向座上设有沿所述第二驱动件的输出端运动方向设置的第八轨道，所述驱动滑块能够沿着所述第八轨道移动，所述第八轨道与所述移动平台相连接。
12.根据本实用新型的一些实施例，所述移动平台远离所述第一驱动件的一侧设有若干个吸附孔，所述移动平台还设有通道和通气开口，所述通气开口用于与负压装置相连接，所述通道与所述通气开口相连通，且所述通道能够与所有所述吸附孔相连通。
13.根据本实用新型的一些实施例，还包括驱动连接板和调整螺钉，所述驱动连接板能够分别与所述驱动滑块和所述移动平台相连接，所述调整螺钉的工作部能够贯穿所述驱动连接板并与所述移动平台连接。
14.根据本实用新型的一些实施例，还包括转动限制结构，所述转动限制结构包括限位柱和挡块，所述限位柱连接于所述第三底座，所述挡块位于所述第一驱动件的输出端上。
15.根据本实用新型的一些实施例，所述挡块相对所述限位柱的一侧设有防护垫。
16.根据本实用新型的一些实施例，所述转动限制结构包括两个所述限位柱和两个所
述挡块，分别为第一限位柱、第二限位柱、第一挡块和的第二挡块，所述第一挡块与所述第一限位柱相对应，所述第二挡块和所述第二限位柱相对应，所述第一挡块和所述第二挡块能够在所述第一限位柱和所述第二限位柱形成的角度范围内移动。
17.根据本实用新型的一些实施例，还包括行程开关，所述行程开关包括第一识别装置、第二识别装置和驱动识别结构，所述驱动识别结构连接于所述第一驱动件的输出端，所述第一识别装置和所述第二识别装置均连接于所述第三底座，所述第一识别装置和所述第一驱动件电连接，所述第二识别装置和所述第一驱动件电连接。
18.根据本实用新型的一些实施例，还包括编码器，所述编码器与所述导向座连接，且临近所述第八轨道设置。
19.本实用新型还提出一种具有上述驱动结构的芯片检测设备，还包括探针，探针用于对位于移动平台上的芯片进行检测。
20.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
21.下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：
22.图1为本实用新型实施例中驱动结构的立体示意图；
23.图2为图1中结构的爆炸图；
24.图3为图1的俯视图；
25.图4为图3中a
‑
a向的剖面图；
26.图5为本实用新型实施例中芯片检测设备的立体示意图。
27.附图标记：第三底座101、移动平台102、第一驱动件103、导向座104、驱动连接板105、驱动结构106、第二驱动件201、驱动滑块202、第八轨道203、吸附孔204、调整螺钉205、第一限位柱206、第一挡块207、第二限位柱208、第二挡块209、第一识别装置210、第二识别装置211、驱动识别结构212、探针501。
具体实施方式
28.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
29.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
30.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
31.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
32.本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
33.由于芯片检测的过程中，需要调整芯片的高度和角度，所以设备中一般需要转动驱动件和高度驱动件，且一般转动驱动件设置在高度驱动件的输出端上，但是高度驱动件需要高速、频繁工作以快速的调整芯片的高度，转动驱动件设置在高度驱动件上的结构会增加高度驱动的负载，从而影响高度驱动件的移动速度。
34.针对上述问题，本实用新型公开了一种驱动结构106，如图1至图4所示，驱动结构106 包括第三底座101、移动平台102、第一驱动件103和第二驱动件201，移动平台102、第一驱动件103和第二驱动件201均连接在第三底座101上，其中，移动平台102用于承载芯片，第一驱动件103的壳体连接在第三底座101上，第二驱动件201的壳体连接在第一驱动件103 的输出端上，使得第一驱动件103可以驱动第二驱动件201转动，移动平台102位于第二驱动件201的输出端上，第二驱动件201可以驱动移动平台102转动。上述结构使得当移动平台102上的芯片需要转动时，第一驱动件103带动第二驱动件201转动，从而带动移动平台 102围绕其轴线转动，当移动平台102上的芯片需要调整高度时候，第一驱动件103不动，第二驱动件201的输出端带动移动平台102沿着如图1所示的上下方向移动。
35.在上述结构中，由于第二驱动件201位于第一驱动件103上，且第二驱动件201用于调整移动平台102的高度，第一驱动件103驱动移动平台102转动，相较于相关技术中的结构，本实用新型中的驱动结构106有效降低了第二驱动件201上的负载，使得第二驱动件201可以驱动移动平台102快速移动，以改变移动平台102的高度。
36.本实用新型实施例有效降低了第二驱动件201的负载，从而有助于提高第二驱动件201 的驱动移动平台移动的精度，进而有益于驱动结构106整体的运动精度，提高待检测芯片的位置精度。
37.上述驱动结构的使用方法为，首先驱动第一驱动件103，带动第二驱动件201和移动平台102一起转动设定的角度，然后通过第二驱动件201带动移动平台102移动，以调整移动平台102在如图2所示上下方向的高度。
38.具体的，如图1至图4所示，驱动结构106还包括导向座104，导向座104位于第一驱动件103的输出端上，当移动平台102在如图2所示的上下方向时，导向座104可以为移动平台102导向，提高移动平台102的运动精度。
