浓度测定装置的制作方法

文档序号:29459580发布日期:2022-04-01 09:02阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种浓度测定装置,其特征在于,具备:

电气单元,所述电气单元具有光源以及光检测器;

流体单元,所述流体单元具有测定单元;

第一光传输部件,所述第一光传输部件用于将来自所述光源的光传输到所述测定单元;

第二光传输部件,所述第二光传输部件用于将来自所述测定单元的光传输到所述光检测器;

透镜,所述透镜设置于所述流体单元,所述透镜被配置为使得来自所述第一光传输部件的光入射到与所述透镜的光轴不同的第一位置,并且/或者,光从与所述透镜的光轴不同的第二位置向所述第二光传输部件出射;

压力传感器,所述压力传感器测定在所述测定单元中流动的流体的压力;以及

运算电路,所述运算电路与所述光检测器连接,检测在所述测定单元中流动的流体的浓度,

所述运算电路构成为,为了补正与所述流体的折射率对应的测定误差,基于所述光检测器的输出和与所述压力传感器输出的压力以及所述流体的浓度建立关联的补正因子,通过运算求出所述流体的浓度。

2.根据权利要求1所述的浓度测定装置,其特征在于,

所述运算电路具有存储器,所述存储器保存有记载与所述压力传感器输出的压力以及所述流体的浓度建立关联的补正因子的表格,所述运算电路使用从所述表格读出的补正因子来测定浓度。

3.根据权利要求1或2所述的浓度测定装置,其特征在于,

还具有温度传感器,所述温度传感器测定在所述测定单元中流动的气体的温度,

所述运算电路构成为,使用与测定气体建立关联的吸光系数αa,基于下述公式求出混合气体中的测定气体的体积浓度Cv+ΔCn,在下述公式中,I0是入射到所述测定单元的入射光的强度,I是通过了所述测定单元的光的强度,R是气体常数,T是所述测定单元内的气体温度,L是光路长度,Pt是所述测定单元内的气体压力,I(n)是基于折射率变化的光量变化,ΔCn是基于(RT/αaLPt)·ln(I0/I)和所述气体压力而决定的补正因子。

Cv+ΔCn=(RT/αaLPt)·ln(I0/I+I(n))=(RT/αaLPt)·ln(I0/I)+ΔCn


技术总结
本发明提供一种浓度测定装置(100),其具备:具有光源(22)以及光检测器(24)的电气单元(20);具有测定单元(1)的流体单元(10);用于将来自光源的光传输到测定单元的第一光传输部件(11);用于将来自测定单元的光传输到光检测器的第二光传输部件(12);设置于流体单元的透镜(3A),其被配置为来自第一光传输部件的光入射到第一位置,光从第二位置向第二光传输部件出射;测定在测定单元中流动的流体的压力的压力传感器(5);以及检测在测定单元中流动的流体的浓度的运算电路(28),为了降低由流体的折射率引起的测定误差,基于光检测器的输出和与压力传感器输出的压力以及流体的浓度建立关联的补正因子来计算流体的浓度。

技术研发人员:永濑正明;泷本昌彦;田中一辉;西野功二;池田信一;
受保护的技术使用者:株式会社富士金;
技术研发日:2020.08.31
技术公布日:2022.04.01
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