39.具体的，如图2至图4所示，驱动结构106还包括驱动滑块202，导向座104上设有第八轨道203，第八轨道203在导向座104上沿着第二驱动件201的输出端运动的方向设置(如图2所示的上下方向设置)，驱动滑块202可以在第八轨道203上移动，驱动滑块202与移动平台102连接，这使得第二驱动件201驱动移动平台102在如图2所示的上下方向移动时，驱动滑块202和第八轨道203可以给移动平台102导向，从而保证移动平台102的运动精度。
40.具体的，如图2至图4所示，驱动结构106还包括驱动连接板105，驱动连接板105能够分别与驱动滑块202和移动平台102相连接，具体的，当第二驱动件201工作时，第二驱动件201的输出端带动移动平台102在如图1所示的上下方向移动，此时与移动平台102连接的驱动连接板105可以沿着第八轨道203移动，从而对移动平台102起到导向作用，移动平台102通过驱动连接板105与导向座104连接，所以节省了在移动平台102上设置导向块的结构，进而降低了第二驱动件201的负载，保证第二驱动件201运动的速度和精密度。
41.具体的，驱动结构106还包括调整螺钉205，调整螺钉205的工作端可以贯穿驱动连接板105并与移动平台102连接，如图2至图4所示，驱动结构106包括若干个调整螺钉205，所有调整螺钉205在驱动连接板105上均匀分布，当拧动部分调整螺钉205时，可以通过工作部对移动平台102施加力的作用，从而调整移动平台102在如图2所示方向的高度(此时驱动连接板105固定不动)，从而调整移动平台102的平行度。
42.具体的，如图2至图4所示，移动平台102远离第一驱动件103的一个侧面上设有若干个吸附孔204，移动平台102上还包括通道和通气开口，通道位于移动平台102的内部，通气开口位于移动平台102的外表面，通气开口用于与负压装置相连通，通道能够与通气开口相连通，通道还能够与所有的吸附开孔相连通，当负压装置工作时，通过通道，负压装置可以在各个吸附孔204处产生负压，从而使得芯片可以被吸附在吸附孔204上，从而完成芯片的定位。
43.具体的，如图2至图4所示，驱动结构106包括转动限位结构，转动限位结构包括限位柱和挡块，限位柱固定连接于第三底座101上，挡块位于第一驱动件103的输出端上，挡块和限位柱的位置相对应，当第一驱动件103工作，且第一驱动件103带动移动平台102在一定角度内转动(可人工设定)，当移动平台102转动至预设的停止位置时，挡板被限位柱阻挡，从而防止移动平台102因为惯性产生转动，影响第一驱动件103的精度。
44.具体的，挡块临近限位柱的一侧设有防护垫，防止挡块和限位柱产生硬性碰撞。
45.具体的，如图2至图4所示，转动限位结构包括两个限位柱，分别为第一限位柱206和第二限位柱208，转动限位结构还包括两个挡块，分别为第一挡块207和第二挡块209，其中第一限位柱206和第一挡块207相对应，第二限位柱208和第二挡块209相对应。在使用过程中，第一驱动件103的输出端可以转动设定的角度，使得移动平台102可以在预设的起始位置和预设的停止位置间移动，当移动平台102转动设定的角度时(移动平台102转动至预设的停止位置)，则第一挡块207被第一限位柱206限位，当移动平台102复位到初始位置时(移动平台102转动至预设的起始位置)，则第二挡块209被第二限位柱208阻挡，防止移动平台102因为惯性在第一驱动件103停止运动后仍然会产生转动，影响精度。
46.具体的，如图2至图4所示，驱动结构106还包括行程开关，行程开关包括第一识别装置210、第二识别装置211和驱动识别结构212，驱动识别结构212连接于第一驱动件103的输出端上，从而使得驱动识别结构212可以随着移动平台102同步转动，第一识别装置210 和第二识别装置211均连接于第三底座101上，第一识别装置210和第二识别装置211可以识别驱动识别结构212，且第一识别装置210和第一驱动件103相连接，第二识别装置211 和第一驱动件103相连接，在第一驱动件103驱动移动平台102从起始位置向停止位置转动过程中，当第一识别装置210识别到驱动识别结构212时，第一驱动件103停止运动，当第一驱动件103驱动移动平台102从停止位置向起始位置复位的过程中，当第二识别装置211 识别到
驱动识别结构212，第一驱动件103停止运动。
47.具体的，当第一识别装置210识别到驱动识别结构212时，第一驱动件103停止运动，此时第一挡块207被第一限位柱206限位，使得移动平台102停止运动，保证移动平台102 的转动精度；当第二识别装置211识别到驱动识别结构212时，第一驱动件103停止运动，此时第二挡块209被第二限位柱208限位，使得移动平台102停止运动，保证移动平台102 的复位精度。
48.结合行程开关、转动限位结构、第一驱动件103和第二驱动件201的结构可知，在检测过程中，第一驱动件103驱动移动平台102转动的范围有限，所以即使第二驱动件201位于第一驱动件103的输出端上，其对驱动结构106整体运动的影响也较小，相较于相关技术，本实用新型中的驱动结构106更有优势。
49.具体的，驱动结构106还包括编码器，编码器连接于导向座104上，编码器用于计量第二驱动件201驱动移动平台102在如图2所示上下方向移动的位移。
50.本实用新型还公开了一种芯片检测设备，芯片检测设备包括探针501和上述任一实施例中的驱动结构106，当位于移动平台102上的芯片通过驱动结构106移动至设定位置时，探针501能够对位于移动平台102上的芯片进行检测。
51.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。